KR940007122B1 - 광학소자 연마방법 및 장치 - Google Patents

광학소자 연마방법 및 장치 Download PDF

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KR940007122B1
KR940007122B1 KR1019900015575A KR900015575A KR940007122B1 KR 940007122 B1 KR940007122 B1 KR 940007122B1 KR 1019900015575 A KR1019900015575 A KR 1019900015575A KR 900015575 A KR900015575 A KR 900015575A KR 940007122 B1 KR940007122 B1 KR 940007122B1
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마사기 와다나베
미쯔아끼 다가하시
다가유끼 기시다
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오림파스 고오가꾸 고오교오 가부시기가이샤
시모야마 도시로오
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Abstract

내용 없음.

Description

광학소자 연마방법 및 장치
제1도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제 1실시예의 구성설명도
제2도는 렌즈연마가공의 기본적인 원리를 나타낸 설명도
제3도는 본 발명에 관한 렌즈연마기의 상대위치 제어장치를 나타낸 블럭도
제4도는 렌즈연마기의 상대위치 제어장치의 각 구성수단에 의한 기능의 순서를 나타낸 플로챠트
제5도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제2실시예의 구성설명도
제6도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제3실시예의 구성설명도
제7도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제4실시예의 구성설명도
제8도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제5실시예의 구성설명도
제9도는 제5실시예의 변형예를 나타낸 설명도
제10도는 종래의 광학소자 연마장치의 구성설명도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 연마공구 2a : 구면
2 : 렌즈 2' : 렌즈
3 : 지지봉 4 : 지그(jig)
5 : 연결축(봉): 끼워맞춤구멍
6 : 나사 7 : 암
8 : 요동운동 지지축 9 : 편심판
9' : 편심핀 10 : 편심판 회전구동용 모터
11 : 렌즈연마기 12 : 곡률측정수단
13 : 곡류변화 산출수단 14 : 곡률보정치 결정수단
15 : 보정상위치 결정수단(보정가공조건 결정수단)
16 : 상대위치 조정기구 구동수단(가공조건 조정수단)
21 : 하우징 22 : 볼나사
23 : 제어모터 24 : 곡률반경 측정기
25 : 제어유니트 26 : 이동지지대
27 : 지지대 28 : 제어모터
29 : 볼나사 30 : 연마공구 고정축
32 : 모터 33,34 : 풀리
35 : 벨트 36 : 상대위치 제어모터
37 : 유니버설조인트 38 : 이송나사
39 : 하우징
본 발명은 연마방법 및 장치, 특히 렌즈연마기에 있어서의 요동운동의 가공조건을 제어하기 위한 가공조건 제어방법 및 장치에 관한 것이다.
종래에 있어서의 이러한 종류의 광학소자 연마장치, 특히 렌즈연마기의 개략적인 구성을 제10도에 나타낸다.
도면에서 1은 렌즈(2)를 연마가공하는 연마공구를 나타내며, 모터등에 의하여 정위치(定位置)에서 회전할수 있도록 되어 있다. 3은 지지봉으로서, 그 선단은 렌즈(2)를 지지하는 지그(jig; 4)와 피벗걸어맞춤하여 렌즈(2)를 연마공구(1)측으로 압압하도록 구성하고, 타단은 연결축(5)의 일단에 나사(6)등에 의하여 이동가능하게 부착된 암(7)의 선단에 배치되어 있는 하우징(7')에 상하운동가능하게 지지된다. 연결축(5)은 그 중앙부분을 요동운동지지축(8)에 미끄럼운동이 가능하도륵 지지시키고, 그 타단에는 편심판(9)에 형성된 편심판(9')과 회전가능하게 걸어맞춰서, 모터(10)에 의하여 편심판(9)을 회전시킴으로서 연결축(5)을 요동시키면서 좌우로 움직일 수 있도록 구성한다.
이와같은 구성의 렌즈연마기에 있어서, 렌즈를 가공할 경우에는, 먼저 부착지그(4)로 지지한 렌즈(2)를 연마공구(l)위에 올려놓고, 지지봉(3)으로 부착지그(4)를 지지한다. 이 상태에서 연마공구(1)의 축 및 편심판구동용 모터(10)를 회전시키면, 연결축(5)이 요동하면서 좌우로 움직이고, 그 선단은 준원운동(準圓運動)을 한다. 따라서, 렌즈(2)는 회전하는 연마공구면위를 요동운동하면서 미끄럼운동함으로써 연마가공이 실시된다.
