KR940007513A - 압전형 압력센서 - Google Patents

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piezoelectric
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히로끼 쿠사까베
토오루 오까우찌
마스오 타끼가와
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다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은, 얇은 금속제의 전하검출부재를 열수축튜브에 의해서 압전소자의 외주표면에 압압함으로써, 용이하게 또한 신뢰성이 높은 접촉을 가능하게 하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 바깥쪽 전하검출부제(12)는 얇은 금속에 의해서 구성되어 있다. 이 전하검출부재(12)를 열수축튜브(15)에 의해서 압전소자의 외주전극에 바깥쪽으로부터 압압해서 고정한다. 이에 의해서 전국과 전하검출부재의 면접촉을 가능하게 하고 접촉저항을 저감하고 또한 신뢰성을 향상하는 것이다.

Description

압전형 압력센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 있어서의 압진형압력센서의 단면도,
제2도는 본 발명의 실시예에 있어서의 압전형 압력센서의 요부의 분해사시도,
제3도는 본 발명의 실시예에 있어서의 압전형압력센서의 요부의 분해사시도,
제4도는 본 발명의 실시예에 있어서의 압전형압력센서의 요부의 분해사시도.

Claims (9)

  1. 수압면을 가진 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되고 또한 일단부가 상기 수압면의 뒤쪽의 면에 접하는 압력전달부재와, 상기 하우징의 내부에 설치되고 또한 상기 입력전달부재의 타단부에 접하고, 내외주면에 전국을 형성한 원통형상의 압전소자와, 상기 압전소자의 외주전극과 접촉하고, 전하를 수집하기 위한 바깥쪽전하 검출부재와, 상기 바깥쪽전하검출부재의 바깥쪽에 배치되고, 열에 의해서 수축하는 열수축튜브와, 상기 압전소자,압력전달부재에 예비압력을 주면서 고정하는 상부고정나사와, 상기 압전소자의 안쪽 전극으로부터 전하를 도출하는 안쪽전하 검출부재를 구비하고, 조립공정에 있어서 상기 열수축튜브를 수축시키고,상기 열수축튜브가 수축함으로써 상기 바깥쪽전하검출부재를 압압해서, 상기 압전소자의 외주전극에 발생하는 전하를 검출하는 것을 특징으로 하는 압전형압력센서.
  2. 제1항에 있어서, 안쪽전하검출부재 혹은 바깥쪽전하검출부재의 일부분에 리드선을 접속하기 위한 돌기부를 형성한 것을 특징으로 하는 압전형압력센서.
  3. 수압면을 가진 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되고 도한 일단부가 상기 수압면의 뒤쪽의 면에 접하는 압력전달부재와, 상기 하우징의 내부에 설치되고 또한 상기 압력전달부재의 타단부에 접하고, 내외주면에 전극을 형성한 원통형상의 압전소자와, 상기 압전소자의 외주전극과 접촉하고, 또한 내주방향에 끼워넣기부분을 가진 전하를 수집하기 위한 바깥쪽전하검출부재와, 상기 압전소자의 상면부분과 상기 전하 검출부재의 끼워넣기부분과의 사이에 배치된 절연링과, 상기 전하검출부재의 바깥쪽에 배치되고, 열에 의해서 수축하는 열수축튜브와, 상기 압전소자, 압력전달부재에 예비압력을 주면서 고정하는 상부고정나사와, 상기 압전소자의 안쪽 전극으로부터 전하를 도풍하는 안쪽전하검출부재를 구비하고, 조립공정에 있어서 상기 열수축튜브를 수축시키고, 상기 열수축튜브가 수축함으로써, 상기 전하검출부재의 상기 압전소자의 외주전극과의 접촉 부분을 압압해서 고정하고, 상기 압전소자의 외주전극에 발생한 전하를 상기 바깥쪽전하검출부재의 끼워넣기전극부분으로부터 검출하는 것을 특징으로 하는 압전형압력센서.
