KR930000300B1 - 구조물의 변위 혹은 변형보정방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

구조물의 변위 혹은 변형보정방법 및 그 장치
제1도는 본 발명의 일실시예에 관한 변위 혹은 변형보정장치를 나타낸 블럭도.
제2도는 제1도에서 나타낸 조건데이터 입력부에 조건데이터를 입력할때까지의 플로어챠트.
제3도는 보정제어장치내의 연산 과정을 나타내는 플로어챠트.
제4도는 본 발명의 일실시예인 보정장치를 조립한 수직선반의 개략도.
제5도는 본 발명의 일실시예인 보정장치를 조립한 수평보링머신의 개략도.
본 발명은 공작기계에 관한 것으로 특히 공작기계의 구조물에 이동가능하게 배치된 이동체가 이동하기 때문에 발생하는 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
대형의 공작기계 구조물은 구조물 자체의 길이가 길고, 그 중량은 대단히 무겁다. 따라서 구조물의 자중 및 구조물에 이동가능하게 배치된 이동체가 이동하므로서 구조물이 변위 혹은 변형하고, 그 결과 피가공물의 가공점에 오차가 생겨 피가공물의 공작정도가 나쁘게 되는 문제가 있다.
이 문제를 해결하기 위하여 구조물의 미끄럼면에 미리 구조물의 변위 혹은 변형특성과 반대의 보정특성을 부여하는 보정방법이 알려져 있다. 그러나 이 보정 방법에서는 반대의 보정특성을 형성하기 위한 가공에 고도한 기술이 요구되었다. 또 온도변화에 의하여 보정특성에 오차가 생기기도 하고 예정된 보정특성을 넘는 보정이 필요하게도 되는등, 충분한 보정이 이루어질 수 없는 문제가 있다.
일본국 특개소 49-56274호에 개시되어 있는 보정방법에서는 공작기계의 보조비임과 횡목 사이에 유압실린더가 배치되어 횡목사이에 배치된 공구대가 이동된때에 발생하는 횡목의 변위 혹은 변형을 공구대의 위치에 관련시켜 이 공구대의 위치를 검출하기 위한 위치검출기에서 발생된 신호에 의하여 유압실린더의 압력이 조정되어 횡목의 변위 혹은 변형이 보정된다. 이 방법에서는 위치검출기에서의 신호에 의하여 감압밸브가 구동되어 유압실린더의 압력이 조정되기 때문에 직선적인 변위 혹은 변형의 보정밖에 할 수 없었다. 또 온도 변환에 의하여 변위 혹은 변형의 정도가 예정된 보정의 범위를 넘은 경우에도 충분한 보정이 되지 않는다.
일본국 특개소 56-33243호에 개시되어 있는 보정방법에서는 공작기계의 구조물의 좌우에 유압실린더가 배치되고 구조물에 횡목등으로 배치된 공구대가 이동된 때에 생기는 횡목의 변위 혹은 변형에 대하여 소정의 보정을 하기위한 유압실린더의 압력을 조정하는 캠플레이트가 부여되고 이 캠플레이트에 의하여 좌우의 유압실린더의 압력이 조정되어 공구대의 위치에 의한 구조물의 변위 혹은 변형이 보정된다. 이 방법에서는 캠플레이트가 이용되기 때문에 보정특성이 일정하게 된다. 이 때문에 온도변화에 의하여 변위 혹은 변형의 정도와 미리 예정된 보정의 범위에 차이가 생길경우에는 보정이 될 수 없다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 이동체를 지지하는 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형 보정방법 및 그 장치를 제공함에 있다.
본 발명에 의하면, 공작기계의 자중 혹은 구조물이 지지하는 이동체의 이동에 의하여 발생하는 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하기 위한, 이동체의 이동위치에 관련한 구조물의 변위 혹은 변형을 나타내는 조건데이터가 기억되고 이동체의 이동위치에 의하여 발생되는 위치신호가 검출되고 상기 각각의 위치에 대응한 조건데이터가 상기 위치신호에서 독출되어 조건데이터가 처리되어 보정신호가 발생되어 상기 보정신호에 의하여 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법이 제공된다.
