KR950012695A - 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법 - Google Patents

액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법 Download PDF

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KR950012695A
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유끼오 모리시게
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가네꼬 히사시
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Abstract

본 발명은 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법에 관한 것으로, 방법은 액정배선기판의 단선부에 단선부전사용 매체를 접촉 또는 근접되게 위치시키는 단계와, 상기 단선부수정용 패턴화 박막층을 형성하기 위해서 매체의 열분해에 의해 산출된 재료를 상기 단선부에 부착되도록 매체에 레이저빔1을 조사하는 단계를 포함하고 있다. 또한 본 발명은, 종래의 방법내에서는 필요로 하는, 파라디움 아세테이트를 기판에 도포시키는 단계와, 기판을 가열단계와, 수정이 완료된 후 기판을 세정하는 단계들을 필요로 하지 않기 때문에, 1점 수정당 단지 30(sec)정도로 단축되지만, 반면에 종래의 방법에서는 약 5(min)이 걸린다.

Description

액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 실시예를 설멸하기 위한 구성도이다.

Claims (22)

  1. 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법으로서, 상기 액정배선기판의 단선부에 단선부전사용 매체를 접촉 또는 근접되게 위치시키는 단계와 상기 매체에 레이저빔을 조사하여 매체의 열분해에 의해 생성된 재료를 상기 단선부에 부착시켜 단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층들형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 매체가 파라디움 아세테이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 매체가 액정배선기판의 배선폭과 같은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 복수의 상기 단선부전사용 매체가 소망하는 패턴으로 배치되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 복수의 매체들의 각각이 방향이 다르게 향하도록 하는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 복수의 매체들의 일부는 제 1 방향으로 향하게 하고, 그리고 나머지 매체들은 상기 제 1방향에 대해 수직하는 제 2방향으로 향하게 하는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 복수의 매체들중의 하나가 선택되면 상기 단선부로 이송되는 것을 특징으로하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 복수의 매체가 서로 다른 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법
  9. 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법에 있어서, 레이저빔이 투과할 수 있도록 지지부재상에 배치되는 단선부전사용 매체를 상기 액정배선기판의 단선부에 접촉 또는 근접되도록 지지부재상에 배치하여 위치시키는 단계, 및 지지부재를 통하여 상기 매체에 레이저빔을 조사하여 매체의 열분해에 의해 생성된 재료를 상기 단선부에 부착시켜 단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 매체가 액정배선기판의 배선폭과 같은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 복수의 상기 단선부전사용 매체가 소망하는 패턴으로 상기 지지부재상에 배치되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 복수의 매체들의 각각이 방향이 다르게 향하도록 하는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 복수의 매체들의 일부는 제1방향으로 향하게 하고, 그리고 나머지 매체들은 상기 제1방향에 대해 수직하는 제2방향으로 향하게 하는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 구정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 복수의 매체들중의 하나가 선택되어 상기 단선부로 이송되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 복수의 매체들이 서로 다른 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  16. 제9항에 있어서, 상기 지지부재가 테플론필름으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  17. 제9항에 있어서, 상기 지지부재가 테플론필름이 코팅된 투명한 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  18. 제9항에 있어서. 상기 지지부재가 온도상승시 가스를 생성하는 유기필름으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  19. 제9항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 매체가 단선부에 정열되도록 이동시키기에 적합한 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  20. 제9항에 있어서, 상기 매체가 파라디움 아세테이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 파라디움 아세테이트를 지지부재의 전면에 전체적으로 도포하고, 파라디움 아세테이트를 건조시키며, 그리고 파라디움 아세테이트의 불필요한 부분이 증발되도록 지지부재상에 펄스레이 저빔을 조사함으로써 자지부재에 파라디움 아세테이트를 공급하는 것을 늑징으로 하는 액정배선기판의 배선 단선부를 수정하기 위한 패턴화 박층을 증착하는 방법.
  22. 제9항에 있어서, 상기 지지부재가 서로에게 병렬로 배치되는 복수의 슬릿을 가지는 가는 석영판에 부탁되어 있고, 레이저빔이 지지부재와 슬릿을 통하여 매체에 조사될 수 있도록 매체가 슬릿과 함게 배열되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940026415A 1993-10-14 1994-10-14 액정배선기판의 배선단선부를 수정하기 위한 패턴화 박막층을 증착하는 방법 KR950012695A (ko)

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