  4. 제1항, 제2항 또는 제3항의 어느 한항에 있어서, 바깥쪽전하검출부재의 상기 압전소자의 외주전극과의 접촉부분에 코움형상으로 가공한 부분을 형성하고, 상기 열수축튜브가 상기 코움형상부분을 압압해서 고정하는 것을 특징으로하는 압전형압력센서.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 바깥쪽 전하검출부재의 끼워넣기부분을 도전성부재에 의해서 압압함으로써, 상기 압전소자의 외주전극에 발생한 전하를 검출하는 것을 특징으로 하는 압전형압력센서.
  6. 내외주면에 전극을 형성한 원통형상의 압전소자와, 상기 압전소자의 외주전극과 접촉하고적어도 그 상단부에 내주방향에 끼워넣기부분을 가지고, 전하를 수집하기 위한 전하검출부재와, 상기 압전소자의 상면부분과 상기 전하검출부재의 끼워넣기부분의 사이에 배치된 절연링과, 상기 전하검출부재의 바깥쪽에 배치되고, 열에 의해서 수축하는 열수축튜브로 구성되는 전하발생부를, 원주형상의 돌기부를 구비한 조립지그를 사용해서 동심원형상으로 위치결정하는 것을 특징으로 하는 압전형압력센서의 조립방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 조립지그로서, 또 조립되는 부품을 각각 조립되는 상태에서 가압압접하는 가압부재를 형성하고, 압축하중을 부여하고, 가열하면서 조립하는 것을 특징으로 하는 압전형압력센서의 조립방법.
  8. 수압면을 가진 하우징과 내부에 상기 수압면에 인가된 압력을 변형으로 변환하는 관형상 다이어프램을 가진 압력센서에 있어서 상기 수압면의 이면에 면접촉하고 또한 상기 관형상다이어프램이 고정된 금속편과, 상기 관형상다이어프램에 대해서 상기 수압면과 반대쪽에 위치하는 압너소자와, 상기 금속편의 이면에 일단부가 당접하고 타단부에 당접하는 상기 압전소자에 상기 수압면에 인가된 압력을 전달하는 압력전달부재를 가진것을 특징으로 하는 압너형압력센서.
  9. 수압면을 가진 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치되고 또한 일단부가 상기 수압면의 뒤쪽의 면에 접하는 압력전달부재와, 상기 하우징의 내부에 설치되고 또한 상기 압력전달부재의 타단부에 설치된 압전소자와, 상기 압전소자의 타단부에 당접하는 압전소자고정부재와, 세라믹베이스에 1개 내지 복수개의 단자를 가지고, 상기 하우징의 타단부에 위치하는 기밀커넥터와, 상기 기밀커넥터와 상기 압전소자고정부재의 사이에 위치하고, 상기 기밀커넥에 접속된 감온저항 소자를 가진것을 특징으로 하는 압전형압력센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930018297A 1992-09-11 1993-09-11 압전형 압력센서 KR940007513A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160084399A (ko) * 2013-11-14 2016-07-13 키스틀러 홀딩 아게 전극과 접촉 핀 사이에 전기 접속을 갖는 압전력 센서
WO2022108078A1 (ko) * 2020-11-20 2022-05-27 주식회사 에스알이엔지 압력센서를 이용한 단자결속여부 및 압력측정 시스템 및 단자결속여부 및 압력측정 방법

