JP2000301550A - マイクロレンズアレイの製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイの製造方法Info
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- JP2000301550A JP2000301550A JP11115961A JP11596199A JP2000301550A JP 2000301550 A JP2000301550 A JP 2000301550A JP 11115961 A JP11115961 A JP 11115961A JP 11596199 A JP11596199 A JP 11596199A JP 2000301550 A JP2000301550 A JP 2000301550A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイクロレンズアレイのための簡単な金型の
製造方法と、その金型でレンズアレイを作成し、そのレ
ンズアレイを搭載することにより、性能の良い読み取り
装置を提供する。 【解決手段】 マイクロレンズを形成するのに必要な曲
面形状を先端に有した１本のポンチで鏡面を施した基体
の表面に、レンズアレイとして所望するピッチをとりな
がら、必要な回数だけ繰り返し押圧して、金型となる部
材を作成する。次に、この金型を利用して紫外線硬化樹
脂を用いて透明な平行平板（マイクロレンズアレイガラ
ス基板）１０にマイクロ非球面レンズアレイ１１，１２
を作成する。
製造方法と、その金型でレンズアレイを作成し、そのレ
ンズアレイを搭載することにより、性能の良い読み取り
装置を提供する。 【解決手段】 マイクロレンズを形成するのに必要な曲
面形状を先端に有した１本のポンチで鏡面を施した基体
の表面に、レンズアレイとして所望するピッチをとりな
がら、必要な回数だけ繰り返し押圧して、金型となる部
材を作成する。次に、この金型を利用して紫外線硬化樹
脂を用いて透明な平行平板（マイクロレンズアレイガラ
ス基板）１０にマイクロ非球面レンズアレイ１１，１２
を作成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロレンズア
レイの製造方法、前記製造方法で製造されたマイクロレ
ンズアレイおよび前記製造方法で使用する装置に関す
る。
レイの製造方法、前記製造方法で製造されたマイクロレ
ンズアレイおよび前記製造方法で使用する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】微細なレンズを所定の間隔を保って配置
するマイクロレンズアレイを型を用いて製造する方法が
提案されている。前記製造に用いられる型は、ガラス基
板に薄膜を形成し、フォトリソグラフ，等方性エッチン
グ技術を用いて凹状の型を形成することによって得られ
ている。また他の型の製造方法は、基板に電子ビームレ
ジスト塗布後、電子ビーム露光によりレジストを凸状に
形成して原盤を形成する。次に電鋳法によりニッケルな
どのスタンパ材料を原盤の上に堆積し、これを分離させ
て得られたニッケルスタンパを金型として用いるもので
ある。
するマイクロレンズアレイを型を用いて製造する方法が
提案されている。前記製造に用いられる型は、ガラス基
板に薄膜を形成し、フォトリソグラフ，等方性エッチン
グ技術を用いて凹状の型を形成することによって得られ
ている。また他の型の製造方法は、基板に電子ビームレ
ジスト塗布後、電子ビーム露光によりレジストを凸状に
形成して原盤を形成する。次に電鋳法によりニッケルな
どのスタンパ材料を原盤の上に堆積し、これを分離させ
て得られたニッケルスタンパを金型として用いるもので
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のフォトレジ
スト技術，フォトリソグラフ技術，エッチング技術等を
駆使するためには豊富な経験（ノウハウ）および高価な
設備が必要となる。本発明では、そのような方法によら
ず、既存の数値制御加工機を用いて型を容易に形成でき