이와같이 하여 순차적으로 다수의 렌즈를 가공할 경우, 하나하나의 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 작업자가 측정하고, 곡률반경의 변화를 보면서 지지봉(3)을 지지하고 있는 암(7)의 연결축(5)에 대한 부착위치를 변화시켜, 암(7)이 실제로 실행하는 길이(ι)를 변화시킴으로써, 소망의 곡률반경으로 된 렌즈를 얻을수 있도록 가공하고 있다.
그러나, 이 작업은 숙련을 필요로 하고, 종래에는 숙련공의 직감력에 의하여 작업이 이루어졌기 때문에 비능률적이었다.
본 발명은 종래의 렌즈연마기에 있어서의 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 숙련을 필요로 하지 않고 간단한 조작에 의하여 정확한 곡률반경을 가지는 렌즈를 안정하게 가공할 수 있도록 렌즈연마기에 있어서의 가공조건을 제어하는 광학소자 연마방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 광학소자 연마방법은, 회전하는 연마공구 또는 피가공렌즈 또는 연마공구를 압압지지부재로 압압함과 동시에 요동시키면서 미끄럼운동시켜 렌즈를 연마가공함에 있어서, 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하고, 이 곡률반경측정치와 앞서 가공한 렌지의 곡률반경측정치를 대비하여 곡류변화치를 구하고, 상기 곡률변화치와 이미 설정된 곡률허용치를 대비하여 곡률보정치를 결정하고, 이 결정된 곡률보정치에 의거하여 상기 요동운동의 가공조건보정치를 결정하고, 이 가공조건 보정치에 따라 가공조건을 조정하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 광학소자 연마장치는, 회전운동하는 연마공구 또는 피가공렌즈면에 대하여 피가공렌즈 또는 연마공구를 압압지지부재로 압압지지하고 요동운동을 시키면서 미끄럼운동시켜 연마가공하도록 한 렌즈연마기에 있어서, 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하는 곡률측정수단과, 상기 곡률측정수단에 의한 측정치와 앞서 가공한 렌즈의 곡률반경 측정치를 대비하여 곡률변화치를 구하는 곡률변화산출수단과, 상기곡률변화치와 이미 설정된 곡률허용치를 대비하여 곡률보정치를 결정하는 곡률보정치 결정수단과, 상기 곡률보정치에 의거하여 상기 요동운동의 가공조건보정치를 결정하는 보정가공조건 결정수단과, 상기 가공조건보정치에 따라 가공조건을 조정하는 조정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
제2도는 렌즈연마가공의 기본적인 원리를 나타낸다. 도시한 바와같이, t축을 중심으로 회전하는 연마공구(1)의 구면(1a)위를 렌즈(2)가 요동운동하면서 미끄럼운동함으로써 연마가공이 행해진다. 이 요동운동은 렌즈(2)의 중심선이 t축에서 각도(γ)만큼 기울어진 r축을 중심으로 각도 ±θ/2의 범위를 원운동, 준원운동, 왕복운동등에 의하여 운동하는 것이며, 각도 γ를 상대각, 각도 θ를 요동각이라 한다. 또한, 렌즈(2)의 곡률반경이 커서 평면에 가까운 것 및 렌즈면이 평면형상인 경우에는, 각도가 아니라 치수로 표현하는 것이 적절한 경우도 있기 때문에, 이하 상대각을 상대위치, 요동각을 요동폭이라 한다.
본 발명은 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하고, 이 측정치와 앞서 가공이 완료된 렌즈의 곡률측청치를 대비하여 그 변화치를 구하고, 이 곡률변화치에 따라 상기 상대위치등의 가공조건을 자동적으로 조정하고 정확한 곡률반경을 가지는 렌즈를 안정하게 가공할 수 있도록 하는 것이다.