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0637736A3 (en) * 1993-08-05 1995-05-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric pressure sensor and method for its production.
JP3427667B2 (ja) * 1997-03-07 2003-07-22 エヌオーケー株式会社 圧力センサ
JP3837207B2 (ja) * 1997-07-03 2006-10-25 本田技研工業株式会社 圧電式荷重センサ
US6487912B1 (en) 1999-09-28 2002-12-03 Rosemount Inc. Preinstallation of a pressure sensor module
US6571132B1 (en) 1999-09-28 2003-05-27 Rosemount Inc. Component type adaptation in a transducer assembly
US6765968B1 (en) 1999-09-28 2004-07-20 Rosemount Inc. Process transmitter with local databus
US7134354B2 (en) * 1999-09-28 2006-11-14 Rosemount Inc. Display for process transmitter
US6510740B1 (en) 1999-09-28 2003-01-28 Rosemount Inc. Thermal management in a pressure transmitter
AU7835100A (en) 1999-09-28 2001-04-30 Rosemount Inc. Environmentally sealed instrument loop adapter
US6484107B1 (en) 1999-09-28 2002-11-19 Rosemount Inc. Selectable on-off logic modes for a sensor module
US6546805B2 (en) 2000-03-07 2003-04-15 Rosemount Inc. Process fluid transmitter with an environmentally sealed service block
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
US6504489B1 (en) 2000-05-15 2003-01-07 Rosemount Inc. Process control transmitter having an externally accessible DC circuit common
US6480131B1 (en) 2000-08-10 2002-11-12 Rosemount Inc. Multiple die industrial process control transmitter
DE10044479B4 (de) * 2000-09-08 2005-07-21 Robert Bosch Gmbh Schwingungsaufnehmer zur Befestigung an einem Schwingungen aufweisenden Bauteil
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6484589B1 (en) * 2001-05-30 2002-11-26 Senx Technology Piezoelectric transducer assemblies and methods for their use
US6684711B2 (en) 2001-08-23 2004-02-03 Rosemount Inc. Three-phase excitation circuit for compensated capacitor industrial process control transmitters
US7773715B2 (en) * 2002-09-06 2010-08-10 Rosemount Inc. Two wire transmitter with isolated can output
US7109883B2 (en) * 2002-09-06 2006-09-19 Rosemount Inc. Low power physical layer for a bus in an industrial transmitter
FR2866113A1 (fr) * 2004-03-23 2005-08-12 Siemens Vdo Automotive Capteur de deformation d'un cylindre de vehicule automobile
US7036381B2 (en) * 2004-06-25 2006-05-02 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
EP1856497B1 (de) * 2005-02-24 2014-08-20 Kistler Holding AG Bauteil für piezoelektrische kraft- oder drucksensoren, zusammengehalten von elektrisch isolierendem film
GB0506081D0 (en) * 2005-03-24 2005-05-04 Gallagher George Force sensors
US7525419B2 (en) * 2006-01-30 2009-04-28 Rosemount Inc. Transmitter with removable local operator interface
AT503664B1 (de) * 2006-04-13 2007-12-15 Piezocryst Advanced Sensorics Piezoelektrischer drucksensor
AT505015B1 (de) * 2007-07-27 2008-10-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor
JP5148383B2 (ja) * 2008-06-23 2013-02-20 株式会社東芝 電気配線貫通部の補修方法
DE102009022539A1 (de) * 2009-05-25 2010-12-02 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Brennraumdrucks einer Brennkraftmaschine
US8334788B2 (en) * 2010-03-04 2012-12-18 Rosemount Inc. Process variable transmitter with display
DE102011017667A1 (de) * 2011-04-28 2012-10-31 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks, insbesondere eines Brennraumdrucks einer Brennkraftmaschine
CA2854877A1 (en) * 2011-11-17 2013-05-23 Abb Inc. Improved piezo sensor
US9279406B2 (en) 2012-06-22 2016-03-08 Illinois Tool Works, Inc. System and method for analyzing carbon build up in an engine
GB2510096B (en) * 2012-11-01 2015-08-26 Skanska Uk Plc Safety equipment
AT514607B1 (de) * 2013-08-30 2015-02-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor
AT523625B1 (de) * 2013-08-30 2022-07-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor
EP3175208B1 (de) * 2014-08-01 2018-05-09 VEGA Grieshaber KG Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung
CN107696511B (zh) * 2017-10-13 2023-08-08 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 一种海水盐度传感器电导池的制备装置及制备方法
KR102261165B1 (ko) 2018-04-25 2021-06-07 주식회사 엘지에너지솔루션 이차 전지 정압 지그 및 이를 이용한 이차 전지 내부 압력 조절 방법
CN111795770B (zh) * 2020-05-19 2021-07-16 北京航空航天大学 一种用于测量流体脉冲动压的压强探针
FR3108978A1 (fr) * 2020-09-04 2021-10-08 Vitesco Technologies Procédé de fabrication d’un capteur de vibrations et capteur de vibrations associé
CN116625779B (zh) * 2023-05-23 2023-10-31 中国人民解放军总医院第四医学中心 一种自识别智能加热的玻片载架系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1031155A (fr) * 1951-01-18 1953-06-22 Perfectionnements apportés aux dispositifs de mesure des pressions
GB1054081A (ko) * 1963-04-05
CH509580A (de) * 1969-06-20 1971-06-30 Kistler Instrumente Ag Druckmesswandler
US3879174A (en) * 1974-02-07 1975-04-22 Illinois Tool Works Method and apparatus for forming metallized film capacitors
EP0013702A1 (en) * 1978-11-14 1980-08-06 Creative Tool Company Corp. Transducer device for monitoring pressure
US4530138A (en) * 1982-09-30 1985-07-23 Westinghouse Electric Corp. Method of making a transducer assembly
JPH03148028A (ja) * 1989-11-02 1991-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電型圧力センサ
TW221491B (ko) * 1990-03-16 1994-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160084399A (ko) * 2013-11-14 2016-07-13 키스틀러 홀딩 아게 전극과 접촉 핀 사이에 전기 접속을 갖는 압전력 센서
WO2022108078A1 (ko) * 2020-11-20 2022-05-27 주식회사 에스알이엔지 압력센서를 이용한 단자결속여부 및 압력측정 시스템 및 단자결속여부 및 압력측정 방법

Also Published As

Publication number Publication date
EP0593889A1 (en) 1994-04-27
CA2105752A1 (en) 1994-03-12
US5377547A (en) 1995-01-03
JPH0694561A (ja) 1994-04-05
CA2105752C (en) 1996-07-30

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