JP3837207B2 - 圧電式荷重センサ - Google Patents
圧電式荷重センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3837207B2 JP3837207B2 JP17854197A JP17854197A JP3837207B2 JP 3837207 B2 JP3837207 B2 JP 3837207B2 JP 17854197 A JP17854197 A JP 17854197A JP 17854197 A JP17854197 A JP 17854197A JP 3837207 B2 JP3837207 B2 JP 3837207B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- load
- detector
- detection
- piezoelectric constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 44
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 15
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 27
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 14
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229910017119 AlPO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電式荷重センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の荷重センサとしては、特開昭62−297735号公報に開示された圧電型圧力分布センサが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の荷重センサは、複数の圧電素子について、各圧電素子毎にその発生信号を検出するように構成されているので、複雑な信号処理機構を必要とし、また荷重が作用している圧電素子を検出するためには複数の圧電素子に応じた数だけ検出操作を行わなければならないので、その検出操作が煩雑になると共に検出速度も遅くなる、といった問題を生ずる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、計測物理量を少なくすることにより複雑な信号処理機構を必要とせずに、荷重作用位置の検出およびその荷重の検出を迅速に行うことが可能な、構造が簡単で、製造コストの安い前記荷重センサを提供することを目的とする。
【0005】
前記目的を達成するため本発明によれば、全体に亘り均一な圧電定数d1 を持つ第1検出体と、前記第1検出体に積層され、且つその積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d21>d22>d23を持つ第2検出体とを備え、前記第1および第2検出体の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 を荷重作用位置の検出に用い、また前記第1検出体の出力値Q1 を荷重の検出に用いる圧電式荷重センサが提供される。
【0006】
この圧電式荷重センサによれば、荷重作用位置の検出を1次元的に行い、且つその荷重の検出をその作用位置に囚われることなく行うことができる。この場合、二つの検出に必要な計測物理量は、第1,第2検出体の二つの出力値で足りる。これにより複雑な信号処理機構を不要にし、また荷重作用位置の検出等を迅速に行うことが可能である。また、この圧電式荷重センサは構造が簡単であって、製造コストも安価である。
【0007】
また本発明によれば、第1,第2および第3検出体を相互に積層した構造を備え、前記第1検出体は、その全体に亘り均一な圧電定数d1 を持ち、前記第2検出体は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d21>d22>d23を持ち、前記第3検出体は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d31>d32>d33を持つと共にその圧電定数漸減方向が前記第2検出体の圧電定数漸減方向と交差するように配置され、前記第1および第2検出体の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 を、その第2検出体の前記圧電定数漸減方向における荷重作用位置の検出に用い、また前記第1および第3検出体の両出力値Q1 ,Q3 の比Q3 /Q1 を、その第3検出体の前記圧電定数漸減方向における荷重作用位置の検出に用い、さらに前記第1検出体の出力値Q1 を、各荷重作用位置における荷重の検出に用いる圧電式荷重センサが提供される。
【0008】
