KR950002421B1 - 매스 플로우 콘트롤러의 독출 신호의 잡음 제거 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

매스 플로우 콘트롤러의 독출 신호의 잡음 제거 방법

제 1 도는 본 발명이 적용되는 시스템의 블럭도,

제 2 도는 본 발명의 필터링 기법을 설명하기 위한 흐름도.

본 발명은 반도체 공정 장비에서 많이 사용되는 가스의 유량을 제어하기 위한 패스 플로우 콘트롤러(이하 MFC라 함)의 독출신호의 잡음 제거 방법에 관한 것이다.

종래의 MFC 교정기의 매스 플로우 미터에서 나오는 독출신호의 잡음 제거용 필터는 하드웨어적으로 R-C 적분 회로를 사용하므로써 리플이 심한 잡음은 제거될 수 있으나 R-C 시상수의 차이에 의한 응답속도의 지연 때문에 회로의 오동작을 가져올 수 있고 필터링 횟수가 1번이므로 큰 잡음은 실제 응답 속도로 작용하므로 독출값의 오차가 매우 크게 되는 문제점을 안고 있다.

따라서 본 발명의 목적은 상기 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로 컴퓨터를 사용하여 매스 플로우 미터에서 나오는 독출신호의 잡음을 필터링 하는 방법을 제공하는데 있다.

본 발명은 가스의 유량을 제어하기 위한 매스 플로우 콘트롤러, 상기 매스 플로우 콘트롤러를 교정하기 위해 내부에 매스 플로우 미터를 갖추고 있는 교정기 및 상기 교정기의 상태를 컴퓨터로 관측하기 위해 D/A 컨버터 및 비교기를 구비한 시스템에서의 잡음제거 방법에 있어서, 상기 컴퓨터의 소프트웨어 상에서 필터 횟수를 입력하는 제1 단계, 상기 제 1 단계후 상기 매스 플로우 미터로 부터 출력된 필터링된 디지탈 값에 해당하는 합산치와 초기 D/A 컨버터 세팅에 해당하는 세팅값을 각각 0으로 세팅하는 제 2 단계, 상기 비교기는 상기 합산치와 세팅값을 입력하여 비교하며 동일한 경우 다음단계로 진행하고 동일하지 않은 경우 세팅값을 1만큼 증가하여 상기 제 2 단계에서 부터 다시 진행하는 제 3 단계, 및 상기 3 단계후 필터링의 지정된 횟수 만큼 일정시간 일정하게 독출 값을 읽고, 합산하며, 상기 합산치를 필터링 횟수로 나누어 잡음을 희석시킨 후 디지탈 값으로 출력하여 컴퓨터의 모니터상에 출력하는 제 4 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명하기로 한다.

제 1 도는 본 발명이 적용되는 시스템의 블럭도로서, 10은 컴퓨터를, 11은 데이타 래치 모듈, 12는 D/A컨버터를, 13은 교정기를, 14는 샘플 호울드 회로를 15는 비교기를, 16은 데이타 버퍼를 각각 나타낸다.

데이타 래치 모듈(11)은 입력된 디지탈 신호를 래치하도록 구성되어 있다.

D/A 컨버터(12)는 범용 디지탈 투 아날로그 컨버터로서 디지탈 데이타를 입력하여 아날로그 신호로 변환시킨다.

샘플 호울드 회로(14)는 매스 플로우 콘트롤러(MFC)에 연결된 교정기(13)내의 매스 플로우 미터(MFM)에서 나오는 전압(가스유량)표시전압을 디지탈 값으로 변환하는 동안 아날로그 값을 호울딩(래치)하는 기능을 한다.

비교기(15)는 D/A컨버터(12)에서 출력된 아날로그 값과 샘플 호울드 회로(15)로 부터 출력되는 전압을 비교하여 비교된 결과를 디지탈 값으로 출력하여 데이타 버퍼(16)를 거쳐 컴퓨터(10)로 입력시킨다.

