KR940008659A - 상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법 - Google Patents

상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR940008659A
KR940008659A KR1019930020104A KR930020104A KR940008659A KR 940008659 A KR940008659 A KR 940008659A KR 1019930020104 A KR1019930020104 A KR 1019930020104A KR 930020104 A KR930020104 A KR 930020104A KR 940008659 A KR940008659 A KR 940008659A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
chamber
plasma
wall
gas
Prior art date
Application number
KR1019930020104A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960015436B1 (ko
Inventor
비. 몽고메리 데이비드
에이. 보글러 어윈
Original Assignee
알.피.오올뮬러
벡톤, 디킨슨 앤드 컴퍼니
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 알.피.오올뮬러, 벡톤, 디킨슨 앤드 컴퍼니 filed Critical 알.피.오올뮬러
Publication of KR940008659A publication Critical patent/KR940008659A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR960015436B1 publication Critical patent/KR960015436B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/145—Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/12—Chemical modification
    • C08J7/123—Treatment by wave energy or particle radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B29C59/142—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment of profiled articles, e.g. hollow or tubular articles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/006—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by plasma or corona discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/06—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
    • H02M3/073—Charge pumps of the Schenkel-type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

본 발명은 개질할 표면을 플라즈마 챔버내에 챔버벽으로부터 자신의 최대 치수의 최소한 다섯배되는 거리를 두고 놓여져있는 전극결에 안치시키는 것으로 구성되는 제품 표면 화학개질 방법에 관한다. 전극을 둘러싼 방전 볼륨내에 고장도 전력 밀도의 플라즈마가 생성되게 됨으로서 전극에 가장 가까이 위치하는 표면은 방전 볼륨으로 부터의 거리가 멀어질수록 그 강도가 감소되게되는 매우 강력한 플라즈마를 받게된다. 따라서, 상기와 같은 플라즈마 특징으로인해 제품 표면상에는 화학적 구배가 형성되게 된다. 여기서의 바람직한 제품은 한쪽에 폐쇄단부를 지니는 관이 되고, 당해 구배는 폐쇄단부 또는 개방단부들중 어느쪽으로 부터든 형성가능케 된다. 따라서, 구배는 유리같은 특성이 감소하는 또는 플라스틱같은 성질이 감소하는 둘중 어느 하나의 성질을 진닌것이 될수있을 것이다.

Description

상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 전형적인 플라즈마 처리 장치의 사시도.
제2도 및 제3도는 각각 하행식(top down) 및 상행식(bottom up)관 처리를 보여주는, 제1도의 선2-2에 따른 수직 단면도.
제4도 내지 제6도는 본 발명의 방법에 의한 플라스틱 관의 플라즈마 처리로 인한 구배를 나타내는 그래프.
제7도는 본 발명의 방법에 의한 유리 관의 플라즈마 처리로 인한 구배를 나타내는 그래프.

Claims (9)

