KR940004208B1 - 렌즈어레이광학계의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

렌즈어레이광학계의 제조방법
제1a~1e도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 렌즈어레이광학계의 제조방법을 표시한 공정도.
제2a, b도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 렌즈호울더의 평면도 및 단면도.
제3도는 렌즈호울더에 렌즈를 삽입했을때의 단면도.
제4a, b도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 각 렌즈의 초점의 피치간격을 표시한 설명도.
제5a~5c도는 렌즈어레이광학계의 사시도, 평면도 및 단면도.
제6a~6d도는 종래의 렌즈어레이광학계의 제조방법을 표시한 공정도.
제7a, b도는 종래의 렌즈호울더의 평면도 및 단면도.
제8a, b도는 종래의 렌즈어레이광학계에 있어서의 렌즈의 광축의 기울기의 차이를 표시한 설명도.
제9a~9c도는 종래의 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈의 초점피치간격을 표시한 설명도.
제10a, b도는 종래의 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈의 초점거리를 표시한 설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 렌즈 2 : 유리평판
3a : 유리평판호울더 4b : 렌즈호울더
본 발명은 2개 이상의 렌즈로 이루어진 렌즈어레이광학계의 제조방법에 관한 것이다.
이하, 도면을 참조하면서, 상기한 종래의 렌즈어레이광학계의 제조방법의 일례에 대해서 설명한다.
렌즈어레이광학계의 일례로서, 동일형상을 한 3개의 렌즈(1)(본체에서는 평볼록렌즈)와 유리평판(2)으로 이루어진 렌즈어레이광학계를 생각하자. 제5a도는 그 렌즈어레이광학계의 사시도, 5b도는 정면도, 5c도는 단면도이다. 또 렌즈(1)와 유리평판(2)은, BK7, 합성석영등의 일반적인 광학재료가 사용되고 있으며, 변형이 적고 내열성이 있는 자외선 경화접착제등으로 접착되어 있다.
다음에, 제5도에서 표시한 렌즈어레이광학계의 종래의 제조방법에 대해서 제6도를 참조하면서 설명한다.
먼저 처음에, 유리평판호울더(3)에 유리평판(2)을 삽입한다(제6a도). 다음에 그 유리평판호울더(3) 위에 렌즈호울더(4)를 삽입한다(제6b도). 그리고 렌즈(1)의 평면부(1a)에 미경화의 자외선경화 접착제를 도포한 후, 렌즈(1)를 렌즈호울더(4)내의 관통구멍(4a)에 삽입하여 가압한다(제6c도). 이 렌즈호울더(4)는 제7도에서 표시한 바와 같이, 렌즈(1)의 삽입ㆍ위치결정용 관통구멍(4a)을 가지고 있다. 즉, 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈(1)의 위치결정은 렌즈호울더(4)의 관통구멍(4a)의 내형부와 렌즈(1)의 외형부에 의해서 규제하여 행하고 있다. 마지막에 렌즈(1)의 위쪽에서부터 자외선을 조사하여 접착제를 경화시킨 후 유리평판호울더(3)와 렌즈호울더(4)를 떼어내면 렌즈호울더(4)가 완성된다(제6d도).
그러나 제6a~d도에서 표시한 종래의 방법으로, 렌즈어레이광학계를 조립ㆍ조정하면, 각 렌즈(1)는 유리평판(2)위의 렌즈호울더(4)의 관통구멍(4a)의 내형부와 렌즈(1)의 외형부에 의해서 규제하여 위치결정되고, 평면부(1a)에서 접착된다. 그때문에, 각 렌즈(1)에 편심이 존재하면, 그 광축(5)은 유리평판(2)에 대해서 수직이 되지 않는다. 제8도에 렌즈(1)에 편심이 존재하지 않는 경우 8a도와, 존재하는 경우 8b도의 렌즈(1)의 광축(5)의 유리평판(2)에 대한 기울기의 차이를 표시한다.
예를 들면, 렌즈호울더(4)의 관통구멍(4a)의 피치간격을 설계치인 p1,p2로 한다(제9a도). 이상적으로 각 렌즈(1)에 편심이 전혀 존재하지 않는다고 하면, 그 광축(5)은 유리평판(2)에 대해서 수직이 되고, 그 초점(6)의 피치간격 q1,q2는 렌즈호울더(4)의 관통구멍(4a)의 피치간격 p1,p2(설계치)와 동등하게 된다(제9b도). 그러나 현실적으로는 반드시 각 렌즈(1)에는 편심이 존재하기 때문에, 그 광축(5)은 유리평판(2)에 대해서 수직이 되지않고, 그 초점(6)의 피치간격 r1,r2는 렌즈호울더(4)의 관통구멍(4a)의 피치간격 p1,p2(설계치)와는 동등하게 되지 않는다(제9c도).