또 공작기계 구조물의 자중 혹은 구조물이 지지하는 이동체의 이동에 의하여 생기는 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치로서, 이동체의 이동위치에 관련한 구조물의 변위 혹은 변형을 나타내는 조건데이터를 기억하는 수단과 이동체의 이동위치에 의하여 발생되는 위치신호를 검출하는 수단과, 상기 각각의 위치에 대응한 조건데이터를 상기 위치신호에서 독출하는 수단과, 상기 조건데이터를 처리하고 보정 신호를 발생하는 수단과, 상기 보정신호에 의하여 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 수단을 구비한 공작기계 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치가 제공된다.
본 발명 방법 및 장치에 의하면 이동체를 지지하는 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하기 위하여 기억된 조건데이터는 간단하게 변경할 수 있다.
이와같이 여러조건의 경우에 있어서, 예를들면 환경조건이 크게 변화한 경우나 각 장치부품등의 중량이 크게 변화한 경우의 구조물의 변위 혹은 변형의 보정이 가능하다. 더구나, 위치검출된 두개의 위치사이의 중간위치에 대응한 보간(補間)보정신호는 보정신호를 계산하는 것에 의하여 보정할 수 있다. 또 변위 혹은 변형에 대응하는 보정신호의 최소단위마다 원활하게 보정할 수 있다. 또 피가공물의 가공정도가 향상된다.
이하에서 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
제1도는 본 발명의 일실시예에 관한 변위 혹은 변형 보정장치를 나타내는 블럭도이다. 이 제1도에 도시한 장치는, 보정신호를 발생시키는 보정제어장치 5, 공작기계의 변위에 의하여 발생하는 변위 혹은 변형을 검출하기 위한, 예를들면 전자마이크로미터등의 변위 혹은 변형검출기 51, 이동체, 예를들면 공구대에 의하여 발생되는 위치신호를 검지하기위한 위치검출기 54, 이동체의 이동을 제어하기 위한 NC 제어장치 56, 보정제어장치 56이 제공하는 보정신호에 부응하여 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 보정장치 6 및 보정신호에 의한 보정장치의 동작을 감시하는 감시장치 7을 구비하고 있다.
보정제어장치 5는 또 조건데이터 입력부 52, 예를들면 변위 혹은 변형검출기 51에 의하여 얻어진 데이터가 입력되는 키보드, 또는 검지기 51에서의 변위신호를 디지털신호 혹은 데이터로 변환하기 위한 A/D 컨버터, 입력부 52에 입력된 디지털신호 혹은 데이터를 기억하는 메모리부 53 및 보정데이터를 연산하기 위하여 메모리부 53에서 조건데이터를 독입연산부 55를 구비하고 있다. 조건데이터 혹은 디지털신호는, 공작기계의 이동체의 이동 혹은 위치에 관계하고 환경변화에 의하여 또는 이동체가 이동하는 것에 의하여 변위 혹은 변형하는 공작기계의 구조물을 보정한다.
이 장치에서는, 조건데이터가 이동체의 위치에 대응하여 위치가 틀려있는 메모리부 53내의 메모리위치에, 조건데이터 입력부 52에서 입력된다. 메모리부 53은 조건데이터를 기억한다. 연산부 55에는 조건데이터가 위치검출기 54에 의하여 발생된 위치신호 74에 대응한 메모리부 53내의 메모리위치에서 독입되고 위치데이터가 이동체를 이동시키기 위한 이동장치(도시없음)를 구동하기 위한 제어신호와 NC 제어장치에서의 신호에 동기되어 위치검출기 54에서 입력된다. 연산부 55는 이들의 데이터에 의거하여 직전에 통과한 위치 검출된 위치와 다음의 위치검출된 위치와의 사이의 거리를 계산하고 그 거리를 분할하고 보정신호 75를 출력한다.
