KR930018289A - 플레너 광 원소를 구비한 플레너 광 도파관 - Google Patents

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Abstract

플레너 광도파관이 기질(1), 도파관 코어레이어(2), 적어도 하나의 플레너 광원소로 구성되는데 상기플레너 광원소는 중공(4)과 올버클래드(5)에 경계를 이루는 적어도 하나의 광학적 작용을 하는 내면(3)으로 구성되어 있다. 상기 중공은 상기 도파관 코어레이어의 굴절지수와 비교했을때 중공의 굴절지수가 실질적으로 차이가 있기 때문에 플레너 광 원소의 광학적 특성을 증가시킨다.

Description

플레너 광 원소를 구비한 플레너 광 도파관
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 플레너 광 도파관의 단면도, 제2도는 본 발명에 따라 제조된 1×2 커플러의 단면도, 제3도는 본 발명에 따라 제조된 3×3커플러의 단면도, 제6(a)도와 제6(b)도 및 제(6c)도는 본 발명에 따라 제조된 1×4커플러의 단면도.

Claims (28)

  1. (a) 기질, (b) 플레너 구조를 형성하도록 상기 기질에 결합되는 적어도 하나의 광학적 전송코어 물질지역, (c) 적어도 하나의 플레너 광원소가 광학적 전송코어 지역에서 광학적으로 작용하는 적어도 하나의 내면으로 구성되고, 상기 광학적으로 작용하는 적어도 하나의 내면이 중공에 경계를 이루며, 상기 중공이 굴절지수가 실질적으로 상기 광학적으로 작용하는 적어도 하나의 광학적 전송코어 지역의 굴절지수와 다르도록 비워져 있거나 또는 공기로 채워져 있으며, 상기 광학적 전송코어 지역에서 형성되는 적어도 하나의 플레너 광원소 및, (d) 상기 적어도 하나의 플레너 광원소와 상기 적어도 하나의 광학적 전송코어 물질지역에 걸쳐 사용되는 오버클래드 물질지역으로 구성됨을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 플레너 광원소가 렌즈임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  3. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 플레너 광원소가 마이크로 프리즘임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  4. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 플레너 광원소가 회절격자임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  5. 제1항에 있어서, 상기 플레너 광도파관이 M과 N이 정수인 M×N커플러로서 작용함을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  6. 제1항에 있어서, 상기의 광학적 전송코어 물질이 실리콘 또는 도프된 실리콘 글래스를 포함함을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  7. 제1항에 있어서, 상기 적어도 한 지역의 광학적 전송코어물질의 굴절지수와 상기 적어도 하나의 플레너 광원소의 굴절지수 사이의 차이가 약 0.04 이상임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  8. 제7항에 있어서, 상기 적어도 한 지역의 광학적 전송코어 물질의 굴절지수와 상기 적어도 하나의 플레너 광원소의 굴절지수 사이의 차이가 약 0.04 내지 2.0의 범위임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  9. (a)기질 (b)플레너 구조를 형성하도록 상기 기질에 결합되는 적어도 하나의 광학적 전송코어물질 지역 및, (c) 플레너 광원소가 실질적으로 상기 광학적 전송코어물질 지역의 굴절지수와 차이가 있는 굴절지수에 의해 특성화되는 상기 광학적 전송코어물질 지역에서 형성되는 적어도 하나의 상기 플레너 광원소로 구성됨을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  10. 제9항에 있어서, 상기 플레너 광원소가 상기 광학적 전송코어물질 지역에서 적어도 하나의 광학적으로 작용하는 내면을 구성하는데 상기 적어도 하나의 광학적으로 작용하는 내면은 중공의 굴절 지수가 약 1.0이 되도록 상기 중공에 경계를 이루고, 상기 중공은 공기를 포함하거나 비워있으며, 상기 적어도 하나의 광학적 전송코어물질 지역의 굴절지수가 1.5와 같거나 그 이상임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  11. 