제3도는 본 발명에 관한 렌즈연마기의 상대위치 제어장치의 구성을 나타낸 블럭도이다. 11은 연마기본체이고, 12는 상기 연마기본체(11)에 의하여 가공된 렌즈의 곡률반경을 측정하는 곡률측정수단이다. 13은 곡률변화산출수단으로서, 상기 곡률측정수단(12)에 의한 측정치와 앞서 가공한 렌즈의 곡률반경측청지를 대비함으로써 곡률변화치를 구하는 수단이다. 14는 상기 곡률변화산출수단(13)에서의 곡률변화치와 이미 설정되어 있는 곡률반경허용치를 대비하여, 이후 가공할 곡률반경보정치를 결정하는 곡률보정치 결정수단이다. 15는 상기 곡률보정치 결정수단(14)에 의하여 결정되는 곡률보정치에 대응하는 보정상대위치를 결정하는 보전상대위치 결정수단이고, 16은 상기 보정상대위치에 따라 연마기본체(11)의 상대위치 조정기구를 구동하는 상대위치 조정기구 구동수단이다. 이들을 도시한 바와같이 배열되어 상대위치를 제어한다.
제4도는, 제3도의 블럭도로 나타낸 렌즈연마기의 상대위치 제어장치의 각 구성수단에 의하여 이루어지는 기능의 순서를 나타낸 플로챠트이다. 먼저, 상대위치 제어장치를 스타트시켜 렌즈연마기(11)에 의하여 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 곡률측정수단(12)으로 측정하고, 이 측정치를 곡률변화산출수단(13)에 입력하여 앞서 측정한 측정치와 비교하여 곡률반경의 변화를 구한다. 앞서의 측정치는, 여러개를 연속적으로 동일한 곡률반경으로 가공하는 경우에 있어서, 1개전의 가공이 완료된 렌즈의 측정치 혹은 10개전의 가공이 완료된 렌즈의 측정치, 또는 임의의 시점에서의 렌즈의 측정치를 대비치로서 설정할 수 있다.
이어서, 곡률보정치 결정수단(14)에서, 상기 곡률변화치를 이미 설정되어 있는 곡률반경허용치와 비교함으로써, 이후 가공할 렌즈에 대한 새로운 보정곡률반경이 결정된다. 또한, 곡률변화치가 '0'인 경우에는 상대위치(상대각)를 그대로 하여 새로운 렌즈가공을 속행한다. 이어서, 보정상대위치 결정수단(15)에서는 곡률보정치의 결정을 받아 상대위치보정치를 결정한다. 상대위치보정치는 렌즈의 크기등에 따라 적절히 설정할수 있다. 상대위치의 보정량이 결정되면 연마기의 기구, 크기등을 고려하여 상대위치조정기구 구동수단(l6)을 작동시켜 상기 상대위치보정량을 그 제어보터의 제어량으로 변환하여 출력한다. 이상과 같이 함으로써, 이들 수단의 동작에 의하여 소정의 상대위치가 설정되며, 정확한 곡률반경을 가지는 렌즈를 얻을 수 있도록 연마가공이 실시된다.
제1도는 본 발명의 광학소자의 연마방법을 실시하는 장치의 제1실시예의 개략구성도를 나다낸다. 제1도에 있어서, 제10도에 도시한 것과 동일한 구성부재에 대해서는 동일한 부로를 붙여서 나타낸다. 이 제1실시예에 있어서는, 연결축(5)의 일단에 길이방향의 끼워맞춤구멍(5')을 형성하고, 이 끼워맞춤구멍(5')에 지지봉(3)을 하우징(21)을 통하여 지지하는 암(7)을 화살표 방향으로 미끄럼운동이 자유롭도록 끼워넣어 지지할 수 있도록 한다. 또, 연결축(5)의 일단에는 볼나사(22)를 구비한 제어모터(23)를 설치하고, 볼나사(22)에는 지지봉(3)을 지지하는 하우징(21)을 나사 결합한다. 24는 가공이 완료된 렌즈(2')의 곡률반경을 측정하는 측정기이며, 그 측정치는 곡률변화산출수단, 곡률보정치 결정수단, 보정상대위치 결정수단으로 이루어진 제어유니트(25)로 공급되고, 이 제어유니트(25)로부터의 출력에 의하여 상기 제어모터(23)를 제어구동할 수 있도록 구성한다.