또 렌즈어레이광학계를 구성하고 있는 각 렌즈(1)의 두께가, 이상적으로 완전히 동등하면, 그 초점거리(백포커스 : d)는 모두 완전히 동등하게 된다(제10a도). 그러나 현실적으로는 반드시 각 렌즈(1)의 두께에는 오차가 존재하기 때문에 각 렌즈(1)의 초점거리(백포커스 : d +△d)는, 각 렌즈(1)에 따라서 달라진다(제10b도).
즉, 렌즈어레이광학계의 종래의 제조방법에서는 렌즈어레이광학계의 광학적 정밀도(광축의 기울기, 초점위치정밀도등)는, 렌즈호울더(4)의 가공정밀도(특히 관통구멍(4a)의 가공정밀도) 및 각 렌즈(1)의 가공정밀도(광축의 기울기, 외형ㆍ두께등의 형상정밀도)에 의존하고 있다. 그 때문에 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조할 경우, 렌즈호울더(4) 및 각 렌즈(1)의 양쪽의 가공정밀도를 높이지 않으면 안된다고 하는 과제가 있었다. 한편, 렌즈어레이광학계가 소형ㆍ박형화가 됨에 따라서 렌즈(1)를 소형ㆍ박형으로 할 필요가 있으며, 이에 따라서 렌즈(1)를 고정밀도로 가공하는 것이 곤란해지고, 또 설사 가공할 수 있었다하더라도 매우 고가의 것으로 되어버린다고 하는 과제가 있었다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 한쪽면이 평면이 렌즈의 곡면쪽에, 예를 들면 열가소성 접착제를 사용해서 렌즈의 곡면에 대응한 오목볼록부를 가진 렌즈호울더에 임시고정하고, 렌즈의 평면부와 렌즈호울더의 평면부를 동시에 평면연마하고, 임시고정ㆍ연마된 각 렌즈의 평면부에, 예를 들면 미경화의 자외선경화 접착제를 도포하고, 유리평판에 압압하고, 상기 미경화의 접착제를 경화시켜 렌즈를 본고정한 후, 임시고정한 렌즈호울더를 떼어내서 얻어지는 것을 특징으로 하는 렌즈어레이광학계의 제조방법이다.
본 발명은 상기한 제조방법에 의하면, 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈의 위치결정은, 렌즈의 곡면부를 렌즈호울더의 오목볼록부에 의해서 규제하여 행하고 있기 때문에, 각 렌즈의 광축은 렌즈호울더의 오목볼록부의 중심축과 일치하고, 또 유리평판에 대해서 수직이 된다. 그때문에 각 렌즈의 광축의 피치간격은 렌즈호울더의 오목볼록부의 피치간격이 된다.
또, 각 렌즈호울더에 임시고정한 후, 각 렌즈의 평면부와 렌즈호울더의 평면부가, 동일평면이 되도록 연마해서 유리평판에 접착하고 있기 때문에, 각 렌즈의 두께는 모두 동등하게 된다. 그 때문에, 각 렌즈의 초점거리(백포커스 : d)는 모두 완전히 동등하게 된다.
즉, 렌즈어레이광학계의 광학적 정밀도(광축의 기울기, 초점위치정밀도등)는, 렌즈호울더의 가공정밀도(특히 오목볼록부의 가공정밀도)에 의존하고, 각 렌즈단일체의 가공정밀도(광축의 기울기, 외형ㆍ두께등의 형상정밀도)에는 의존하지 않는다. 그 때문에, 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조하기 위해서는, 렌즈호울더의 가공정밀도만 높이면 되고, 각 렌즈단일체의 가공정밀도를 높일 필요는 없다. 한편 소형ㆍ박형의 렌즈어레이광학계에 대해서도 소형ㆍ박형의 각 렌즈가공정밀도를 높일 필요는 없고, 렌즈호울더의 가공정밀도만 높이면 되기 때문에, 저렴하고 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조할 수 있다.
본 발명의 실시예에 대해서 이하 도면을 참조하면서 설명한다.
제1도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 렌즈어레이광학계의 제조방법이다.
먼저 처음에, 미경화의 열가소성접착제를 볼록면부(1b)에 도포한 렌즈(1)를, 평면부(1a)를 위로해서, 렌즈호울더(4b)내에 삽입하여 가압ㆍ접착(임시고정)한다(제1a도). 이 렌즈호울더(4b)는 제2도에서 표시한 바와 같이 렌즈(1)의 볼록면부(1b)에 대응한 오목볼록부(4c)를 가지고 있다. 그때문에 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈(1)의 위치결정은 렌즈(1)의 외형부가 아니고, 렌즈(1)의 볼록면부(1b)를 렌즈호울더(4b)의 오목볼록부(4c)에 의해서 규제하여 행하고 있다(제3도).