この圧電式荷重センサによれば、荷重作用位置の検出を2次元的に行い、且つその荷重の検出をその作用位置に囚われることなく行うことができる。この場合、三つの検出に必要な計測物理量は、第1〜第3検出体の三つの出力値で足りる。これにより複雑な信号処理機構を不要にし、また荷重作用位置の検出等を迅速に行うことが可能である。また、この圧電式荷重センサは構造が簡単であって、製造コストも安価である。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1,2に示す圧電式荷重センサS1 は、基台1上に配設されて、全体に亘り均一な圧電定数を持つ第1検出体D1 と、第1検出体D1 に積層され、且つその積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って、この例では左端部側より右端部側に向って漸減する圧電定数を持つ第2検出体D2 とを備えており、第1および第2検出体D1 ,D2 の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 が荷重作用位置の検出に用いられ、また第1検出体D1 の出力値Q1 が荷重の検出に用いられる。
【0010】
基台1はアルミニウム板2と、その上面に粘着シート3を介して貼付されたポリ塩化ビニル製シート4とよりなる。
【0011】
第1検出体D1 は、同一の圧電定数を持つ複数、この例では3個の円盤状圧電素子M1 と、各圧電素子M1 の上、下両端面にそれぞれ導電ペースト5を介して貼付された中間部銅箔6および下部銅箔7と、相隣る両中間部銅箔6間および相隣る両下部銅箔7間をそれぞれ接続する導線8とよりなる。
【0012】
各下部銅箔7は粘着シート9を介してシート4上に貼付される。また3枚の中間部銅箔6と2本の導線8は中間部導電体10を構成する。さらに3枚の下部銅箔7と2本の導線8は下部導電体11を構成する。
【0013】
第2検出体D2 は、圧電定数を異にする複数、この例では3個の円盤状第1〜第3圧電素子M21〜M23と、各圧電素子M21〜M23の上、下両端面にそれぞれ導電ペースト5を介して貼付された上部銅箔12および中間部銅箔6と、相隣る両上部銅箔12間および相隣る両中間部銅箔6間をそれぞれ接続する導線8とよりなる。
【0014】
このように、この例では各中間部導電体10は第1,第2検出体D1 ,D2 において共用されている。一方、3枚の上部銅箔12と2本の導線8は上部導電体13を構成する。各上部銅箔12を覆うように、それらの上にポリ塩化ビニル製シート14が載せられる。
【0015】
図1,2において、右端に位置する下部銅箔7にリード線15が接続され、そのリード線15は第1電量計CM1 の端子に接続される。また右端に位置する上部銅箔12にリード線16が接続され、そのリード線16は第2電量計CM2 の端子に接続される。さらに右端に位置する中間部銅箔6にリード線17が接続され、そのリード線17は第1,第2電量計CM1 ,CM2 の両端子間の導線18に接続される。
【0016】
第1検出体D1 において、各圧電素子M1 の圧電定数は一定であるから、これをd1 とする。また第2検出体D2 における第1〜第3圧電素子M21〜M23の圧電定数をそれぞれd21〜d23とすると、d21>d22>d23の関係が成立している。ここで、圧電定数とは、圧電素子に分極方向に荷重を作用させた際に、その分極方向に発生する電気量(電荷)から算出される値であり、これは以下同じである。
【0017】
例えば、第1圧電素子M21の位置P0 に荷重F(N)が作用したとすると、第1電量計CM1 によりQ1 =d1 ・Fの電気量(出力値)が測定され、また第2電量計CM2 によりQ2 =d21・Fの電気量(出力値)が測定される。これら両式より、Q1 /d1 =Q2 /d21であるから、これを整理すると、Q2 /Q1 =d21/d1 となる。したがって、既得の値である圧電定数d21,d1 よりそれらの比d21/d1 、つまり位置P0 における理論電気量比Q2 /Q1 を予め求めておけば、この理論電気量比Q2 /Q1 と、両測定電気量Q1 ,Q2 からの算出電気量比Q2 /Q1 とを比べることにより、第1圧電素子M21の位置P0 に荷重が作用していることを検出することができる。前記理論電気量比Q2 /Q1 は、圧電定数の漸減により第1〜第3圧電素子M21〜M23の各位置P0 〜P2 において異なるので、他の位置P1 ,P2 についても、前記同様の方法で荷重作用位置の検出を行うことができる。
【0018】
また前記式Q1 =d1 ・Fから荷重F(N)はF=Q1 /d1 と表わせるので、この式を用いることにより、第1〜第3圧電素子M21〜M23の何れの位置P0 〜P2 に荷重が作用していても、その荷重を検出することができる。この場合、荷重Fの単位はNであるから、これをkg単位の荷重Wに換算するには、W=F/g(g:9.8m/sec2、重力加速度)とすればよく、したがってW(kg)=Q1 /(d1 ・g)となる。
【0019】
圧電素子の構成材料にはBaTiO3 、Pb(ZrTi)O3 、KNbO3 、SrTiO3 、Pb(MgNb)O3 等のペロブスカイト型強誘電体、LiNbO3 、LiTaO3 等のLiNbO3 型強誘電体、K3 Li2 Nb5 O15、Ba2 NaNb5 O15等のタングステンブロンズ型強誘電体、水晶(α−SiO2 )、ZnO、ベルリナイト(α−AlPO4 )、ロッシェル塩、PVDF等の圧電性を有する材料が該当する。これらは、通常単独で用いられるが、複合して用いることも可能である。またこれらの材料(複合物を含む)と、ゴム弾性を有する材料またはホリマ等の低弾性率の材料とを複合して柔軟な圧電素子を得ることもできる。
【0020】
以下、具体例について説明する。
【0021】
図3,4に示す圧電式荷重センサS2 は、基台1上に配設されて、第1,第2および第3検出体D1 〜D3 を相互に積層した構造を備えている。
【0022】
