KR940016609A - 불소이온이 주입된 n형 트랜지스터 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 불소이온이 주입된 N형 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로 N-MOSFET 제작시 LDD 이온 주입과 소오스/드레인 이온주입 공정사이에 10°이상의 경사로 불소이온은 주입시키므로써 게이트 산화막과 실리콘기판 사이의 계면에 Si-H 결합을 Si-F결합으로 치환하여 단채널효과(short channel effect) 현상으로 야기되는 핫 일렉트론(Hot electron)의 게이트 산화막으로의 침투에 대한 저항력을 크게 하여 게이트 산화막의 열화를 방지하여 안정한 N-MOS 트랜지스터를 형성하는 방법이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도 내지 제 4 도는 본 발명에 의해 NMOSFET를 형성하는 단계를 나타낸 단면도.
Claims (3)
- 실리콘기판에 필드산화막, 게이트산화막, 게이트폴리실리콘을 형성하고 LDD 접합과 소오스/드레인 접합을 형성하는 N-MOSFET 제조방법에 있어서, LDD 접합형성후 Si-H결합에 의한 게이트산화막의 열화를 방지하기 위하여 소오스/드레인 접합형성영역에 불소이온을 주입한후 소오스/드레인 이온주입을 실시하는 것을 특징으로 하는 불소이온이 주입된 N형 트랜지스터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 불소이온주입시 이온주입경사는 10°이상으로 하는 것을 특징으로 하는 N형 트랜지스터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 불소이온주입시 이온주입량은 5.0×1013~1×1015이온/Cm2로 하며 이온주입에너지는 20~40Kev로 주입하는 것을 특징으로 하는 N형 트랜지스터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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