조건데이터 입력부 52에서는 바른눈금을 가지는 공작기계의 구조물 또는 정반에 고정되어 있는 이동체에 배치된 전자마이크로미터등의 변위 혹은 변형검출기 51에 의하여 이동체의 위치에 의한 구조물의 변위 혹은 변형이 측정되고 그 측정결과에 의거한 각 위치 검출된 위치와 그 위치에 있어서의 조건데이터가 조건데이터 입력부 52에 입력된다(71).
상술의 조건데이터 입력부에 입력되는 조건데이터는 필요에 부응하여 변경가능하게 되어 환경조건이 크게 변화한 경우나 부품등의 중량이 크게 변화한 경우등의 구조물의 변위 혹은 변형에 대한 보정에 변경이 필요로된 경우에는 변경된다.
메모리부 53을 조건데이터 입력부 52에서의 조건데이터를 기억함과 동시에 연산부 55에서의 지령 73에 의하여 그 메모리위치에 대응한 조건데이터를 연산부 55에 출력한다. 상기 메모리부 53의 용량은 상기 조건데이터가 필요에 부응하여 변경가능하기 때문에 필요최소한 이어서 좋고 단가면에서도 유리하다.
연산부 55에서는, 위치검출기 54에서의 위치신호 74가 검출되고 그 이동체의 위치(보정위치)에 대한 조건데이터가 연산되어 보정장치 6을 구성하는 비례전자식 제어밸브 2에 보정신호 75가 부여된다.
상기 연산부 55에서는 공작기계의 NC 제어장치 56에서의 이동체의 이동지령 76을 기초로하여 이동체의 이동방향이 판별되고 위치검출된 위치와 다음의 위치검출된 위치와의 사이의 거리 및 보정신호의 차이가 계산된다. 또 이 연산부 55에서는 최초로 위치 검출된 위치에서 현재 위치까지의 거리가 이동체의 이동속도를 기초로하여 계산된다. 상기 위치 검출된 위치(직전에 통과한 보정위치)와 다음의 위치 검출된 위치(다음에 통과하는 보정위치)와의 사이의 거리와 상기 위치검출된 위치와 현재 위치와의 거리의 비에서 상기 보정신호의 차가 연산부로 비례 계산된다. 그 계산결과가 보정신호의 최소단위를 넘었을 때에는 보간 보정신호로서 출력되고, 상기 위치검출된 위치에서의 보정신호에 보간 보정신호를 가산한다. 즉 보정신호의 계산은,
δ: ℓ(X2-X1)/(L2-L1)
δ: 보간 보정신호
L1: 위치검출된 위치
L2: 다음의 위치검출된 위치
X1: 위치검출된 위치의 조건데이터
X2: 다음의 위치검출된 위치의 조건데이터
ℓ: 위치검출된 위치에서 현재위치까지의 거리로 주게된다.
따라서, 보정제어장치에서 출력되는 보정신호는,
X=X1
X : 보정제어장치의 보정신호로 된다.
당연한 것으로, 조건데이터를 결정하는 위치검출기 74에 의하여 위치검출된 위치는, 이동체의 이동에 동기하여 등간격으로 준비되어도, 이동체의 이동에 합쳐서 위치검출된 위치의 간격이 감소 또는 증가하도록 부여해도 된다. 예를들면, 이동체가 구조물의 선단부에 이동하면 변위량이 증대하는 것을 고려하여 이동거리가 증대함에 따라서 간격이 줄어지도록 분할해도 무방하다. 상술한 연산부 55의 계산결과가 보정신호 75로서 보정제어장치 5에서 보정장치 6에 주게되고 보정장치의 비례전자식 제어변 2은 제어된다. 따라서 유압실린더에 공급되는 압력이 조정되고 구조물의 변위 혹은 변형이 보정된다. 이때, 상기 압력이 바르게 조정되었는지 아닌지가 감시장치 7로 첵크되어 보정제어장치 5에 되돌아온다.
제2도는 보정제어장치 5에 위치검출된 위치 및 조건데이터를 입력시킬때 까지의 준비단계를 표시한 플로어챠트이다. 즉, 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형은 이동체의 조건에 따라 측정되고 그 측정결과에 따른 조건데이터가 결정되고, 보정제어장치 5에 입력되어 메모리부 53에 기억된다.