임시구이된 각 렌즈(1)의 평면부(1a)와 렌즈호울더(4b)의 평면부(4d)는, 각 렌즈(1)의 편심, 두께오차 및 렌즈호울더(4b)의 오목볼록부(4c)의 가공깊이의 오차만큼 오목볼록이 있다. 그때문에 각 렌즈(1)의 평면부(1a)와 렌즈호울더(4b)의 평면부(4d)가, 동일평면이 되도록 연마한다(제1b도).
한편 유리평판호울더(3a)에 유리평판(2)을 삽입한다(제1c도). 단 이 유리평판호울더(3a)는 뒤쪽에 자외선조사용의 창(3b)을 가지고 있다.
다음에, 임시고정, 연마된 렌즈(1)와 렌즈호울더(4b)(제1b도)의 렌즈(1)의 평면부(1a)에 미경화의 자외선경화접착제를 도포하고 유리평판(2)을 삽입한 유리평판호울더(3a)에 삽입하여 가압한다. 또 도면 아래쪽에서부터 자외선을 조사하고, 미경화의 자외선경화접착제를 경화시켜 렌즈(1)를 본고정한다(제1d도).
마지막에, 먼저 유리평판호울더(3a)를 떼어낸다. 다음에 나머지 지그전체(렌즈(1), 유리평판(2), 렌즈호울더(4b))를 따뜻하게 해서, 렌즈(1)와 유리평판(2)이 떨어지지 않도록 하면서, 렌즈(1)와 렌즈호울더(4b)를 임시고정하고 있는 열가소성 접착제만 녹여서, 렌즈호울더(4b)를 렌즈(1)로부터 떼어내면, 렌즈어레이광학계가 완성된다(제1e도).
즉 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈(1)의 위치결정은 렌즈(1)의 외형부가 아니라, 렌즈(1)의 볼록면부(1b)를 렌즈호울더(4b)의 오목볼록부(4c)에 의해서 규제하여 행하고 있기 때문에, 각 렌즈(1)의 광축(5)은 렌즈호울더(4b)의 오목볼록부(4c)의 중심축과 일치하고, 또, 유리평판(2)에 대해서 수직이 된다. 그 때문에 각 렌즈(1)의 광축(5)의 피치간격 q1,q2는 렌즈호울더(4b)의 오목볼록부(4c)의 피치간격 p1,p2와 동등하게 된다.
또, 각 렌즈(1)는 렌즈호울더(4b)에 임시고정한 후, 각 렌즈(1)의 평면부(1a)와 렌즈호울더(4b)의 상면부(4d)가, 동일평면이 되도록 연마해서 유리평판(2)에 접착하고 있기 때문에 각 렌즈(1)의 두께는 모두 동등하게 된다. 그때문에 각 렌즈(1)의 초점거리(백포커스 : d)는 모두 완전히 동등하게 된다.(제4a, b도)
즉, 렌즈어레이광학계의 광학적 정밀도(광축의 기울기, 초점위치정밀도등)는 렌즈호울더(4b)의 가공정밀도(특히 오목볼록부(4c)의 가공정밀도)에 의존하고, 각 렌즈(1)의 가공정밀도(광축의 기울기, 외형ㆍ두께등의 형상정밀도)에는 의존하지 않는다. 그 때문에, 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조하기 위해서는, 렌즈호울더(4b)의 가공정밀도만 높이면 되고, 각 렌즈(1)의 가공정밀도를 높일 필요는 없다. 한편 소형ㆍ박형의 렌즈어레이광학계에 대해서도 소형ㆍ박형의 각 렌즈(1)의 가공정밀도를 높일 필요는 없고, 렌즈호울더(4b)의 가공정밀도만 높이면 되기 때문에, 저렴하고 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조할 수 있다.
본 발명은 렌즈어레이광학계의 제조방법에 의하면, 렌즈어레이광학계에 있어서의 각 렌즈의 위치결정은, 렌즈의 곡면부를 렌즈호울더의 오목볼록부에 의해서 규제하여 행하고 있기 때문에, 각 렌즈의 광축은 유리평판에 대해서 수직이 된다. 그 때문에 각 렌즈의 광축의 피치간격은 렌즈호울더의 오목볼록부의 피치간격이 된다.
또, 각 렌즈는 렌즈호울더에 임시고정한 후, 평면연마해서 유리평판에 접착하고 있기 때문에, 각 렌즈의 두께는 모두 동등하게 된다. 그 때문에, 각 렌즈의 초점거리는 모두 완전히 동등하게 된다.
즉, 렌즈어레이광학계의 광학적 정밀도(광축의 기울기, 초점위치정밀도등)는 렌즈호울더의 가공정밀도(특히 오목볼록부의 가공정밀도)에 의존하고, 각 렌즈의 가공정밀도(광축의 기울기, 외형ㆍ두께등의 형상정밀도)에는 의존하지 않는다. 그 때문에, 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조하기 위해서는, 렌즈호울더의 가공정밀도만 높이면 되고, 각 렌즈의 가공정밀도를 높일 필요는 없다. 한편 소형ㆍ박형의 렌즈어레이광학계에 대해서도 소형ㆍ박형의 렌즈의 가공정밀도를 높일 필요는 없고, 렌즈호울더의 가공 정밀도만 높이면 되기 때문에, 저렴하고 고정밀도의 렌즈어레이광학계를 제조할 수 있다.

