KR940020520A - 리페어(Rapair) 확인방법 - Google Patents

리페어(Rapair) 확인방법 Download PDF

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KR940020520A
KR940020520A KR1019930001527A KR930001527A KR940020520A KR 940020520 A KR940020520 A KR 940020520A KR 1019930001527 A KR1019930001527 A KR 1019930001527A KR 930001527 A KR930001527 A KR 930001527A KR 940020520 A KR940020520 A KR 940020520A
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오성구
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김주용
현대전자산업 주식회사
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조공정의 리페어 확인방법에 관한 것으로, 웨이퍼에 다수의 다이(칩)를 형성하고, 테스트 시스템에서 다이를 테스트하고, 불량 다이와 링크블로윙의 위치를 저장시스템에 저장하고, 저장된 정보를 리페어 시스템에 인가하여 웨이퍼를 리페어 시킨다음, 오퍼레이터가 리페어된 웨이퍼를 현미경으로 검사할 때 불량다이와 링크블로킹의 위치를 정확하게 알수 있도록 저장시스템에 모니터 시스템을 연결하여 해당되는 웨이퍼의 불량다이와 불량다이의 링크블로윙 위치를 모니터 시스템의 화면에 출력되도록 하는 기술이다.

Description

리페어(Rapair) 확인방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의해 저장시스템에 모니터 시스템이 연결된 것을 도시한 블록도,
제3도는 본 발명에 의해 웨이퍼에 불량다이의 위치와 불량다이의 링크 블로윙 위치를 모니터 시스템에 출력시킨 도면.

Claims (2)

  1. 웨이퍼에 다수의 다이(칩)을 형성하고, 테스트 시스템에서 다이를 테스트하고, 불량다이와 링크블로윙의 위치를 저장시스템에 저장하고, 저장된 정보를 리페어 시스템에 송부하여 웨이퍼의 불량다이를 리페어 시킨다음, 정확하게 리페어 되었는지 여부를 확인하는 방법에 있어서, 오퍼레이터가 리페어된 웨이퍼를 현미경으로 검사할 때 불량다이와 링크블로킹의 위치를 정확하게 알수 있도록 저장시스템에 모니터 시스템을 연결하여 해당되는 웨이퍼의 불량다이와 불량다이의 링크블로윙 위치를 화면에 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 리페어 확인방법.
  2. 제1항에 있어서, 저장시스템에 모니터 시스템을 접속하고, 예정된 웨이퍼 번호를 입력하면 저장시스템에 저장된 웨이퍼중에 입력된 웨이퍼의 모든 다이가 화면에 출력되면서 불량다이가 표시되고, 오퍼레이터가 불량다이의 좌표를 입력하면 불량다이의 모든 링크위치가 화면에 출력되면서 수리해야할 링크블로윙 위치가 표시되도록 하는 것을 특징으로 하는 리페어 확인방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930001527A 1993-02-05 1993-02-05 리페어(Repair) 확인방법 KR960011254B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100472776B1 (ko) * 2002-06-11 2005-03-10 동부전자 주식회사 반도체 장치의 웨이퍼 결함 검사 방법

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KR100472776B1 (ko) * 2002-06-11 2005-03-10 동부전자 주식회사 반도체 장치의 웨이퍼 결함 검사 방법

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