KR950009760A - 자기헤드용 철계 연자성 박막합금 및 그 제조방법 - Google Patents

자기헤드용 철계 연자성 박막합금 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 Fe-Hf 2원계를 기본조성으로 하는 Fe-Hf-C-N계 및 Fe-Hf-C-N-O계의 자기헤드용 철계 연자성 박막합금에 관한 것이다.
본 발명 박막합금은 다음의 조성식,
FexHfyCZNvOw
(식 중, x, y, v, w는 각각 원자%로서, 71 ≤x ≤ 86, 5.5 ≤ y ≤ 10.5, 1 ≤ z ≤ 13, 1 ≤ v ≤ 13, 0 ≤ w ≤ 3, 7.5 ≤ z+v+w ≤ 18.5, x+y+z+v+w=100임으로 이루어지며 스피터링 등의 방법에 의해 제조된다.
본 발명은 자기헤드용 철계 연자성 합금은 종래의 연자성 박막합금에서 단점으로 지적되고 있는 고포화자속밀도와 고투자율 및 내열성을 동시에 보유하는 우수한 연자기 특성을 지니므로 박막 자기헤드 및 MIG(metal in gap) 헤드용 재료로 적합하다.

Description

자기헤드용 철계 연자성 박막합금 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 Fe-Hf-C-N계 합금의 조성에 따른 보자력 (Hc)의 변화를 나타낸 그래프,
제2도는 본 발명 Fe-Hf-C-N계 합금의 조성에 따른 실효투자율(μeff)의 변화를 나타낸 그래프,
제3도는 본 발명 Fe-Hf-C-N계 합금의 조성에 따른 포화자속밀도(Bs)의 변화를 나타낸 그래프.

Claims (2)

  1. 다음의 조성식, FexHfyCZNvOw
    이때, x, y, v, w는 각각 원자%로서,
    71 ≤x ≤ 86
    5.5 ≤ y ≤ 10.5
    1 ≤ z ≤ 13
    1 ≤ v ≤ 13
    0 ≤ w ≤ 3
    7.5 ≤ z+v+w ≤ 18.5
    (단, x+y+z+v+w=100)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기헤드용 철계 연자성 박막 합금.
  2. 순철, Fe-Hf 합금, Fe-Hf-C 합금등의 타게트 위에 Hf, Hf의 질화물, Hf의 산화물, Hf의 탄화물 및 C의 소편을 배치하거나, Fe-Hf-C-N 또는 Fe-Hf-C-N-O 합금 등의 타게트를 불활성 스퍼터링 가스 중이나, 스피터링 가스 중에 C이나 N 또는 O을 함유하는 분위기 하에서 스퍼터링하여 박막을 형성한 후 진공중이나 Ar 및 N2분위기 중에서 열처리하여 철계 초미세 결정 연자성 박막합금을 제조하는 것을 특징으로 하는 자기헤드용 철계 연자성 박막합금의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930017669A 1993-09-03 1993-09-03 자기헤드용 철계 연자성 박막합금 및 그 제조방법 KR960004664B1 (ko)

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