제3도는 메모리부 53에 기억되어 있는 상기 조건데이터가 호출되어서 연산처리부를 실행하여 보정신호를 출력될때 까지를 표시한 플로어챠트이다. 이하 각 단계마다의 동작을 설명한다.
전원이 투입되어 NC 제어장치 56의 지령 76에 의하여 이동체가 이동을 개시함과 동시에, STP1에 의하여 보정제어장치 5의 메모리부 53에 기억되어 있는 조건데이터의 위치검출된 위치가 위치검출기 54로 검출된다. 연산부 55의 내용이 모두 클리어된다(STP2). 메모리부 53에서 위치검출된 위치에 대응한 조건데이터가 연산부 55에 호출된다(STP3). 호출된 조건데이터와 보간 보정신호등이 가산된다(STP4). 연산결과가 보정제어장치에서 보정장치에 출력된다(STP5). 이때 최초에 위치검출된 위치가 검출된 시점에서는 보간 보정신호는 0이고, 메모리부 53에 기억되어 있는 조건데이터가 그대로 보정신호로서 출력된다. STP6에서 NC 제어장치 56에서의 지령 76이 연산부 55에 독입된다. 이동체의 보냄방향이 판명되고, 위치검출된 위치의 다음의 위치검출된 위치의 데이터가 연산부 55에 독입한다(STP7). STP3, STP6, STP7로 독입된 데이터에 의거한 보간 보정신호의 계산이 실행된다(STP8).
즉 STP7에서 독입된 다음의 위치검출된 위치의 보정신호와 위치검출된 위치의 조건데이터의 차(X2-X1)가 계산되고, 다음에 STP6으로 독입된 NC 제어장치 56에서의 NC 지령 76의 보냄속도와 클럭신호등으로 위치검출된 위치에서 현 이동체의 거리(ℓ)를 계산하며, STP3 및 STP7로 독입된 위치검출된 위치의 차, 즉 위치검출된 위치간거리(L2-L1)와 상기 위치검출된 위치검출된 위치에서 현 이동체까지의 거리(ℓ)의 비에 의하여 상기 조건데이터의 차가 비례분배된다. STP8의 결과가 상기 보간 보정신호의 최소단위를 넘은 경우에는 그 보간 보정신호(δ)가 STP4의 연산부 55에 보내진다. 이때, STP8의 결과가 보간 보정신호(δ)의 최소단위를 넘지않은 경우에는, 최소단위를 넘을때까지 이동을 실행하고, 최소단위를 넘은 시점에서의 보간 보정신호(δ)를 STP4의 연산부 55에 보내진다(STP9).
그 결과 보간 보정신호(δ)와 STP3에 호출된 조건데이터등이 가산되고, 보정제어장치 5의 보정신호(X)가 보정장치 6에 출력(가)된다. 이하 본 발명을 대형 입 선반에 실시한 예에 대하여 도면에 따라 설명한다.
제4도는 본 발명의 변위 혹은 변형 보정장치를 조립한 수직선반의 개요도이다. 테이블 베드 11는 그 위에 피가공물을 탑재한 회전임의로은 테이블 12을 구비하고 있으며, 베드 13위에는 테이블 12의 중심을 향하여 컬럼 15를 이동시킬 베이스 14가 미끄럼자재로 지지되어 있다. 그 베이스 14위에는 컬럼 15가 볼트로 고정되어 있다. 컬럼 15는 도시없는 구동원에 의하여 나사를 통하여 컬럼의 상하방향으로 이동가능하게 배치되어 있다. 컬럼 15 측면에 형성된 미끄럼면에는 횡목 16이 그 미끄럼면에 접하도록 배치되어 있다. 횡계단 16에는, 공구대 17이 배치되어 있다. 그 공구대 17은 모터 22의 구동으로 볼나사 21를 통하여 수평방향으로 이동가능하게 배치되어 있다. 나사 21의 축단부에는 공구대 17의 위치를 검출하는 로터리엔코더 23가 형성되어 있다. 공구대 17에는 수직방향으로 이동가능한 공구봉 18이 배치되며, 그 공구봉 선단에는 테이블 12 위에 탑재된 피가공물을 절삭 가공할 공구가 형성되어 있다. 인물봉 18은, 도시없는 볼나사에 의하여 공구대 17를 미끄럼동작한다. 보조비임 19은 컬럼상부에 볼트로 고정되어 있다. 보조비임의 선단부에는 유압실린더 33의 로드가 핀 34으로 요동자재토록 부착되어 있으며, 횡목 16의 선단부근에는, 핀 35에 의하여 유압실린더 33의 헤드측도 또 부착되어 있다. 유압실린더 33는 횡목 16의 상하 행정에 대응한 행정을 갖고 있다.