  1. a)제품의 표면을, 전극의 최대 치수와 챔버벽과 전극의 최단거리의 비가 1:5이하가 되는 프로세서 가스(process gas)함유 플라즈마 챔버내 전극에 인접하도록 위치시키는 단계, b)상기 전극에 무선주파 전력을 공급하여 상기 전극을 둘러싼 방전 볼륨내 가스를 이온화시킴으로서 상기 제품 표면일부를 개질시키는 플라즈마를 생성시키는 단계로 구성되는 제품 표면 일부를 개질시키는 방법.
  2. a)제품의 표면을, 전극의 최대 치수와 챔버벽과 전극의 최단거리의 비가 1:5이하가 되는 플라즈마 챔버내 전극에 인접하도록 위치시키는 단계, b)상기 챔버를 진공상태로 만드는 단계, c)프로세서 가스를 진공상태의 상기 챔버에 주입시키는 단계 및 d)상기 전극에 무선 주파전력을 공급하여 상기 전극을 둘러싼 방전볼륨내 가스를 이온화시킴으로서, 유리같은 첫번째 영역과 플라스틱같은 두번째 영역 사이의 구배를 포함토록 상기 표면을 개질시킬 수 있는 플라즈마를 생성시키는 단계로 구성되는 제품 표면 개질방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제품이 플라스틱인 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 프로세서 가스가 친수성 가스인 방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제품이 유리인 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 프로세서 가스가 소수성 가스인 방법.
  7. a)내측벽면과 한쪽에 폐쇄단부를 갖는 플라스틱관의 개방단부를 전극의 최대 치수와 챔버벽과 전극의 최단거리의 비가 1:5이하가 되는 플라즈마 챔버내 전극에 인접하도록 위치시키는 단계, b)상기 챔버를 진공상태로 만드는 단계, c)산소를 진공상태의 상기 챔버에 주입시키는 단계 및 d) 상기 전극에 무선주파전력을 공급하여, 개방 단부에서는 유리같은 특성을 지니고, 개방 단부에서 멀어질수록 유리같은 특성을 덜 지니게되는 특성 구배를 지니도록 내측표면을 개질시킬수 있는 플라즈마를 상기 전극을 둘러싼 방전볼륨내에 생성시키는 단계로 구성되는 플라스틱관 내측벽면 개질방법.
  8. a)유전체에 삽입된, 내측벽면과 한쪽에 개방 단부를 갖는 유리관의 폐쇄단부를 전극의 최대치수와 챔버력과 전극의 최단거리의 비가 1:5이하가 되는 플라즈마 챔버내 상기와 같은 유전체의 삽입된 전극에 인접하도록 위치시키는 단계, b)상기 개방 단부에 방전한정요소를 삽입시키는 단계. c)상기 챔버를 진공상태로 만드는 단계, d)핵산을 진공상태의 상기 챔버에 주입시키는 단계 및 e)상기 전극에 무선 주파전력을 공급하여, 폐쇄단부에서는 플라스틱같은 특성을 지니게 특성구배를 지니도록 내측표면을 개질시킬수 있는 플라즈마를 상기 전극을 둘러싼 방전볼륨내에 생성시키는 단계로 구성되는 유리관 내측벽면 개질방법.
  9. 개방부, 폐쇄단부, 측벽 및 기부벽으로 구성되며, 상기 측벽 및 기부벽은 내측벽면을 형성하고, 상기 내측벽면은 표면화학의 첫번째, 두번째 그리고 세번째 영역을 지며, 상기 첫번째 표면 영역은 실질적으로 유리같도, 상기 두번째 표면 영역은 실질적으로 플라스틱같으며, 상기 세번째 표면영역은 상기 첫번째 영역으로부터 상기 두번째 영역까지 연장되어 있으며 유리같은 표면에서 플라스틱 같은 표면으로 점차 변화하는 관.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930020104A 1992-10-02 1993-09-28 상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법 KR960015436B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/955,964 US5318806A (en) 1992-10-02 1992-10-02 Tube having regions of different surface chemistry and method therefor
US92-07/955,964 1992-10-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940008659A true KR940008659A (ko) 1994-05-16
KR960015436B1 KR960015436B1 (ko) 1996-11-14

Family

ID=25497609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019930020104A KR960015436B1 (ko) 1992-10-02 1993-09-28 상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법

Country Status (12)

Country Link
US (2) US5318806A (ko)
EP (1) EP0603999B1 (ko)
JP (1) JP2502268B2 (ko)
KR (1) KR960015436B1 (ko)
AU (1) AU666221B2 (ko)
BR (1) BR9304102A (ko)
CA (1) CA2107037C (ko)
DE (1) DE69315312T2 (ko)
HK (1) HK1002254A1 (ko)
MX (1) MX9306083A (ko)
MY (2) MY113565A (ko)
SG (1) SG54232A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100439580B1 (ko) * 2001-11-05 2004-07-12 학교법인 포항공과대학교 소수성 기재의 표면을 친수성으로 개질하는 방법