るようにする。本発明の第１の目的は、マイクロレンズ
アレイの新規な製造方法を提供することにある。本発明
の第２の目的は、前記方法によりマイクロレンズアレイ
を提供することにある。本発明の第３の目的は前記製造
方法で直接使用する製造装置を提供することにある。
スト技術，フォトリソグラフ技術，エッチング技術等を
駆使するためには豊富な経験（ノウハウ）および高価な
設備が必要となる。本発明では、そのような方法によら
ず、既存の数値制御加工機を用いて型を容易に形成でき
るようにする。本発明の第１の目的は、マイクロレンズ
アレイの新規な製造方法を提供することにある。本発明
の第２の目的は、前記方法によりマイクロレンズアレイ
を提供することにある。本発明の第３の目的は前記製造
方法で直接使用する製造装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明による片面マイクロレンズアレイの製造方法
は、表面にマイクロレンズアレイの各レンズ曲面形状に
実質的に相補的な型要素が所定のピッチで多数設けられ
ている金型を準備するステップと、前記型要素および連
絡部分に特定の波長領域を含む光で照射されたときに硬
化する樹脂を塗布するステップと、前記樹脂に透明基板
を密着させるステップと、前記透明基板方向から前記特
定の波長領域を含む光で前記樹脂を照射し、硬化させる
ステップと、および前記樹脂が硬化された後に前記透明
基板と前記基板と一体の硬化された樹脂を離型する離型
ステップとから構成されている。
に、本発明による片面マイクロレンズアレイの製造方法
は、表面にマイクロレンズアレイの各レンズ曲面形状に
実質的に相補的な型要素が所定のピッチで多数設けられ
ている金型を準備するステップと、前記型要素および連
絡部分に特定の波長領域を含む光で照射されたときに硬
化する樹脂を塗布するステップと、前記樹脂に透明基板
を密着させるステップと、前記透明基板方向から前記特
定の波長領域を含む光で前記樹脂を照射し、硬化させる
ステップと、および前記樹脂が硬化された後に前記透明
基板と前記基板と一体の硬化された樹脂を離型する離型
ステップとから構成されている。
【０００５】本発明に両面マイクロレンズアレイの製造
方法は、前記離型ステップに引き続き前記型の前記型要
素および連絡部分に特定の波長領域を含む光で照射され
たときに硬化する樹脂を再度塗布する第２塗布ステップ
と、前記樹脂に前記透明基板の他方の面を密着させるス
テップと、前記ガラス基板に先に形成された樹脂アレイ
の方向から前記特定の波長領域を含む光で前記樹脂を照
射し、硬化させるステップと、前記樹脂が硬化された後
に前記ガラス基板と前記基板と一体の硬化された樹脂を
離型する離型ステップとを含んで構成されている。前記
マイクロレンズアレイの製造方法において、前記透明基
板はガラス基板であり、前記樹脂は紫外線硬化形の樹脂
とすることができる。
方法は、前記離型ステップに引き続き前記型の前記型要
素および連絡部分に特定の波長領域を含む光で照射され
たときに硬化する樹脂を再度塗布する第２塗布ステップ
と、前記樹脂に前記透明基板の他方の面を密着させるス
テップと、前記ガラス基板に先に形成された樹脂アレイ
の方向から前記特定の波長領域を含む光で前記樹脂を照
射し、硬化させるステップと、前記樹脂が硬化された後
に前記ガラス基板と前記基板と一体の硬化された樹脂を
離型する離型ステップとを含んで構成されている。前記
マイクロレンズアレイの製造方法において、前記透明基
板はガラス基板であり、前記樹脂は紫外線硬化形の樹脂
とすることができる。
【０００６】本発明方法によれば、前記方法により片面
および、両面のマイクロレンズアレイを製造することが
できる。前記マイクロレンズアレイの各マイクロレンズ
の曲面は球面または非球面とすることができる。また凸
レンズのみでなく凹レンズのマイクロレンズアレイを形
成することもできる。
および、両面のマイクロレンズアレイを製造することが
できる。前記マイクロレンズアレイの各マイクロレンズ
の曲面は球面または非球面とすることができる。また凸
レンズのみでなく凹レンズのマイクロレンズアレイを形