이와같이 구성된 상대위치 제어장치를 이용하여 렌즈연마가공을 할 경우에는, 먼저 측정치(24)로 그 시점에서 가공이 완료된 렌즈(2')의 곡률반경을 측정한다. 이 측정치를 제어유니트(25)로 공급하고, 제어유니트(25)에서 이 측정치와 앞서의 측정치를 대비하여 변화치를 산출하고, 그 변화치와 이미 설정되어 있는 허용치를 대비하여 곡률보정치를 결정하고, 이어서 이 곡률보정치에 대응한 상대위치 보정량을 결정하고, 이 상대위치보정량에 의거하는 제어모터 구동제어신호를 송출한다. 이 구동제어신호에 의거하여 제어모터(23)를 작동시켜서 지지봉(3)을 하우징(2l)을 통하여 상대위치보정량에 따른 양만큼 화살표 방향으로 이동시킨다. 구후 피가공렌즈(2)를 올려놓은 연마공구(1) 및 편심판(9)을 회전시키면, 렌즈(2)는 연마공구(1)위를 제어설정된 소정의 상대위치를 유지하면서 요동하고 미끄럼운동하여 연마가공된다. 가공이 완료된 후에는 순차동일한 조작을 하여, 다음 렌즈의 가공을 속행할 수 있도록 한다.
제5도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제2실시예의 개략구성을 나타낸다. 제5도에 있어서, 제10도 또는 제1도에 나타낸 것과 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙인다. 26은 요동운동지지측(8) 및 편심판 회전구동용 모터(10)를 설치한 이동지지대를 나타내며, 27은 상기 이동지지대(26)를 화살표방향으로 이동이 자유롭도록 지지하는 베드를 구비한 지지대를 나타낸다. 또, 28은 상기 지지대(27)에 설치된 제어모터를 나타내며, 제어유니트(25)에 의하여 제어구동할 수 있도록 한다. 29는 제어모터(28)에 연결된 볼나사를 나타내며, 상기 이동지지대(26)에 설치되어 있는 하우징(도시생략)과 나사결합할 수 있도록 한다.
이와같이 구성된 상대위치 제어장치에서는, 제어유니트(25)로부터의 제어신호에 따라 제어모터(28)를 구동시킴으로써, 볼나사(29)를 통하여 이동지지대(26)가 화살표 방향으로 이동한다. 이 결과 지지봉(3)의 위치도 연마공구(1)에 대하여 이동함으로써 보정량에 따른 양만큼 상대위치를 보정하여 가공하게 된다.
제6도는 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제3실시예의 개략구성도를 나타낸다. 제6도에 있어서도 제10도 또는 제1도에 나타낸 것과 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙인다. 제6도에 있어서, 제1도에 나타낸 것과 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙인다. 제6도에 있어서, 30은 연마공구(1)를 고정한 축을 나타내며, 이것을 '0'점을 중심으로 회전가능한 축지지대(31)에 회전이 자유롭도록 지지한다. 또한 '0'점은 연마공구(l)의 곡률중심으로 하는 것이 바람직하다. 32는 축지지대(31)에 부착된 모터, 33은 상기 모터(32)에 연결된 풀리, 34는 공구축(30)에 고정된 풀리, 35는 풀리(33) 및 풀리(34)에 걸쳐진 벨트를 각각 나타낸다. 36은 연마기본체에 설치된 상대위치 제어모터로서, 제어유니트(25)로부터의 제어신호에 의하여 작동할 수 있도록 한다. 제어모터(36)에는 유니버설조인트(37)를 통하여 이송나사(38)를 연결하고, 이 이송나사(38)에는 축지지대(31)의 일단에 회전가능하게 부착되어 있는 하우징(39)을 나사결합한다.