第1検出体D1 は、その全体に亘り均一な圧電定数を持つ。また第2検出体D2 は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って、この例では左端部側より右端部側に向って漸減する圧電定数を持つ。さらに第3検出体D3 は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って、この例では手前側より向い側に向って漸減する圧電定数を持つ、つまりその圧電定数漸減方向Bが第2検出体D2 の圧電定数漸減方向Aと交差している。第1および第2検出体D1 ,D2 の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 が、その第2検出体D2 の圧電定数漸減方向Aにおける荷重作用位置の検出に用いられ、また第1および第3検出体D1 ,D3 の両出力値Q1 ,Q3 の比Q3 /Q1 が、その第3検出体D3 の圧電定数漸減方向Bにおける荷重作用位置の検出に用いられ、さらに前記第1検出体D1 の出力値Q1 が、各荷重作用位置における荷重の検出に用いられる。
【0023】
基台1の構成は前記のものと同じであり、また荷重センサS2 上には前記同様にポリ塩化ビニル製シート14が載せられる。
【0024】
第1検出体D1 は、具体的には次のように構成される。即ち、同一の圧電定数d1 を持つ複数、この例では9個の円盤状圧電素子M1 が、3個宛3列に、相隣るもの相互間に所定の間隔をとって配列される。各圧電素子M1 の上,下両端面にはそれぞれ導電ペーストを介して第1中間部銅箔61 および下部銅箔7が貼付される。相隣る両第1中間部銅箔61 間および相隣る両下部銅箔7間はそれぞれ導線8により接続される。9枚の下部銅箔7と10本の導線8は下部導電体11を構成する。また9枚の第1中間部銅箔61 と10本の導線8は第1中間部導電体101 を構成する。
【0025】
第2検出体D2 は、具体的には次のように構成される。即ち、異なる圧電定数を持つ複数、この例では9個の円盤状圧電素子M21〜M23が、第1検出体D1 と同様に、3個宛3例に、相隣るもの相互間に所定の間隔をとって配列される。これら圧電素子M21〜M23において、図4、左側の3個を第1圧電素子M21とし、また中間の3個を第2圧電素子M22とし、さらに右側の3個を第3圧電素子M23とする。
【0026】
ここで、第1〜第3圧電素子M21〜M23の圧電定数をd21,d22,d23とすると、それらの間にはd21>d22>d23の関係が成立する。各圧電素子M21〜M23の上,下両端面にはそれぞれ導電ペーストを介して第2中間部銅箔62 および第1中間部銅箔61 が貼付される。相隣る両第2中間部銅箔62 間は導線8により接続される。9枚の第2中間部銅箔62 と10本の導線8は第2中間部導電体102 を構成する。第1中間部導電体101 は第1,第2検出体D1 ,D2 において共用されている。
【0027】
第3検出体D3 は、具体的には次のように構成される。即ち、異なる圧電定数を持つ複数、この例では9個の円盤状圧電素子M31〜M33が、第1検出体D1 と同様に、3個宛3列に、相隣るもの相互間に所定の間隔をとって配列される。これら圧電素子M31〜M33において、図4、手前側の3個を第1圧電素子M31とし、また中間の3個を第2圧電素子M32とし、さらに向い側の3個を第3圧電素子M33とする。
【0028】
ここで、第1〜第3圧電素子M31〜M33の圧電定数をd31,d32,d33とすると、それらの間には、d31>d32>d33の関係が成立する。各圧電素子M31〜M33の上,下両端面にはそれぞれ導電ペーストを介して上部銅箔12および第2中間部銅箔62 が貼付される。相隣る両上部銅箔12間は導線8により接続される。9枚の上部銅箔12と10本の導線8は上部導電体13を構成する。第2中間部導電体102 は第2,第3検出体D2 ,D3 において共用されている。
【0029】
1つの角部に在り、且つ3個の圧電素子よりなる圧電素子の積層体において、4枚の銅箔7,61 ,62 ,12にそれぞれリード線19〜22が接続され、前記同様の手段で、相隣る両リード線19,20;20,21;21,22間に発生する電気量Q1 〜Q3 をそれぞれ測定し得るようになっている。
【0030】
第1検出体D1 における各圧電素子M1 および第2,第3検出体D2 ,D3 における各第1〜各第3圧電素子M21,M31〜M23,M33の組成および圧電定数は表1の通りである。
【0031】
【表1】
【0032】
表1から明らかなように、第1検出体D1 の各圧電素子M1 は、第2,第3検出体D2 ,D3 の各第2圧電素子M22,M32と同一組成であると共に同一の圧電定数を持つ。また第2検出体D2 の第1〜第3圧電素子M21〜M23は、第3検出体D3 の第1〜第3圧電素子M31〜M33とそれぞれ同一組成であると共に同一の圧電定数を持つ。したがって第3検出体D3 は、第2検出体D2 を、図4において、水平面内で反時計方向に90°回転させたものと同一の構造を有する。
【0033】
第2検出体D2 における第1〜第3圧電素子M21〜M23の圧電定数漸減方向Aにx軸を、また第3検出体D3 における第1〜第3圧電素子M31〜M33の圧電定数漸減方向Bにy軸をそれぞれとって、各圧電素子積層体の荷重作用位置Pをxy座標で表わしたとき、各荷重作用位置Pxyにおける理論電気量比Q2 /Q1 およびQ3 /Q1 を算出すると表2のようになる。
【0034】
【表2】
【0035】