成することもできる。
【０００７】本発明による前記方法で使用する型装置
は、透明基板の一面に樹脂のマイクロレンズアレイを形
成する方法において使用する型装置であって、塑性変形
可能な金属材料母材を準備して一面を鏡面に仕上げて表
面を加工し、先端形状がマイクロレンズの曲面に相当す
る面を有するポンチで押圧して前記表面を変形させて、
型要素を順次アレイ状態に形成し、前記型要素以外の表
面を粗面に加工し、前記型要素，前記粗面に表面硬化処
理をおこない、表面にマイクロレンズアレイに相当する
型要素を形成して構成した一面に樹脂のマイクロレンズ
アレイを形成する方法において使用することができる。
は、透明基板の一面に樹脂のマイクロレンズアレイを形
成する方法において使用する型装置であって、塑性変形
可能な金属材料母材を準備して一面を鏡面に仕上げて表
面を加工し、先端形状がマイクロレンズの曲面に相当す
る面を有するポンチで押圧して前記表面を変形させて、
型要素を順次アレイ状態に形成し、前記型要素以外の表
面を粗面に加工し、前記型要素，前記粗面に表面硬化処
理をおこない、表面にマイクロレンズアレイに相当する
型要素を形成して構成した一面に樹脂のマイクロレンズ
アレイを形成する方法において使用することができる。
【０００８】前記マイクロレンズアレイを形成する方法
において使用する型装置において、前記ポンチは、金属
ポンチ素材を準備し、その先端をマイクロレンズの曲面
に対応する形状に加工し、前記ポンチの先端に高い硬度
の膜を形成して表面硬化処理を施すことができる。
において使用する型装置において、前記ポンチは、金属
ポンチ素材を準備し、その先端をマイクロレンズの曲面
に対応する形状に加工し、前記ポンチの先端に高い硬度
の膜を形成して表面硬化処理を施すことができる。
【０００９】前記装置において、前記先端をマイクロレ
ンズの曲面に対応する形状に加工する工程は、ポンチ先
端部を研磨機により研磨加工し、ついで無電界メッキに
よりニッケルメッキをおこない、前記ニッケルメッキ層
の表面を鏡面に仕上げるものとすることができる。前記
型およびポンチにおいて、前記高硬度膜形成ステップ
は、イオンプレーティング法により窒化膜または炭化膜
を、例えば窒化チタンまたは窒化チタンアルミニウム等
をコーティングするステップとすることができる。
ンズの曲面に対応する形状に加工する工程は、ポンチ先
端部を研磨機により研磨加工し、ついで無電界メッキに
よりニッケルメッキをおこない、前記ニッケルメッキ層
の表面を鏡面に仕上げるものとすることができる。前記
型およびポンチにおいて、前記高硬度膜形成ステップ
は、イオンプレーティング法により窒化膜または炭化膜
を、例えば窒化チタンまたは窒化チタンアルミニウム等
をコーティングするステップとすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面等を参照して本発明によ
る装置の実施の形態を説明する。本発明によれば、特別
高価な加工設備を必要としないで、レンズの曲面の基礎
となる頂点をもつポンチを製造することができ、そのポ
ンチを用いて、短期間で正確な球面形状あるいは非球面
形状をもった金型が作成できる。そして、その金型を使
用して片面のみのマイクロレンズアレイ、あるいは両面
共マイクロレンズアレイを備えた光学部品を作成でき
る。
る装置の実施の形態を説明する。本発明によれば、特別
高価な加工設備を必要としないで、レンズの曲面の基礎
となる頂点をもつポンチを製造することができ、そのポ
ンチを用いて、短期間で正確な球面形状あるいは非球面
形状をもった金型が作成できる。そして、その金型を使
用して片面のみのマイクロレンズアレイ、あるいは両面
共マイクロレンズアレイを備えた光学部品を作成でき
る。
【００１１】材質がステンレス製ポンチの棒状母材の押
圧する側の端面を、施盤加工機で所望する形状に粗加工
し、次に無電解ニッケルメッキを施し、次に、この無電
解ニッケルメッキの表面を所望する非球面形状に鏡面加
工し、次にイオンプレーティング法で窒化チタンを、厚
み約１ミクロンにコーティングする。
圧する側の端面を、施盤加工機で所望する形状に粗加工