이와같이 구성된 상대위치 제어장치에 있어서, 제어유니트(25)로부터의 제어신호에 따라 상대위치 제어모터(36)를 구동시키고, 상기 제어모터(36)의 작동에 의하여 유니버설조인트(37), 이송나사(38) 및 하우징(39)을 통하여 축지지대(31)를 '0'점을 중심으로 하여 회동할 수 있도록 한다. 이 지지대의 회동에 의하여 축(30)을 통하여 연마공구(1)도 회전하고, 이에 의하여 연마공구(1)에 대한 렌즈(2)의 상대위치를 변화시켜상대각(γ)을 제어유니트(25)로부터의 보정제어량에 따라 조정할 수 있도록 한다.
상기 각 실시예에서는, 연마공구를 소정위치에서 회전시키고, 피가공렌즈는 이것을 요동운동시키면서 연마공구와 미끄럼운동에서 가공하는 경우를 나타냈으나, 본 발명은 이에 한정하는 것이 아니며, 렌즈와 연마공구의 배치관계가 반대인 경우, 즉 피가공렌즈를 회전구동시키고, 연마공구를 요동운동시키도록 구성할 수도 있으며, 또 지지봉 대신에 다른 압압지지부재를 이용하여도 본 발명을 동일하게 적용할 수 있다.
또, 상대위치 조정기구도 다른 기구를 이용할 수 있으며, 예를들면, 제2도에 있어서 상대가(γ)에 요동운동(θ)의 반인 θ/2을 더한 각도(αmax)로 고정해 놓고 요동각(θ)을 변화시키는, 결과적으로 상대각(γ)을 변화시키는 구성을 취해도 동일한 작용효과를 얻을 수 있다.
제7도에 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제4실시예를 설명한다.
제7도에 있어서, 횡축(X)은 상대위치, 종축(Y)은 곡률볍화율을 나타낸다. 이 곡률변화율은 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하고, 그 측정치를 앞서 측정한 측정치와 비교하고, 그동안 축적된 가공시간으로 나눔으로써 얻는 것이다.
어느 시점(i)의 상대위치를 x1, 곡률반경변화율 yl, 지금까지의 측정회수를 n으로 하면, 다음식이 성립된다.
에서
을 이끌어 낼 수 있다.
통계학적으로는 상관식 Y=aX+b‥(14)로 나타내며, 상관계수(R)의 절대치(｜R｜)가 1에 가까울수록 그 상관정도는 높다. 이 상관계수의 절대치가 미리 설정한 값보다 클 경우, 이번의 측정곡률반경과 다음회에 기대하는 곡률반경과 다음회까지의 가공시간에서 예정곡률변화율(Yi+1)을 구하고, 이것으로 부터 다음식으로 표현되는 상대위치를 결정하도록 한다.
이와같이 하여, 식(1)∼식(5) 및 측정회수(n)를 순차 갱신하여 기억시키고, 식(6)∼식(13)을 통계처리함으로써, 식(15)에서 상대위치를 결정할 수 있다. 따라서, 측정회수가 증대할수록 상관계숙(R)가 커지므로 곡률반경보정의 정밀도가 좋아진다.
제2도 및 제8도에 의하여 본 발명의 광학소자 연마방법을 실시하는 장치의 제5실시예를 설명한다.
제1실시예∼제4실시예에 있어서는 가공조건으로서 상대위치를 변화시켰으나, 본 실시예에서는 요동각θ사이(min∼max)에서의 압압력을 변화시키도록 한다.
제8도에 있어서, 횡축은 렌즈축과 지석축의 각도를 시간적 경과로 나타내고, 종축은 상기 각도에 대응한 압압력을 나타낸다. 실선(a)은 요동 1사이클내에서 압압력을 변화시키지 않는 경우를 나타내며, 일점쇄선(b)은min에서 최대압압력,max에서 최소압압력이 되도륵 변화시키는 경우를 나타내며, 점선(c)은 반대로min에서 최소압압력,max에서 최대압압력이 되도록 변화시키는 경우를 나타낸다.
실선(a)의 패턴으로 곡률반경이 안정되게 가공되고 있는 경우, 일점쇄선(b)과 같은 패턴의 요동으로 압압력을 변화시키면 연마공구의 중심부근의 부하가 커지게 되어 그 마모는 외주부에 비해 커져서, 오목형상이라면 곡률반경이 작아지고 볼록형상이라면 곡률반경이 커지는 방향으로 변화한다. 또, 점선(c)은 그 반대의 작용이 있다.