유압실린더 31는 컬럼 15위에 부착된 보조비임 19과 베이스 14와의 사이에 연결봉 32을 통하여 접속되어 있다. 유압실린더 33와 유압실린더 31의 쌍방은, 횡목의 구부러짐과 휨에 협동하여 수압면적을 바꾸는 것으로 동일 압력으로 보정가능하게 구성되어 있다. 유압원 1에서의 압유는, 비례전자식 제어밸브 2을 통하여 유압실린더 33 및 31에 공급된다.
테이블 12위에는 눈금판(도시없음)이 소정위치에 배치되어 있다. 공구봉 선단에 부착된 전자마이크로미터는 상기 눈금판에 접촉되면서 공구대 17을 이동하여 횡목 16의 변위 혹은 변형이 측정된다. 그 측정결과에 따른 조건데이터가 교정제어장치 5에 입력되어서 기억된다. 공구대 17은 NC 제어장치 56에서 지령을 받아서 이동을 개시한다. 위치검출기에서는 보정점이 검출되고 그 점에서의 조건데이터가 독취된다. 이 조건데이터는, 보정제어장치 5 내부의 보정신호 연산부에서 연산처리를 한 결과가 보정장치를 향하여 출력한다. 따라서, 보정장치의 비례전자식 제어밸브 2의 제어가 실행되고 유압실린더 31 및 33에 공급될 압력이 조정된다. 이때 압력이 바르게 조정되었는지, 아닌지를 감시장치(압력센서)에 의하여 확인됨과 동시에, 그 결과가 보정제어장치의 보정신호연산부에 돌아온다. 유압실린더 31 및 33에 유압이 부하하면 그 압력에 따른 힘이 발생하여 횡목 16의 굽힘 및 컬럼 15의 휨이 보정된다.
제5도는 본 발명을 수평보링머신에서 응용한 경우의 변위 혹은 변형의 보정을 실시하기 위한 개요도이다. 제4도와 동일부분은 동일부호를 붙혀 표시한다. 수평보링머신에 있어서는 램 45의 선단에 앵글 헤드등의 여러가지 종류의 부착물을 부착할때의 부착중량의 차이 혹은 램 45 자신의 조출에 의하여 변위 혹은 변형이 발생한다. 베드 41 위에는, 컬럼 베이스 42가 미끄럼자재로 배치되어 있다. 컬럼 43이 볼트에 의하여 상기 컬럼 베이스 42에 고정되어 있다. 컬럼측면에는 미끄럼면이 형성되어 있음과 동시에 주축머리 44가 상하방향으로 이동가능하게 배치되어 있다. 주축머리 44 내부에는 회전가능한 주축 48을 장착한 램 45이 주축선 방향으로 이동가능하게 배치되어 있다. 주축머리 44 후부에는 램 45을 보내기 위한 모터 46이 부착되며, 기어열을 통하여 램 45의 위치를 검출할 로터리엔코더 23가 부착되어 있다. 컬럼 43 내부에는 컬럼상부에 형성된 풀리를 통하여 2개의 와이어로 49가 수용되어 있다. 2개의 와이어중 주축머리 44 앞측의 와이어는 유압실린더 61를 통하여 연결되어 있다. 정반위의 소정위치에 고정되어 있는 눈금판에, 램 45 선단에 부착한 전자마이크로미터를 접촉하면서 램 45을 조출(繰出)하는 것으로 램 45의 변위 혹은 변형이 측정된다. 그 측정결과에 따른 조건데이터가 보정제어장치 5에 입력된다. 이어서 NC 제어장치 6로부터의 지령에 따라 램 45은 조출됨과 동시에, 보정점은 로터리엔코더 23에 의하여 검지되어서 보정제어장치 5로 연산처리를 한다. 이 결과에 따른 보정신호는 보정장치에 대하여 출력된다.