し、次に無電解ニッケルメッキを施し、次に、この無電
解ニッケルメッキの表面を所望する非球面形状に鏡面加
工し、次にイオンプレーティング法で窒化チタンを、厚
み約１ミクロンにコーティングする。
【００１２】図４は前記ポンチを示す略図である。図４
に示すように、金属性ポンチ１の素材金属材料を準備し
て、その先端１ｃをマイクロレンズに必要な屈折曲面に
必要な形状を与えるために数値制御旋盤で切削加工す
る。また必要に応じてポンチ先端部を研磨機により研磨
加工する。ついで無電界メッキによりニッケルメッキ１
ｄをおこなう。ついで、さらにそのニッケルメッキ１ｄ
を鏡面に仕上げる研磨をする。次に、イオンプレーティ
ングにより表面に窒化チタンコートを形成する。前記窒
化チタンコートに代えて、窒化チタンアルミニウムのコ
ーティングを施すことによっても先端を硬化させること
ができ、同様な保護層を形成することができる。なお図
において１ａ部は、ポンチのガイド部または保持部であ
る。
に示すように、金属性ポンチ１の素材金属材料を準備し
て、その先端１ｃをマイクロレンズに必要な屈折曲面に
必要な形状を与えるために数値制御旋盤で切削加工す
る。また必要に応じてポンチ先端部を研磨機により研磨
加工する。ついで無電界メッキによりニッケルメッキ１
ｄをおこなう。ついで、さらにそのニッケルメッキ１ｄ
を鏡面に仕上げる研磨をする。次に、イオンプレーティ
ングにより表面に窒化チタンコートを形成する。前記窒
化チタンコートに代えて、窒化チタンアルミニウムのコ
ーティングを施すことによっても先端を硬化させること
ができ、同様な保護層を形成することができる。なお図
において１ａ部は、ポンチのガイド部または保持部であ
る。
【００１３】次に、金型の製造工程を図５を参照して説
明する。マイクロレンズアレイを形成するために必要な
金型となる母材２としては、比較的軟らかい金属（例え
ばアルミニウム）を用いる。マイクロレンズを形成しよ
うとする表面２ａを、研磨機による研磨加工、あるいは
施盤とダイヤモンドバイトの切削加工、あるいは化学処
理等によって鏡面に仕上げておく。
明する。マイクロレンズアレイを形成するために必要な
金型となる母材２としては、比較的軟らかい金属（例え
ばアルミニウム）を用いる。マイクロレンズを形成しよ
うとする表面２ａを、研磨機による研磨加工、あるいは
施盤とダイヤモンドバイトの切削加工、あるいは化学処
理等によって鏡面に仕上げておく。
【００１４】２軸あるいは３軸を制御できる数値制御加
工機で、金型の母材表面に、所望の間隔および所望の数
だけポンチ１の押圧を繰り返す。ただし、押圧の量は、
あらかじめ実験により確かめておく。次に、所定の位置
から、例えばピッチ０．５２ｍｍ、深さ０．０６ｍｍ、
押圧回数４３０になるように、数値制御加工機を設定し
加工を進める。
工機で、金型の母材表面に、所望の間隔および所望の数
だけポンチ１の押圧を繰り返す。ただし、押圧の量は、
あらかじめ実験により確かめておく。次に、所定の位置
から、例えばピッチ０．５２ｍｍ、深さ０．０６ｍｍ、
押圧回数４３０になるように、数値制御加工機を設定し
加工を進める。
【００１５】深さを設定する方法は、材質がアルミニウ
ム製の鏡面が施されているブロックを３軸数値制御加工
機に装着し、ポンチをＺ軸に装着する。ポンチの先端が
前記ブロックの表面に接触する位置を基準として、その
ままＺ軸を下げ、押圧し、深さが０．０６ｍｍになった
値を記録しておき、この量を基準値として連続加工をお
こなう。
ム製の鏡面が施されているブロックを３軸数値制御加工
機に装着し、ポンチをＺ軸に装着する。ポンチの先端が
前記ブロックの表面に接触する位置を基準として、その
ままＺ軸を下げ、押圧し、深さが０．０６ｍｍになった
値を記録しておき、この量を基準値として連続加工をお
こなう。
【００１６】このようにして、マイクロレンズアレイの
金型として曲面の目穴加工が終了した母材の表面２ａ
に、屈折面となるレンズ部（穴部２ｃ）を除く平面部を
粗面とするような加工をする。図４に示すように定磐の
上で順次＃８００から＃２０００番の砂摺加工する。次
にイオンプレーティング法で窒化チタンなどを、図４に