이와같이 요동작 사이에서의 압압력을 변화하는 패턴을 적절히 변경함으로써 곡률을 변화시키는 수단에 의해서도 곡률반경을 보정할 수 있다.
또한, 압압력의 변화는 제8도에 나타낸 직선적인 변화 뿐만이 아니라, 제9도에 나타낸 바와같은 곡선적인 변화를 하게 하여도 된다.
또, 본 실시예에서는 압압력을 변화시키고 있으나, 요동중에 있어서의 체류시간을 변화(요동스피드를 변화시켜도 동일함)시켜도 동일한 보정을 할 수 있다. 상기한 바와같이 상대각, 요동각사이의 압압력변화, 요동각사이의 체류시간변화등의 가공조건을 적절히 변화시킴으로써, 공구의 각 위치에서의 마모량을 조정할수 있으며, 따라서 곡률반경을 조정 및 보정할 수 있다.
이상 실시예에 의거하여 상세하게 설명한 바와같이, 본 발명에 의하면, 곡률측정수단에 의하여 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하고, 그 측정치와 앞서 가공이 완료된 렌즈의 측청치를 대비하여 곡률변화치를 구하고, 이 변화치와 이미 설정된 곡률반경허용치에 의거하여 가공조건을 자동적으로 조정할 수 있도록 하였기 때문에, 숙련을 필요로 하지 않고 간단한 조작으로 정확한 곡률반경을 가지는 구면렌즈를 안정되게 가공할 수 있는등의 큰 효과를 얻을 수 있다.

Claims (7)

  1. 회전하는 연마공구 또는 피가공렌즈면에 대하여, 피가공렌즈 또는 연마공구를 압압지치부재로 압압함과 동시에 요동시키면서 미끄럼운동시켜 렌즈를 연마가공함에 있어서, 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하고, 이 곡률반경측정치와 앞서 가공한 렌즈의 곡률반경측정치를 대비하여 곡률변화치를 구하고, 상기곡률변화치와 이미 설정된 곡률허용치를 대비하여 곡률보정치를 결정하고, 이 결정된 곡률보정치에 의거하여 상기 요동운동의 가공조건 보정치를 결정하고, 이 가공조건 보정치에 따라 가공조건을 조정하는 공정를 구비한 것을 특징으로 하는 광학소자 연마방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정가공조건 결정공정에 있어서, 지금까지의 가공조건과 곡률반경변화율의 측정치를 통계처리하여 상관(相關)하고, 이것에 의하여 가공조건을 결정하는 특징으로 하는 광학소자 연마방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가공조건을 피가공렌즈와 연마공구의 상대위치에 의하여 결정하도륵 한 것을 특징으로 하는 광학소자 연마방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가공조건을 요동운동중의 압압력변화에 의하여 결정하는 것을 특징으로 하는 광학소자 연마방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가공조건을 요동운동중의 체류시간변화에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 광학소자 연마방법.
  6. 회전운동하는 연마공구(1) 또는 피가공렌즈면에 대하여, 피가공렌즈 또는 연마공구(1)를 압압부재로 압압지지하고 요동운동을 시키면서 미끄럼운동시켜 연마가공하도록 한 렌즈연마기(11)에 있어서, 가공이 완료된 렌즈의 곡률반경을 측정하는 곡률측정수단(12)과, 상기 곡률측정수단(12)에 의한 측정치와 앞서 가공한 렌즈의 곡률반경 측정치를 대비하여 곡률변화치를 구하는 곡률변화산출수단(13)과, 상기 곡률변화치와 이미 설정된 곡률허용치를 대비하여 곡률보정치를 결정하는 곡률보정치 결정수단(14)과, 상기 곡률보정치에 의거하여 상기 요동운동의 가공조건보정치를 결정하는 보전가공조건 결정수단(15)과, 상기 가공조건 보정치에 따라 가공조건을 조정하는 가공조건 조정수단(16)을 구비한 것을 특징으로 하는 광학소자 연마장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 연마장치에 가공조건과 곡률반경변화율의 측정치를 통계처리한 통계치를 차례로 기억하는 기능을 부가한 것을 특징으로 하는 광학소자 연마장치.
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