KR950006479A - 고체촬상소자의 칼라필터 제조방법 - Google Patents

고체촬상소자의 칼라필터 제조방법 Download PDF

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KR950006479A KR1019930016022A KR930016022A KR950006479A KR 950006479 A KR950006479 A KR 950006479A KR 1019930016022 A KR1019930016022 A KR 1019930016022A KR 930016022 A KR930016022 A KR 930016022A KR 950006479 A KR950006479 A KR 950006479A
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이정대
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문정환
금성일렉트론 주식회사
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Abstract

본 발명은 고체촬상소자에 관한 것으로 칼라필터층의 패턴형성시에 발생하기 쉬운 물얼룩번짐을 억제하기 위한 점이다.
종래에는 평탄층 형성후 바로 염색층용 감광수지의 도포, 노광, 패터닝하므로 얼룰반점이 발생하여 수율이 저하되었다.
본 발명은 포토다이오드영역(2), 전하전송영역, 패드(3) 영역을 구비한 흑백 CCD웨이퍼 위에 평탄층을 형성하는 공정과, 평탄층위의 메인화소영역에 투명고착층(9)을 형성하는 공정과, 상기 포토다이오드영역(2)에 상응하는 투명고착층(9)위에 칼라필터층인 제1, 제2, 제3, 제4염색층(4, 5, 6, 7)을 형성하는 공정과, 전면에 탑층(8)을 형성하고 패드(3) 부분을 노출시키는 공정으로 이루어져 물얼룩번짐을 방지하므로서, 수율이 향상된다.

Description

고체촬상소자의 칼라필터 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 칼라필터 공정단면도,
제3도는 본 발명의 칼라필터 평면도.

Claims (2)

  1. 포토다이오드영역(2), 전하전송영역, 패드(3) 영역을 구비한 흑백 CCD 웨이퍼 위에 평탄층을 형성하는 공정과, 평탄층위에 메인화소영역에 투명고착층(9)을 형성하는 공정과, 상기 포토다이오드영역(2)에 상응하는 투명고착층(9)위에 칼라필터층인 제1, 제2, 제3, 제4염색층(4, 5, 6, 7)을 형성하는 공정과, 전면에 탑층(8)을 형성하고 패드(3)부분을 노출시키는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고체촬상소장의 칼라필터 제조방법.
  2. 제2항에 있어서, 투명고착층(9)를 카제인 또는 젤라틴을 도포한 후 포토/에치하고 고착액을 이용하여 형성함을 특징으로 하는 고체촬상소자의 칼라필터 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930016022A 1993-08-18 1993-08-18 고체촬상소자의 칼라필터 제조방법 KR960007882B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100447986B1 (ko) * 1997-12-29 2005-07-04 주식회사 하이닉스반도체 광감지소자의칼라필터의제조방법

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