KR950010227A - 레이저 다이오드와 그 제조방법 - Google Patents

레이저 다이오드와 그 제조방법 Download PDF

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KR950010227A
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Abstract

본 발명은 레이저 다이오드와 그 제조방법을 개시한다.
본 발명 레이저 다이오드는, 전류차단층이 소정의 거리로 좌우 이격되어 상기 긴에 대해 소정의 각도로 좌우 대칭된 경사부를 갖고, 좌우 대칭된 경사부의 사이에 평탄한 전류통과 영역이 마련되어, 전류차단층과 상기 전류통과 영역에 의해 V-채널이 형성되고, 이에 의해 상기 활성층이 평탄부와 경사진 양측면을 구비하는 구조를 가지며, 그 방법에 있어서는, 기판위에 하부버퍼층과 전류차단층을 성장하는 단계와, 전류차단층에 전류통과 영역과 스프라이트 V-채널을 형성하기 위한 리소그래피(Lithography)하는 단계와, 전류차단층과 전류통과 영역위에 활성층과, 활성층 상하의 크래딩층을 그 적층 순서대로 성장시키는 단계를 갖는다. 이로써, 횡 모드를 요이하게 제어할 수 있으며, 발진 개시전류를 줄일 수 있고, 고출력을 얻을 수 있는 등의 이점이 있다.

Description

레이저 다이오드와 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 레이저 다이오드의 개략적인 단면도이고,
제2도는 본 발명에 따른 레이저 다이오드이의 개략적 다면도이고,
제3도는 본 발명에 따른 레이저 다이오드 어레이 소자의 개략적 단면도이다.

Claims (7)

  1. 기판과, 상기 기판의 상면에 하부버퍼층과, 전류차단층이 형성되고, 상기 하부버퍼층과 상기 전류차단층 상면에 형성되는 하부크래딩층과, 상기 하브 크래딩층의 상먼에 형성되어 레이저 광을 발생하는 활성층과, 상기 활성층의 상부에 상부크래디층 및 상부 버퍼층등이 순차적으로 적층되는 레이저 다이오드에 있어서, 상기 전류차단층이 소정의 거리로 좌우 이격되어 상기 기판에 대해 소정의 각도로 좌우 대향된 대칭적 경사부를 가지며, 상기 양 경사부의 사이에 평타한 전류통과 영역이 마련되어, 상기 전류차단층과 상기 전류통과 영역에 의해 V-채널이 형성되고, 상기 활성층은 상기 전류 차단층에 의한 채널 형상에 상응하는 평탄부와 경사진 양측면을 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 채널이 다수 소정 간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 활성층의 경사진 양측면의 경사각이 5~7°인 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드.
  4. 기판과, 상기 기판의 상면에 제한된 전류가 흐르는 전류통과영역이 마련된 하부 버퍼층이 형성되고, 상기 하부 버퍼층의 상면에 제한된 전류통과 영역을 위한 스프라이프상 통과영역을 형성하는 좌우로 분리된 전류차단층과, 상기 하부버퍼층과 상기 전류차단층 상면에 형성되는 하부크래딩층과, 상기 하부 크래딩층의 상면에 형성되어 레이저 광을 발생하는 활성층과, 상기 활성층의 상부에 상부 크래딩층, 상부 버퍼층, 및 캡층이 순차적으로 적층되는 레이저 다이오드를 제조함에 있어서, 상기 기판위에 하부 버퍼층과 전류차단층을 성장하는 단계와, 상기 전류차단층에 좌우로 분리된 전류차단층과, 상기 하부버퍼층 중간부근에 형성되는 전류통과 영역과, 스트라이프 V-채널을 형성하기 위한 리소그래피(Lithography)하는 단계와, 상기 전류차단층과 전류통과 영역위에 활성층과, 활성층 상하의 크래딩층을 그 적층 순서대로 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 리소그래피 단계에서 식각액의 성분이 HCI:H3PO4-1:1인 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 채널이 다수 소정 간격으로 배열되도록 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 활성층의 경사진 양측면의 경사각이 5~7°로 되도록 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930019950A 1993-09-27 1993-09-27 레이저 다이오드와 그 제조방법 KR100275772B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101339603B1 (ko) * 2011-11-23 2013-12-10 삼성토탈 주식회사 초고분자량 폴리에틸렌 제조용 촉매 및 이를 이용한 초고분자량 폴리에틸렌 제조방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101339603B1 (ko) * 2011-11-23 2013-12-10 삼성토탈 주식회사 초고분자량 폴리에틸렌 제조용 촉매 및 이를 이용한 초고분자량 폴리에틸렌 제조방법

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