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5378431A (en) * 1993-06-14 1995-01-03 Becton, Dickinson And Company Dual pathway clotting enhancer for blood collection tube
JP3204801B2 (ja) * 1993-06-18 2001-09-04 富士写真フイルム株式会社 真空グロー放電処理装置及び処理方法
US5571366A (en) * 1993-10-20 1996-11-05 Tokyo Electron Limited Plasma processing apparatus
JPH0853116A (ja) * 1994-08-11 1996-02-27 Kirin Brewery Co Ltd 炭素膜コーティングプラスチック容器
US5766362A (en) * 1996-09-30 1998-06-16 Becton Dickinson And Company Apparatus for depositing barrier film on three-dimensional articles
DE19716606A1 (de) * 1997-04-21 1998-10-22 Huels Chemische Werke Ag Bakterienabweisend und blutverträglich modifizierte Oberflächen
DE19738721A1 (de) * 1997-09-04 1999-03-11 Buck Chem Tech Werke Vorrichtung zum Plasmabehandeln von Kunststoff und dazu verwendbares Verfahren
KR19990041210A (ko) * 1997-11-21 1999-06-15 박원훈 플라즈마를 이용한 재료표면상의 다양한 특성의 고분자 합성방법
GB9816077D0 (en) * 1998-07-24 1998-09-23 Secr Defence Surface coatings
ATE458261T1 (de) * 1998-12-11 2010-03-15 Surface Technology Systems Plc Plasmabehandlungsgerät
US6077235A (en) * 1999-02-23 2000-06-20 Becton, Dickinson And Company Blood collection assembly and method therefor
US6166187A (en) * 1999-03-05 2000-12-26 The Regents Of The University Of California Method of concentrating prion proteins in blood samples
US6273488B1 (en) 1999-05-03 2001-08-14 Guardian Industries Corporation System and method for removing liquid from rear window of a vehicle
TW497165B (en) * 1999-06-30 2002-08-01 Hitachi Ltd Method for manufacturing semiconductor integrated circuit device, optical mask used therefor, method for manufacturing the same, and mask blanks used therefor
US20020185226A1 (en) * 2000-08-10 2002-12-12 Lea Leslie Michael Plasma processing apparatus
US6689220B1 (en) * 2000-11-22 2004-02-10 Simplus Systems Corporation Plasma enhanced pulsed layer deposition
US20060070677A1 (en) * 2004-09-28 2006-04-06 Tokai Rubber Industries, Ltd. Hose with sealing layer, direct-connect assembly including the same, and method of manufacturing the same
US20060233675A1 (en) * 2005-04-13 2006-10-19 Stein Israel M Glass test tube having protective outer shield
US20060233676A1 (en) * 2005-04-13 2006-10-19 Stein Israel M Glass test tube having protective outer shield
GB2438195A (en) * 2006-05-20 2007-11-21 P2I Ltd Coated ink jet nozzle plate
JP5119031B2 (ja) * 2008-04-15 2013-01-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 反応セルの製造方法、及び、反応セルを備えた自動分析装置
JP5227245B2 (ja) * 2009-04-28 2013-07-03 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置
FR3003857B1 (fr) * 2013-03-28 2015-04-03 Quertech Procede de traitement par un faisceau d'ions pour produire des materiaux en verre superhydrophiles.
EP3233991B1 (en) * 2014-12-17 2023-02-01 Si02 Medical Products, Inc. Plasma treatment with non-polymerizing compounds that leads to reduced biomolecule adhesion to thermoplastic articles
US20220259394A1 (en) * 2014-12-17 2022-08-18 Sio2 Medical Products, Inc. Polymeric surface having reduced biomolecule adhesion to thermoplastic articles and methods of plasma treatment
US11246480B2 (en) 2015-09-07 2022-02-15 Plasmatica Ltd. Preventing fog on a medical device viewport
JP6678744B2 (ja) * 2015-09-07 2020-04-08 プラズマティカ リミテッド 医療装置ビューポートの曇り防止
CN116003863B (zh) * 2023-01-05 2024-02-02 大连理工大学 基于氧等离子体改性的空间湿润性梯度表面改性装置及表面改性方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4257886A (en) * 1979-01-18 1981-03-24 Becton, Dickinson And Company Apparatus for the separation of blood components
JPS59106570A (ja) * 1982-12-03 1984-06-20 信越化学工業株式会社 表裏異機能繊維製品
US4673586A (en) * 1985-10-29 1987-06-16 Cosden Technology, Inc. Method for making plastic containers having decreased gas permeability
JPH0613615B2 (ja) * 1985-12-09 1994-02-23 益弘 小駒 プラスチック表面改質方法
JPH0625271B2 (ja) * 1986-02-20 1994-04-06 住友電気工業株式会社 チユ−ブの内面プラズマ処理方法
US4967763A (en) * 1989-03-13 1990-11-06 Becton, Dickinson And Company Platelet stable blood collection assembly
US5227202A (en) * 1989-09-22 1993-07-13 Balzers Aktiengesellschaft Method for chemical coating on opposite surfaces of workpieces
US5246666A (en) * 1992-05-08 1993-09-21 Becton, Dickinson And Company Additive having dual surface chemistry for blood collection container and assembly containing same
US5257633A (en) * 1992-06-23 1993-11-02 Becton, Dickinson And Company Surface modified blood collection tubes
US5455009A (en) * 1993-09-14 1995-10-03 Becton, Dickinson And Company Blood collection assembly including clot-accelerating plastic insert

