KR950012605U - 반도체 제조용 웨이퍼 척 - Google Patents
반도체 제조용 웨이퍼 척Info
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019930022117U KR950012605U (ko) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 반도체 제조용 웨이퍼 척 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019930022117U KR950012605U (ko) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 반도체 제조용 웨이퍼 척 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950012605U true KR950012605U (ko) | 1995-05-17 |
Family
ID=60818716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019930022117U KR950012605U (ko) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 반도체 제조용 웨이퍼 척 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR950012605U (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102133583B1 (ko) * | 2019-05-03 | 2020-07-13 | 주식회사 에스세미텍 | 반도체 소자용 정전 척 밸런스 체크 툴 |
-
1993
- 1993-10-26 KR KR2019930022117U patent/KR950012605U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102133583B1 (ko) * | 2019-05-03 | 2020-07-13 | 주식회사 에스세미텍 | 반도체 소자용 정전 척 밸런스 체크 툴 |
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