제9항에 있어서, 상기 중공이 상기 플레너 광원소의 굴절지수가 실질적으로 약 1.5이상이되고, 상기 적어도 하나의 광학적 전송코어물질 지역이 굴절지수가 실질적으로 1.5이하가 되도록 실리콘 질화물, 실리콘 산화질화물 또는 비결정질의 실리콘과 같은 다른 높은 굴절지수물질 또는 도프된 실리콘 글래스를 포함함을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  12. 제9항에 있어서, 상기 플레너 광도파관이 M과 N이 정수인 M×N커플러로서 작용함을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  13. 제9항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광학적 전송코어물질 지역의 굴절지수와 상기 적어도 하나의 플레너 광원소의 굴절지수 사이의 차이가 0.04 이상임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  14. 제13항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광학적 전송코어물질 지역의 굴절지수와 상기 적어도 하나의 플레너 광원소의 굴절지수 사이의 차이가 약 0.04 내지 2.0의 범위에 있음을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  15. 제9항에 있어서, 상기 광학적 전송코어물질의 지역이 실리콘 도프된 실리콘 물질로 구성됨을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  16. 제9항에 있어서, 상기 플레너 광원소가 렌즈임을 특징으로 하는 플레너 광도파관.
  17. (a)첫번째 굴절지수와 다른 두번째 굴절지수를 가지는 적어도 하나의 광학적 전송물질 지역의 첫번째 굴절지수를 가져 기질을 결합시킴에 의하여 플레너 구조를 형성시키는 단계; (b)미리 선택된 광전도 소자와 적어도 하나의 중공을 제조하도록 석판기술을 사용하여 상기 적어도 한 부분의 플레너 구조로부터 물질을 제거시키는 단계; 및 (c)추가물질 지역이 물질을 제거시킨 적어도 한 지역에서 상기 플레너 구조와 결합되며 상기 추가물질 지역이 상기 적어도 하나의 중공을 채워지지 않게 시키는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 플레너 광도파관을 제조하기위한 공정.
  18. 제17항에 있어서, 상기 플레너 구조가 열처리되고 상기 제거단계 이전에 늘여짐을 특징으로 하는 공정.
  19. 제17항에 있어서, 상기 추가물질 지역은 화학증기 증착기술이 사용됨을 특징으로 하는 공정.
  20. 제17항에 있어서, 상기 추가물질 지역은 테이프 성형기술이 사용됨을 특징으로 하는 공정.
  21. 제17항에 있어서, 상기 부가물질의 지역이 상기 플레너 구조에 융합되는 온도가 상기 적어도 하나의 광학적 전송물질지역이 상기 기술에 융합되는 온도보다 낮음을 특징으로 하는 공정.
  22. 제17항에 있어서, 상기 추가물질지역의 조성물이 불투명하지 않은 광물질로 구성됨을 특징으로 하는 공정.
  23. 제17항에 있어서, 상기 추가물질지역이 저온도사용과 플라즈마 확장 화학증기 증착기술기 사용됨을 특징으로 하는 공정.
  24. 제23항에 있어서, 중합물질의 레이어가 상기 추가물질지역에 사용되기 전에 상기 적어도 하나의 중공에 사용되는데 상기 중합물질의 레이어가 상기 중공을 채우지 않음을 특징으로 하는 공정.
  25. 제17항에 있어서, 상기 중공이 비결정질의 실리콘, 실리콘 질화물 또는 실리콘 산화질화물과 같은 상대적으로 높은 굴절지수에 의해 특성화되는 물질로 채워짐을 특징으로 하는 공정.
  26. 제17항에 있어서, 상기 중공의 크기가 상기 추가물질지역으로 상기 중공이 채워짐을 방지하도록 조정됨을 특징으로 하는 공정.
  27. 제26항에 있어서, 상기 중공이 상기 결합단계시 상기 추가물질 지역에 의해 상기 중공이 채워짐을 방지하도록 상기 적어도 하나의 광학적 전송물질지역보다 깊게 에칭됨을 특징으로 하는 공정.
  28. 제17항에 있어서, 상기 광학적 전송물질지역이 실리콘 또는 도프된 실리콘물질로 구성됨을 특징으로 하는 공정.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930002617A 1992-02-24 1993-02-24 플레너 광 원소를 구비한 플레너 광 도파관 KR930018289A (ko)

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