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100439580B1 (ko) * 2001-11-05 2004-07-12 학교법인 포항공과대학교 소수성 기재의 표면을 친수성으로 개질하는 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR960015436B1 (ko) 1996-11-14
SG54232A1 (en) 1998-11-16
US5419872A (en) 1995-05-30
US5318806A (en) 1994-06-07
MX9306083A (es) 1994-06-30
MY113565A (en) 2002-04-30
CA2107037A1 (en) 1994-04-03
DE69315312D1 (de) 1998-01-02
JP2502268B2 (ja) 1996-05-29
DE69315312T2 (de) 1998-04-02
AU666221B2 (en) 1996-02-01
HK1002254A1 (en) 1998-08-07
EP0603999B1 (en) 1997-11-19
MY113486A (en) 2002-03-30
EP0603999A1 (en) 1994-06-29
CA2107037C (en) 1999-09-21
BR9304102A (pt) 1994-04-19
JPH06218279A (ja) 1994-08-09
AU4756493A (en) 1994-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940008659A (ko) 상이한 표면화학영역을 지니는 관 및 이러한 관을 제조하는 방법
KR850000901A (ko) 마이크로파 프라즈마 처리방법 및 그 장치
US6716762B1 (en) Plasma confinement by use of preferred RF return path
KR980005800A (ko) 폴리사이드 구조체의 에칭 방법
EP0180020A2 (en) Plasma etching system
KR900017100A (ko) 반도체 웨이퍼 후면 처리방법
KR930008973A (ko) 박막의 형성방법 및 박막형성장치
EP0348690A3 (en) Apparatus and method for plasma treatment of small diameter tubes
EP1220281A3 (en) Method of treatment with a microwave plasma
EP0573449A1 (en) Gas sterilisation
KR890015649A (ko) 대영역 초고주파 플라즈마 장치
KR950703074A (ko) 박막형성방법
US6900592B2 (en) Method and apparatus for stabilizing of the glow plasma discharges
KR940023322A (ko) 마이크로파 플라즈마 처리장치
EP1531487A3 (en) Microwave-excited plasma processing apparatus
Primc et al. Atomic species generation by plasmas
WO2002036850A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum beschichten von hohlkörpern
KR940001296A (ko) 갈륨 아세나이드(GaAs) 표면 안정화방법
JPH0217636A (ja) ドライエッチング装置
KR970023771A (ko) 마이크로파 여기 플라즈마 처리장치
JPS575863A (en) Plasma surface treating apparatus
Kovač et al. Atomic Species Generation by Plasmas
JPH02267290A (ja) マイクロ波プラズマ処理装置
JP4514291B2 (ja) マイクロ波プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
KR950034553A (ko) 플라즈마 에칭방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19991026

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee