KR950009987A - 액체공급시스템 및 액체공급방법 - Google Patents

액체공급시스템 및 액체공급방법 Download PDF

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코사이 아키오
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Abstract

본 발명은 반도체제조에 사용되는 무기 또는 유기약품 등의 액체를 공급하는 액체 공급방법에 관한 것으로서, 특히 미립자제거를 효율좋게 행할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서는, 상기 액체도입부(1)와 상기 액체공급부(2)를 연결한 메인라인(3)과, 이 메인라인(3) 내에 배설되고 상기 액체를 여과하는 필터(4)와, 상기 메인라인(3)내에 있어서 상기 필터(4)의 상류쪽에 배치되어서 상기 필터(4)에의 도입전의 액압을 검출하는 제1압력검출기(5)와, 상기 메인라인(3)내에 있어서 상기 필터(4)의 하류쪽에 배치되어서 상기 필터통과후의 액압을 검출하는 제2압력검출기(6)와, 상기 메인라인(3)의 액체를 액체도입부(1)에 복귀시키는 제1순환라인(8)과, 제1압력 검출기(5)와 상기 제2압력검출기(6)와의 차압을 측정하는 차압연산기(9)와, 제1순환 라인에 배치된 조정밸브(19)와, 차압연산기(9)로 부터의 차압신호에 의거해서 상기 조정밸브(19)의 개방도를 조정하는 제어부(18)를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

액체공급시스템 및 액체공급방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 액체공급시스템의 일실시예를 표시한 개략도,
제2도는 개폐밸브의 밸브개폐속도를 0.07m/sec로 하고, 2분마다 밸브를 개폐한 경우, 입구쪽과 출구쪽에서 발생하는 미립자농도의 변화를 표시한 그래프,
제3도는 개폐밸브의 밸브개폐속도를 0.007m/sec로 하고, 2분마다 밸브를 개폐한 경우, 입구쪽과 출구쪽에서 발생하는 미립자농도의 변화를 표시한 그래프.

Claims (7)

  1. 액체를 도입하는 액체도입부와, 사용지점에 상기 액체를 공급하는 액체공급부와, 상기 액체도입부와 상기 액체공급부를 연결한 메인라인과, 이 메인라인내에 배설되고 상기 액체를 여과하는 필터와, 상기 메인라인내에 있어서 상기 필터의 상류쪽에 배되어 상기 필터에의 도입전의 액압을 검출하는 제1압력검출기와, 상기 메인라인내에 있어서 상기 필터의 하류쪽에 배치되어서 상기 필터통과후의 액압을 검출하는 제2압력검출기와, 상기 메인라인내에 있어서 상기 제2압력검출기의 하류쪽에 배치된 제1분지점과 상기 액체도입부를 연결해서, 상기 액체도입부에 상기 액체를 복귀시키는 제1순환라인과, 상기 제1압력검출기와 상기 제2압력검출기와의 차압을 측정하는 차압연산기와, 상기 제1순환라인에 배치된 조정밸브와, 상기 차압연산기로부터 차압신호에 의거해서 상기 조정밸브의 개방도를 조정하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 액체공급시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 메인라인에 있어서 액체공급부에 액체를 도입하기 직전에 배치된 제2분기점으로부터 상기 액체도입부까지 뻗은 제2순환라인을 설치하고, 개방도 또는 스로틀도를 일정하게 유지하는 스로틀부를 상기 제2순환라인에 배설한 것을 특징으로 하는 액체공급시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 액체공급부의 액체공급라인에 개폐밸브를 구비하고, 이 개폐밸브의 밸브개폐 속도를 0.02m/sec이하로 한 것을 특징으로 하는 액체공급시스템.
  4. 액체도입부로부터 액체공급부까지 뻗은 메인라인에 배설한 필터에 의해서 액체중의 미립자를 제거하고, 이 액체를 사용지점에 공급하는 액체공급방법에 있어서, 상기 필터의 상류쪽에 배치한 제1압력검출기와 상기 필터의 하류쪽에 배치한 제2압력검출기와의 차압을 검출하고, 이 차압에 의거해서 상기 메인라인내에 있어서의 상기 제2압력검출기의 하류쪽에 배치된 제1분기점과 상기 액체도입부를 연결한 제1순환라인의 유량을 제어해서, 상기 필터의 차압을 제어시키는 것을 특징으로 하는 액체공급방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 메인라인에 있어서 액체공급부에 액체를 도입하기 직전에 배치된 제2분기점으로부터 상기 액체도입부까지 뻗은 제2순환라인을 설치하고, 개방도 또는 스로틀도를 일정하게 유지하는 스로틀부를 상기 제2순환라인에 배설한 것을 특징으로 하는 액체공급방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 액체공급부의 액체공급라인에 개폐밸브를 구비하고, 이 개폐밸브의 밸브개폐 속도를 0.02m/sec이하로 한 것을 특징으로 하는 액체공급방법.
  7. 제5항에 있어서, 개폐밸브가 폐쇄되었을때의 제2순환라인의 유량을 Q(㎥/hr)로 하고, 필터의 배출구로부터 제2분기점까지의 사이에 있어서 메인라인에 이용하는 배관의 내표면적을 S(㎡)라고 할때, Q/S가 0.001이상이 되도록 스로틀부의 개방도 또는 스로틀도를 조절한 것을 특징으로 하는 액체공급방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940023795A 1993-09-20 1994-09-17 액체공급시스템 액체공급방법 KR0141059B1 (ko)

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JP23321193 1993-09-20
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JP24663793 1993-10-01

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KR0141059B1 KR0141059B1 (ko) 1998-06-01

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