示すようにコーティングをおこなう。この厚みは前記ポ
ンチ１に施した厚みと同じ厚みにする。
金型として曲面の目穴加工が終了した母材の表面２ａ
に、屈折面となるレンズ部（穴部２ｃ）を除く平面部を
粗面とするような加工をする。図４に示すように定磐の
上で順次＃８００から＃２０００番の砂摺加工する。次
にイオンプレーティング法で窒化チタンなどを、図４に
示すようにコーティングをおこなう。この厚みは前記ポ
ンチ１に施した厚みと同じ厚みにする。
【００１７】この金型２を、紫外線硬化樹脂でマイクロ
レンズアレイを形成するための治具３に装着する。図６
は金型２を装着した治具の斜視図である。治具３の表面
には後述する平行平面ガラスの位置を決定するための位
置決め突起３ａ，３ｂ，３ｃが設けられている。なおこ
のとき、金型２の表面２ａと平行平面ガラスの間隔を所
定値例えば０．０２ｍｍになるように金型２の表面２ａ
を治具３の表面から沈めてある。
レンズアレイを形成するための治具３に装着する。図６
は金型２を装着した治具の斜視図である。治具３の表面
には後述する平行平面ガラスの位置を決定するための位
置決め突起３ａ，３ｂ，３ｃが設けられている。なおこ
のとき、金型２の表面２ａと平行平面ガラスの間隔を所
定値例えば０．０２ｍｍになるように金型２の表面２ａ
を治具３の表面から沈めてある。
【００１８】まず、金型のレンズ部に光硬化樹脂を滴下
し、その上に透明な平行平面ガラスを押し当て、平行平
面ガラス側より紫外線を照射し、光硬化樹脂を硬化させ
る。次にガラスを金型から離型し、再度金型のレンズ部
に光硬化樹脂を滴下し、その上に上記レンズを成形した
反対面を押し当て、ガラス側より紫外線を照射し、光硬
化樹脂を硬化させ、金型より離型する。以上のように、
あらかじめ１つの金型で両面のレンズアレイの位置が合
うように治具を構成しておく。
し、その上に透明な平行平面ガラスを押し当て、平行平
面ガラス側より紫外線を照射し、光硬化樹脂を硬化させ
る。次にガラスを金型から離型し、再度金型のレンズ部
に光硬化樹脂を滴下し、その上に上記レンズを成形した
反対面を押し当て、ガラス側より紫外線を照射し、光硬
化樹脂を硬化させ、金型より離型する。以上のように、
あらかじめ１つの金型で両面のレンズアレイの位置が合
うように治具を構成しておく。
【００１９】次に図７を参照してマイクロレンズアレイ
の製造工程を詳細に説明する。（ステップ１）金型２の
表面に紫外線硬化樹脂（Photopolymer) を適量滴下した
後にガラス基板１０を被せる。（ステップ２）図７
（Ａ）に示すように、ガラス基板１０の表面側から紫外
線照射装置で照射して樹脂を硬化させる。そして裏面に
ついても同様にする。
の製造工程を詳細に説明する。（ステップ１）金型２の
表面に紫外線硬化樹脂（Photopolymer) を適量滴下した
後にガラス基板１０を被せる。（ステップ２）図７
（Ａ）に示すように、ガラス基板１０の表面側から紫外
線照射装置で照射して樹脂を硬化させる。そして裏面に
ついても同様にする。
【００２０】（ステップ３）図７（Ｂ）に示すように、
治具と型から離型して、両面凸のマイクロレンズアレイ
が完成させられる。
治具と型から離型して、両面凸のマイクロレンズアレイ
が完成させられる。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】
【表３】
【００２４】前記方法で作成したマイクロレンズアレイ
を搭載した小型読み取り装置を図８に示す。ケース２０
の上面に設けられたコンタクトガラス２１の上面に原稿
（図示せず）が配置される。前記原稿の面はケース２０
内に設けられ、照明部２５の光で照射され、反射光は絞
り２２を介してマイクロレンズアレイの一方側のマイク
ロレンズアレイ１１に入射される。そして受光部２４に
結像される。
を搭載した小型読み取り装置を図８に示す。ケース２０
の上面に設けられたコンタクトガラス２１の上面に原稿
（図示せず）が配置される。前記原稿の面はケース２０
内に設けられ、照明部２５の光で照射され、反射光は絞
り２２を介してマイクロレンズアレイの一方側のマイク
