KR930018052A - 차폐전극을 갖는 금속피복장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 아크방전의 효율적인 구속 및 제어로서 균일 피막과 불순물 발생의 억제 및 음극지지체 보호에 적합한 금속피복 장치에 관한 것으로, 진공 챔버에 설치한 양극 통체내에 타겟을 지지하는 음극 지지체와 자장 발생부를 설치하고 타겟 상방에는 기판을 배치하도록 된 것에 있어서, 통체(12)와 음극지지체(2)사이에 절연체(13)를 구비하고 타겟(3)과 통체(12)사이에 차폐전극(16)를 구성하여 전압 전원(A)의 -극은 타겟에, +극은 통체(12)에 연결하고 차폐전극 전원(B)의 -극은 진공챔버(1)에, +극은 차폐전극(16)에 연결하여서 된 금속 피복 장치에 관한 것이다.

Description

차폐전극을 갖는 금속피복장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 음극 차폐판을 구비한 종래의 아크방전식 금속피복 장치의 단면도, 제2도는 방전구속링을 구비한 종래의 금속피복 장치의 단면도, 제3도는 본 발명의 차폐 전극을 구비한 금속피복 장치의 단면도.

Claims (3)

1. 진공챔버(1)내에 설치한 통체(12)에 타겟(3)을 지지하는 음극 지지체(2)와 자장발생부(14)를 설치하고 타겟(3)상방에는 기판(8)을 설치하도록 된 스피터링 장치에 있어서, 통체(12)와 음극지지체(2)사이에 절연체(13)을 구비하고 타겟(3)과 통체(12)사이에 차폐전극(16)을 구성하여 전압 전원(A)의 -극은 타겟(3)에 +극은 통체(12)에 연결하고, 차폐전극(B)의 -극은 진공챔버(1)에, +극은 차폐전극(16)에 연결하여서 됨을 특징으로 하는 차폐전극을 갖는 금속피복 장치.
2. 제1항에 있어서, 음극지지체(2)하방에 영구자석(17)이 내장된 함체(18)를 축(19)과 결합된 직선베어링(20)에 고정하여 함체(18)를 좌, 우 이동할 수 있도록 하여서 됨을 특징으로 하는 차폐전극을 갖는 금속피복장치.
3. 제2항에 있어서, 영구자석(17)의 사이에 자장 코일(23)을 배치하여서 됨을 특징으로 하는 차폐전극을 갖는 금속피복 장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.