KR930700954A - 석판 인쇄 시스템의 마스크 로딩용 마스크 트레이 및 마스크 로딩방법 - Google Patents

석판 인쇄 시스템의 마스크 로딩용 마스크 트레이 및 마스크 로딩방법

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KR930700954A
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Abstract

내용 없음.

Description

석판 인쇄 시스템의 마스크 로딩용 마스크 트레이 및 마스크 로딩방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 X-선 석판 인쇄 시스템에 사용되는 이송기구 및 노출시스템의 부분단면 측면도,
제2도는 본 발명의 석판인쇄기 타입의 각종부품 상대위치 평면선도,

Claims (9)

  1. 설판 인쇄시스템(10)에 있어서, 웨이퍼형상의 장치(40)(132)를 받아 들여서 잡도록 크기와 형상이 되어 있는 플랫트홈(68)과, 그 끝이 상기판(68)내의 본래 위치와 상기 플랫트홈(68)위의 연장된 위치 사이에서 선택적으로 움직일 수 있는 최소한 3개의 기둥(114)(116)(118)과, 사이 그 끝에 상기 기둥(114)(116)(118)이 상기 연장되어 있는 위치에 있을 때 상기 기둥(114)(116)(118)을 감싸 쥘수 있기에 충분한 간격이 떨어져 있는 한쌍의 손가락(96)(98)이 있는 방사성으로, 원주 방향으로 또 수직 방향으로 움직일 수 있으며 밑으로부터 운반되어오는 웨이퍼 형상이 장치(40)(132)를 지지하고, 상기 웨이퍼 형상의 장치(40)(132)를 상기 연장된 기둥(114)(116)(118)위에 놓고, 상기 웨이퍼 형상의 장치(40)(132)를 상기 연장된 기둥(114)(116)(118)으로 부터 제거하는 팔(92)과; 그 위에 놓인 웨이퍼 형상의 장치(40)(132)를 상기 플랫트홈(68)이 잡을 수 있는 위치까지 내리고 그와 같은 웨이퍼 형상의 장치(41)(233)를 상기 팔(92)에 의해 제거될 수 있게 올리도록 움직일 수 있는 상기 기둥(114)(116)(118)으로 특정지워지는 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기둥(114)(116)(118)의 각각은 상기 연장된 위치에 있을 때 상기 웨이퍼 형상의 장치(40)(132)를 잡기 위한 진공수단(121)을 포함하는 것을 특징으로 하는 석판인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 기둥(114)(116)(118)은 피스턴 장치(126)(128)에 의해 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 석판 인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 피스턴 장치(126)(128)는 압축공기로 작동되는 장치인 것을 특징으로 하는 석판인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 피스턴 장치(126)(128)는 팽창하여 상기 기둥(114)(116)(118)을 상기 연장된 위치로 이동시키고 수축하여서 상기 기둥(114)(116)(118)을 상기 본래 위치로 이동시키는 풀무장치(128)를 포함하는 것을 특징으로 하는 석판인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 플랫트홈(68)은 상기 기둥(114)(116)(118)이 본래 위치에 있을 때 상기 웨이퍼 협상의 장치(40)(132)를 잡기 위한 다수의 진공부분(106)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 석판 인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기둥(114)(116)(118)은 상기 플랫트홈(68)의 중심 주위에 삼각형으로 위치한 것을 특징으로 하는 석판 인쇄 시스템에 있어서, 웨이퍼 형상의장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기둥(114)(116)(118)은 상기 플랫트홈(68)의 중심 주위에 위치한 것을 특징으로 하는 석판 인쇄 시스템에 있어서 웨이퍼 형상의 장치를 잡고 운반하기 위한 장치.
  9. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920702925A 1990-05-21 1991-05-20 석판 인쇄 시스템의 마스크 로딩용 마스크 트레이 및 마스크 로딩방법 KR970003775B1 (ko)

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