Claims (1)

  1. 한쪽면이 평면인 2개 이상의 렌즈와 유리평판으로 이루어진 렌즈어레이광학계의 제조방법에 있어서, 각 렌즈를 렌즈의 곡면에 대응한 오목볼록부를 가진 렌즈호울더에 임시 고정한 후 렌즈와 렌즈호울더를 동시에 평면연마하고, 또, 렌즈의 평면부에 미경화의 접착제를 도포해서, 유리평판에 압압하면서, 상기 미경화의 접착제를 경화시켜 렌즈를 본고정한 후 임시고정한 렌즈호울더를 떼어내어서 얻어지는 것을 특징으로 하는 렌즈어레이광학계의 제조방법.
KR1019910020649A 1990-11-20 1991-11-20 렌즈어레이광학계의 제조방법 KR940004208B1 (ko)

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3280786B2 (ja) * 1993-12-28 2002-05-13 株式会社メニコン コンタクトレンズ材料接着治具
US6847491B1 (en) * 1999-09-27 2005-01-25 Arrayed Fiberoptics Corporation Hybrid microlens array
US20030025227A1 (en) * 2001-08-02 2003-02-06 Zograph, Llc Reproduction of relief patterns
JP3552046B2 (ja) * 2001-09-13 2004-08-11 船井電機株式会社 ピックアップヘッドにおけるセンサの取付方法、およびピックアップヘッド
US8398776B2 (en) * 2008-05-12 2013-03-19 Raytheon Canada Limited Method and apparatus for supporting workpieces in a coating apparatus
JP2011084060A (ja) * 2009-09-17 2011-04-28 Fujifilm Corp レンズアレイのマスターモデル及びその製造方法
FR3103287B1 (fr) * 2019-11-14 2021-12-03 Safran Electronics & Defense Système de fixation de pièces optiques

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2434614A (en) * 1944-11-11 1948-01-13 Eastman Kodak Co Thermoplastic synthetic resin optical lap
US4104099A (en) * 1977-01-27 1978-08-01 International Telephone And Telegraph Corporation Method and apparatus for lapping or polishing materials
GB1581455A (en) * 1977-06-28 1980-12-17 Bfg Glassgroup Mirrors
US4239567A (en) * 1978-10-16 1980-12-16 Western Electric Company, Inc. Removably holding planar articles for polishing operations
US4297401A (en) * 1978-12-26 1981-10-27 Minnesota Mining & Manufacturing Company Liquid crystal display and photopolymerizable sealant therefor
DE3071406D1 (en) * 1979-08-29 1986-03-20 Minnesota Mining & Mfg Ophthalmic lens blank with protective coating
DE3234744C2 (de) * 1982-09-20 1984-11-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Einrichten zum Halten mehrerer, jeweils mit integrierten Schaltkreisen versehenen Halbleiterplättchen beim Kontaktieren mit auf einem filmförmigen Substrat ausgebildeten Streifenleitern
EP0161740B1 (en) * 1984-05-09 1991-06-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing semiconductor substrate
JPH01124818A (ja) * 1987-11-10 1989-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 情報読取用レンズアレイ
DE3801805A1 (de) * 1988-01-22 1989-08-03 Ripplinger Sibylle Selbstzentrierende platte zum herstellen von vorgefertigten matten aus mosaik, keramikfliesen oder glasplatten
US5009731A (en) * 1989-10-25 1991-04-23 Menicon Co., Ltd. Ultraviolet-hardenable adhesive and bonding method employing same

Also Published As

Publication number Publication date
US5200010A (en) 1993-04-06
JP2867690B2 (ja) 1999-03-08
JPH04186201A (ja) 1992-07-03

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