ロレンズアレイ１１に入射される。そして受光部２４に
結像される。
【００２５】この密着型読み取り装置をスキャナ本体に
接続し、オシロスコープで観測したところ、セルフォッ
クレンズを搭載した読み取り装置と比較して、格段に優
れた結果が得られた。
接続し、オシロスコープで観測したところ、セルフォッ
クレンズを搭載した読み取り装置と比較して、格段に優
れた結果が得られた。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明は、金型製作には高
価な設備がなくても製作でき、金型そのものも安価に、
また早く作成できることを特徴とするものであり、光硬
化樹脂を使用した片面あるいは両面が非球面のマイクロ
レンズアレイが簡単に製作できる。またこの方法は凸レ
ンズに限らず凹レンズも作成できる金型の製作ができ、
それを使用した凹レンズ、凸レンズのマイクロレンズア
レイが作成できる。
価な設備がなくても製作でき、金型そのものも安価に、
また早く作成できることを特徴とするものであり、光硬
化樹脂を使用した片面あるいは両面が非球面のマイクロ
レンズアレイが簡単に製作できる。またこの方法は凸レ
ンズに限らず凹レンズも作成できる金型の製作ができ、
それを使用した凹レンズ、凸レンズのマイクロレンズア
レイが作成できる。
【図１】本発明によるマイクロレンズアレイの実施例の
略図的な断面図である。
略図的な断面図である。
【図２】本発明によるマイクロレンズアレイの実施例の
光路図である。
光路図である。
【図３】本発明によるマイクロレンズアレイの実施例の
収差図である。
収差図である。
【図４】本発明によるマイクロレンズアレイの製造方法
で使用する型の製造に利用されるポンチの製造工程を説
明するための略図である。
で使用する型の製造に利用されるポンチの製造工程を説
明するための略図である。
【図５】本発明によるマイクロレンズアレイの製造方法
で使用する型の製造工程を説明するための略図である。
で使用する型の製造工程を説明するための略図である。
【図６】前記型をマイクロレンズアレイの製造のために
治具に格納した状態を示す斜視図である。
治具に格納した状態を示す斜視図である。
【図７】前記型を用いてマイクロレンズアレイを製造す
る工程を説明するための略図である。
る工程を説明するための略図である。
【図８】本発明による前記マイクロレンズアレイの利用
例を示す略図である。
例を示す略図である。
１ ポンチ ２ 型 ３ 治具 ４ 紫外線照射装置 １０ マイクロレンズアレイガラス基板 １１，１２ マイクロレンズアレイ樹脂レンズ部 ２０ ケース ２１ コンタクトガラス ２２ 絞り ２３ マイクロレンズアレイハウジング ２４ 受光部 ２５ 照明部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 13/18 Ｇ０２Ｂ 13/18 13/24 13/24 // Ｂ２９Ｋ 105:24 Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｆターム(参考） 2H087 KA00 LA01 PA02 PA17 PB02 QA02 QA07 QA13 QA33 RA05 RA12 RA13 RA26 RA42 UA01 4F202 AA36 AD04 AD08 AH73 CA01 CB01 CB11 CB27 CB29 CD07 CD18 CD25 CN30 4F204 AA36 AD04 AD08 AH73 EA03 EA04 EB01 EB11 EB29 EF01 EF23 EK18 EK24
Claims (10)
- 【請求項１】 表面にマイクロレンズアレイの各レンズ
曲面形状に実質的に相補的な型要素が所定のピッチで多
数設けられている金型を準備するステップと、前記型要
素および連絡部分に特定の波長領域を含む光で照射され
たときに硬化する樹脂を塗布するステップと、前記樹脂
に透明基板を密着させるステップと、前記透明基板方向
から前記特定の波長領域を含む光で前記樹脂を照射し、
硬化させるステップと、前記樹脂が硬化された後に前記
透明基板と前記基板と一体の硬化された樹脂を離型する
