KR940003107A - 다색 el소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다색 EL소자의 제조방법에 관한것으로, 특히 완충층을 절연층과 발광층사이에 형성하여 발광층의 결정성을 개선하도록 한 것으로서, 이러한 본 발명의 목적은 제1절연층(13)위에 pure, ZnS막을 전자빔 증착법 또는 저항가열법으로 약 500Å-1000Å두께로 기판온도 220℃에서 증착시켜 완충층(14)을 형성함으로써 달성되고 이에따라 발광층의 결정성이 향상되고 아울러 제2발광층과 제1절연층과의 부착력이 높아져 소자의 안정성을 도모한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 (가)-(라)는 본 발명 다색 EL소자의 제조공정도,
제4도는 본 발명 다색 EL소자의 단면도.
Claims (2)
- 기판상에 ITO막을 스퍼터링방법으로 소정두께로 적층하여 투명전극형성 이후 포토리소그래피 방법으로 ITO 패턴을 형성하고 그위에 SiON을 스퍼터링 방법으로 소정두께로 증착시키는 제1공정과, 그위에 pure, ZnS막을 증착시키는 제2공정과, 그위에 포토레지스트막을 로딩하고 ZnS : Tb를 증착시키고 리프트-오프한후 ZnS : Sm을 증착하여 발광층을 형성하는 제3공정과, 그위에 SiON을 증착시키고 알루미늄을 스퍼터링 방법으로 증착시킨후 포토리소그래피와 습식에층을 하여 투명전극과 수직이 되도록 배면전극을 형성하는 제4공정을 포함하여 된것을 특징으로한 다색 EL소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서. 상기 제2공정은 절연층위에 pure, ZnS막을 전자빔증착법 또는 저항 가열법으로 약 500Å-1000Å정도 두께로 기판온도 220℃에서 증착시키는 것을 특징으로한 다색 EL소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012016A KR940003107A (ko) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 다색 el소자의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012016A KR940003107A (ko) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 다색 el소자의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940003107A true KR940003107A (ko) | 1994-02-19 |
Family
ID=67147007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920012016A KR940003107A (ko) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 다색 el소자의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940003107A (ko) |
-
1992
- 1992-07-06 KR KR1019920012016A patent/KR940003107A/ko not_active Application Discontinuation
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