컴퓨터(10)는 소프트웨어에 의해 D/A 컨버터(12)에 의해 만들수 있는 -10V에서 +10V까지의 전압에 해당하는 디지탈 값을 데이타 버스를 통해 출력시킨다.

매스 플로우 콘트롤러(MFC)는 반도체 제조시에 사용되는 가스의 유량을 제어하기 위한 것이고 교정기는 가스에 의한 오염, 외부 노이즈에 의한 오프셋등으로 인하여 영향을 받은 매스 플로우 콘트롤러를 교정하기 위한 것이다.

매스 플로우 미터(MFM)는 실제 MFC에 흘러나가는 가스량을 검출하여 MFC가 정상인가를 판단할 수 있는 기준치를 컴퓨터로 제공한다.

제 2 도는 본 발명의 필터링 방법을 설명하는 흐름도이다.

컴퓨터(10)의 소프트웨어 상에서 필터 횟수를 입력한다(1-999까지)(21). 매스 플로우 미터로 부터 출력된 필터링 디지탈 값(A/D 변환값)에 해당하는 합산치(22)와 초기 D/A 세팅에 해당하는 세팅 값(23,24)을 각각 0으로 세팅한다.

비교기는 상기 세팅 신호들을 입력하여 입력 신호가 동일한 경우 다음단계를 진행하고 동일하지 않은 경우에는 세팅값을 1로 하여 상기 D/A변환기 세팅 단계서부터 다시 시작한다(25,26,27).

그후 필터링의 지정된 횟수 만큼 값을 읽는다. 즉, 합산치=합산치+읽은값(28).

필터링 값의 계산은 필터링값=합산치+필터의 식에 의해 계산하여 %값으로 바꾸어 모니터에 출력한다.(29,30,31).

본 발명은 상기와 같이 구성되어 MFM 독출신호를 디지탈 신호로 바꾸는 과정에서 D/A 컨버터를 이용, 실제 독출신호와 비교하여 디지탈 값으로 바꾸며, 독출 값을 일정시간 일정하게 출력하여 소프트웨어 기법으로 여러번 읽은(1-999회) 후, 읽은 수로 나누어 잡음을 희석시킨 후 디지탈 값으로 출력하여 컴퓨터의 모니터 상에 출력하도록 되어 있다.

본 발명은 이와 같은 구성으로 MFM의 독출신호에 있는 잡음을 줄일 수 있으므로 교정 신뢰성에 향상을 가져왔으며, 소프트웨어로 하드웨어 노이즈를 제거하므로 동작 신뢰성 및 전체 시스템의 신뢰도를 향상시켰다.

Claims (1)

1. 가스의 유량을 제어하기 위한 매스 플로우 콘트롤러, 상기 매스 플로우 콘트롤러를 교정하기 위해 내부에 매스 플로우 미터를 갖추고 있는 교정기 및 상기 교정기의 상태를 컴퓨터로 관측하기 위해 D/A 컨버터 및 비교기를 구비한 시스템에서의 잡음제거 방법에 있어서, 상기 컴퓨터의 소프트웨어 상에서 필터 횟수를 입력하는 제 1 단계, 상기 제 1 단계 후 상기 매스 플로우 미터로 부터 출력된 필터링된 디지탈 값에 해당하는 합산치와 초기 D/A 컨버터 세팅에 해당하는 세팅값을 각각 0으로 세팅하는 제 2 단계, 상기 비교기는 상기 합산치와 세팅값을 입력하여 비교하며 동일한 경우 다음 단계로 진행하고 동일하지 않은 경우 세팅값을 1만큼 증가하여 상기 제 2 단계서 부터 다시 진행하는 제 3 단계, 및 상기 3단계후 필터링의 지정된 횟수만큼 일정시간 일정하게 독출 값을 읽고, 합산하며, 상기 합산치를 필터링 횟수로 나누어 잡음을 희석시킨후 디지탈 값으로 출력하여 컴퓨터의 모니터상에 출력하는 제 4 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로하는 잡음제거 방법.