즉 보정신호 제어장치 5에 의하여 출력된 보정신호에 의하여 보정장치의 비례전자식 제어밸브 2가 제어됨과 동시에, 유압실린더 61의 압력이 변화하여 주축머리 44의 변위 혹은 변형이 보정된다.

Claims (9)

  1. 공작기계의 구조물의 자중 혹은 구조물을 지지하는 이동체의 이동에 따라 발생하는 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법으로서, 이동체의 이동위치에 관련한 구조물의 변위 혹은 변형을 나타내는 조건데이터가 기억되고, 이동체의 이동위치에 의하여 발생되는 위치신호를 검출하며, 상기 각 위치에 대응한 조건데이터가 상기 위치신호로 독출되어서 조건데이터가 처리되어 보정신호를 발생하며, 상기 보정신호에 따라서 구조물의 변위 혹은 변형이 보정되는 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법.
  2. 상기 보정방법은, 이동체의 위치에 관련하여 공작기계의 변위 혹은 변형을 측정하여 조건데이터를 얻는것을 특징으로 하는 제1항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법.
  3. 상기 독출은, 이동체가 근접한 제1의 위치와 제2의 위치에 대응한 제1조건데이터와 제2의 조건데이터를 독출하며, 제1의 위치와 중간위치의 사이의 거리에서 제1의 위치와 제2의 위치의 사이의 중간위치 및 제1의 위치와 제2의 위치 사이의 거리의 차와 제1조건데이터와 제2의 조건데이터의 차에 의하여 보간 데이터를 계산하여 보간 데이터에 의하여 제1데이터가 보정됨을 특징으로 하는 제1항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법.
  4. 상기 독출은, 위치신호의 주기적인 독출에 의함을 특징으로 하는 제1항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 방법.
  5. 공작기계 구조물의 자중 혹은 구조물이 지지하는 이동체의 이동에 따라 발생하는 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치에 있어서, 이동체의 이동위치에 관련한 구조물의 변위 혹은 변형을 나타내는 조건데이터를 기억하는 수단과, 이동체의 이동위치에 따라서 발생하는 위치수단을 검출하는 수단과 상기 각 위치에 대응한 조건데이터를 상기 위치신호로 독출하는 수단과, 상기 조건데이터를 처리하고 보정신호를 발생하는 수단과, 상기 보정수단에 따라서 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 수단으로 된 공작기계의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치.
  6. 상기 보정수단은, 이동체의 위치에 관련하여 공작기계의 변위 혹은 변형을 측정한 조건데이터를 얻는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 제5항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치.
  7. 상기 독출수단은 이동체가 근접한 제1의 위치와 제2의 위치에 대응한 제1의 조건데이터와 제2의 조건데이터를 독출하는 수단과, 제1의 위치와 중간위치의 사이의 거리에서 제1의 위치와 제2의 위치의 사이의 중간위치 및 제1의 위치와 제2의 위치 사이의 거리의 차와 제1의 조건데이터와 제2의 조건데이터의 차에 의하여 보간 데이터를 계산하는 수단과, 보간 데이터에 의하여 제1의 데이터를 보정하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 제5항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치.
  8. 상기 독출수단은, 위치신호를 주기적으로 독출하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 제5항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치.
  9. 상기 보정수단은, 비례전자식 제어밸브와, 구조물에 대하여 힘을 발생하는 유압실린더로써, 비례전자식 제어밸브는 보정신호를 기본으로 조정되며, 유압실린더의 압력은 비례전자식 제어밸브에 의하여 조정됨을 특징으로 하는 제5항 기재의 구조물의 변위 혹은 변형을 보정하는 장치.
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