離型ステップとを含む片面マイクロレンズアレイの製造
方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の方法において、前記離型
ステップに引き続き前記型の前記型要素および連絡部分
に特定の波長領域を含む光で照射されたときに硬化する
樹脂を再度塗布する第２塗布ステップと、前記樹脂に前
記透明基板の他方の面を密着させるステップと、前記ガ
ラス基板に先に形成された樹脂アレイの方向から前記特
定の波長領域を含む光で前記樹脂を照射し、硬化させる
ステップと、前記樹脂が硬化された後に前記ガラス基板
と前記基板と一体の硬化された樹脂を離型する離型ステ
ップとを含む両面樹脂マイクロレンズアレイの製造方
法。 - 【請求項３】 前記透明基板はガラス基板であり、前記
樹脂は紫外線硬化形の樹脂である請求項１または２記載
のマイクロレンズアレイの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の方法により製造された片
面マイクロレンズアレイ。 - 【請求項５】 請求項２記載の方法により製造された両
面マイクロレンズアレイ。 - 【請求項６】 前記マイクロレンズアレイの各マイクロ
レンズの曲面は球面または非球面である請求項４または
５記載のマイクロレンズアレイ。 - 【請求項７】 透明基板の一面に樹脂のマイクロレンズ
アレイを形成する方法において使用する型装置であっ
て、塑性変形可能な金属材料母材を準備して一面を鏡面
に仕上げて表面を加工し、先端形状がマイクロレンズの
曲面に相当する面を有するポンチで押圧して前記表面を
変形させて、型要素を順次アレイ状態に形成し、前記型
要素以外の表面を粗面に加工し、前記型要素，前記粗面
に表面硬化処理をおこない、表面にマイクロレンズアレ
イに相当する型要素を形成して構成した一面に樹脂のマ
イクロレンズアレイを形成する方法において使用する型
装置。 - 【請求項８】 前記マイクロレンズアレイを形成する方
法において使用する型装置において、 前記ポンチは、
金属ポンチ素材を準備し、その先端をマイクロレンズの
曲面に対応する形状に加工し、前記ポンチの先端に高い
硬度の膜を形成して表面硬化処理をおこなって構成した
ものである、マイクロレンズアレイを形成する方法にお
いて使用する型装置。 - 【請求項９】 請求項８記載の装置において、前記先端
をマイクロレンズの曲面に対応する形状に加工する工程
は、ポンチ先端部を研磨機により研磨加工し、ついで無
電界メッキによりニッケルメッキをおこない、前記ニッ
ケルメッキ層の表面を鏡面に仕上げるものであるマイク
ロレンズアレイを形成する方法において使用する型装
置。 - 【請求項１０】 前記高硬度膜形成ステップは、イオン
プレーティング法により窒化膜または炭化膜を、例えば
窒化チタンまたは窒化チタンアルミニウム等をコーティ
ングするステップとである請求項７，８または９記載の
マイクロレンズアレイを形成する方法において使用する
型装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11115961A JP2000301550A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11115961A JP2000301550A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000301550A true JP2000301550A (ja) | 2000-10-31 |
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ID=14675429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11115961A Pending JP2000301550A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
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