次に、荷重作用位置P00にそれぞれ1.0kg、2.0kg、5.0kgおよび10.0kgの荷重(実荷重)を作用させ、各荷重毎に発生電気量Q1 〜Q3 を測定し、それらの測定値に基づいて両発生電気量の比Q2 /Q1 およびQ3 /Q1 ならびに前記式W=Q1 /(d1 ・g)を用いて荷重Wを算出した。前記同様の測定および算出を、荷重作用位置P10,P20,P21,P22の4箇所に関しても行った。
【0036】
表3はこれらの結果を示す。表3において、発生電気量Q1 〜Q3 の単位はnC(ナノクーロン)、荷重Wの単位はkgである。
【0037】
【表3】
【0038】
荷重作用位置P00;P10;P20,P21,P22、したがってx=0;x=1;x2 について理論電気量比Q2 /Q1 と表3の測定値からの算出電気量比Q2 /Q1 を比べ、また荷重作用位置P00,P10,P20;P21;P22、したがってy=0;y=1;y=2について理論電気量比Q3 /Q1 と表3の測定値からの算出電気量比Q3 /Q1 を比べると表4のようになる。
【0039】
【表4】
【0040】
図5は、表4のx=0,1,2について、理論電気量比と算出電気量比との関係をグラフ化したものである。
【0041】
表4,図5から明らかなように、理論電気量比と算出電気量比とがよく一致しており、したがって算出電気量比Q2 /Q1 によりx軸方向における荷重作用位置を検出することができ、また算出電気量比Q3 /Q1 によりy軸方向における荷重作用位置を検出することができる。つまり、この荷重センサS2 によれば2次元的に荷重作用位置を検出することが可能である。
【0042】
また実荷重と表3の算出荷重Wを比べると表5のようになる。
【0043】
【表5】
【0044】
図6は、表5に基づいて実荷重と算出荷重との関係をグラフ化したものである。表5,図6から明らかなように、実荷重と算出荷重とがよく一致しており、これにより荷重の検出を行うことが十分に可能であることが判る。
【0045】
なお、第1〜第3検出体D1 〜D3 の積層方向における位置は前記具体例に限定されない。圧電素子としては、例えば、図1における第1検出体D1 の全3個の圧電素子M1 および第2検出体D2 の全3個の圧電素子M21〜M23をそれぞれ1つにまとめたような直方体状をなすもの、図4の第1検出体D1 の全9個の圧電素子M1 、第2検出体D2 の全9個の圧電素子M21〜M23および第3検出体D3 の全9個の圧電素子M31〜M33を、それぞれ1つにまとめたような平板状をなすもの等を使用することが可能である。また圧電素子としては、直方体状、平板状等の形態を有し、且つ圧電定数が一端部側から他端部側に向って直線的に漸減するものも使用可能である。
【0046】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、計測物理量を少なくすることにより複雑な信号処理機構を必要とせずに、荷重作用位置の検出を1次元的に、またその荷重の検出をその作用位置に囚われることなく、それぞれ迅速に行うことが可能な、構造が簡単で、製造コストの安い圧電式荷重センサを提供することができる。
【0047】
請求項2記載の発明によれば、前記効果に加え、荷重作用位置の検出を2次元的に、且つ迅速に行うことが可能な圧電式荷重センサを提供することができる。
【0048】
請求項3記載の発明によれば、荷重作用位置を2次元的に検出することが可能な圧電式荷重センサにおいて、その製造コストを一層低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】圧電式荷重センサの第1例の斜視図である。
【図2】圧電式荷重センサの第1例の分解図である。
【図3】圧電式荷重センサの第2例の斜視図である。
【図4】圧電式荷重センサの第2例の分解斜視図である。
【図5】理論電気量比と算出電気量比との関係を示すグラフである。
【図6】実荷重と算出荷重との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
A,B 圧電定数漸減方向
D1 〜D3 第1〜第3検出体
Q1 〜Q3 出力値
S1 ,S2 圧電式荷重センサ
d1 ,d21〜d23,d31〜d33 圧電定数
Claims (3)
- 全体に亘り均一な圧電定数d1 を持つ第1検出体(D1 )と、前記第1検出体(D1 )に積層され、且つその積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d21>d22>d23を持つ第2検出体(D2 )とを備え、前記第1および第2検出体(D1 ,D2 )の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 を荷重作用位置の検出に用い、また前記第1検出体(D1 )の出力値Q1 を荷重の検出に用いることを特徴とする圧電式荷重センサ。
- 第1,第2および第3検出体(D1 〜D3 )を相互に積層した構造を備え、前記第1検出体(D1 )は、その全体に亘り均一な圧電定数d1 を持ち、前記第2検出体(D2 )は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d21>d22>d23を持ち、前記第3検出体(D3 )は、その積層方向と交差する方向において、一端部側より他端部側に向って漸減する圧電定数d31>d32>d33を持つと共にその圧電定数漸減方向(B)が前記第2検出体(D2 )の圧電定数漸減方向(A)と交差するように配置され、前記第1および第2検出体(D1 ,D2 )の両出力値Q1 ,Q2 の比Q2 /Q1 を、その第2検出体(D2 )の前記圧電定数漸減方向(A)における荷重作用位置の検出に用い、また前記第1および第3検出体(D1 ,D3 )の両出力値Q1 ,Q3 の比Q3 /Q1 を、その第3検出体(D3 )の前記圧電定数漸減方向(B)における荷重作用位置の検出に用い、さらに前記第1検出体(D1 )の出力値Q1 を、各荷重作用位置における荷重の検出に用いることを特徴とする圧電式荷重センサ。
- 前記第3検出体(D3 )は、前記第2検出体(D2 )を水平面内で90°回転させたものと同一の構造を有する、請求項2記載の圧電式荷重センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17854197A JP3837207B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | 圧電式荷重センサ |
US09/108,316 US6065353A (en) | 1997-07-03 | 1998-07-01 | Piezoelectric load sensor, and process for detecting load-applied position |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17854197A JP3837207B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | 圧電式荷重センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1123384A JPH1123384A (ja) | 1999-01-29 |
JP3837207B2 true JP3837207B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=16050291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17854197A Expired - Fee Related JP3837207B2 (ja) | 1997-07-03 | 1997-07-03 | 圧電式荷重センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6065353A (ja) |
JP (1) | JP3837207B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6632010B2 (en) | 2001-08-09 | 2003-10-14 | A.O. Smith Corporation | Fluid-holding apparatus including a sensor |
US7152482B2 (en) | 2002-10-01 | 2006-12-26 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Piezoelectric sensor and input device including same |
JP5845012B2 (ja) * | 2011-07-12 | 2016-01-20 | 新日鐵住金株式会社 | 衝撃荷重測定用荷重計測装置及び衝突荷重計測方法 |
CN103975398B (zh) * | 2011-08-18 | 2017-07-04 | 温彻斯特技术有限责任公司 | 具有大电感可调谐性的静电可调谐磁电电感器 |
EP3379222B1 (en) | 2017-03-22 | 2020-12-30 | Methode Electronics Malta Ltd. | Magnetoelastic based sensor assembly |
US11084342B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-08-10 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
US11135882B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-10-05 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
US10670479B2 (en) | 2018-02-27 | 2020-06-02 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
US11014417B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-05-25 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
US11491832B2 (en) | 2018-02-27 | 2022-11-08 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
US11221262B2 (en) | 2018-02-27 | 2022-01-11 | Methode Electronics, Inc. | Towing systems and methods using magnetic field sensing |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0697194B2 (ja) * | 1986-06-16 | 1994-11-30 | 株式会社村田製作所 | 圧電型圧力分布センサ |
US4841494A (en) * | 1987-07-03 | 1989-06-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Underwater piezoelectric arrangement |
US5195046A (en) * | 1989-01-10 | 1993-03-16 | Gerardi Joseph J | Method and apparatus for structural integrity monitoring |
DE69215599T2 (de) * | 1991-08-09 | 1997-06-19 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Biegsame piezoelektrische Vorrichtung |
JPH0694561A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電型圧力センサ |
US5504388A (en) * | 1993-03-12 | 1996-04-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive element having electrode film(s) with specified surface roughness |
JP3619339B2 (ja) * | 1996-11-08 | 2005-02-09 | 本田技研工業株式会社 | 圧電式荷重センサおよび荷重作用位置検出方法 |
-
1997
- 1997-07-03 JP JP17854197A patent/JP3837207B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-01 US US09/108,316 patent/US6065353A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6065353A (en) | 2000-05-23 |
JPH1123384A (ja) | 1999-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3837207B2 (ja) | 圧電式荷重センサ | |
JP5455841B2 (ja) | 負の温度係数を有する電気デバイス | |
EP0616221B1 (en) | Acceleration sensor | |
JP2965602B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
US4908258A (en) | High dielectric constant flexible sheet material | |
US20160153845A1 (en) | Pressing sensor and method for manufacturing pressing sensor | |
JP2018531512A6 (ja) | 能動的触覚フィードバックを生成するためのデバイス | |
JP2018531512A (ja) | 能動的触覚フィードバックを生成するためのデバイス | |
EP0310101B1 (en) | Temperature sensor | |
JPH1062445A (ja) | 加速度センサ | |
EP0817259A3 (en) | Thin film capacitor with resistance measuring element | |
JP2002280626A5 (ja) | ||
CN106664493B (zh) | 超声波传感器及其制造方法 | |
JP3619339B2 (ja) | 圧電式荷重センサおよび荷重作用位置検出方法 | |
US11901128B2 (en) | Capacitor component | |
US11380837B2 (en) | Piezoelectric device and method for manufacturing piezoelectric device | |
JP3331507B2 (ja) | 焦電型赤外線センサ | |
JP6620912B2 (ja) | 押し位置検出センサ及び電子機器 | |
US4983838A (en) | Pyroelectric element | |
US20240145171A1 (en) | Capacitor component | |
JPH06267789A (ja) | 積層チップ型c・r複合電子部品 | |
JPS61283180A (ja) | 積層圧電体 | |
JPH0524026Y2 (ja) | ||
JPH03503104A (ja) | 高誘電多層コンデンサー | |
KR200330077Y1 (ko) | 적층형 세라믹 칩 부품 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060731 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130804 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |