KR920704092A - 물체의 광 측정을 위한 방법 및 장치 - Google Patents

물체의 광 측정을 위한 방법 및 장치

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알베르트 닐
베르너 슈벤츠파이어
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Abstract

내용 없음.

Description

물체의 광 측정을 위한 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 측정방법의 원리도를 나타낸다.

Claims (13)

  1. 측정하려는 대상 및 적어도 2개의 광원, 바람직하게는 레이저 광원의 측정대상에 적어도 하나의 광 빔이 투사되고, 광원의 수에 일치하는 수의 광 빔이 비디오 카메라 바람직하게는 CCD-반도체 카메라에 의해 기록되고, 컴퓨터를 포함하는 평가 유니트의 카메라 신호가 이미지 평가를 위해 그리고 물체의 크기 계산을 위해 및 측정에 대한 기본 데이타 및 파라메타의 검출을 위해 제공되며, 모든 광원 및 모든 광 빔에 하나의 카메라가 할당되고, 물체. 예를들면 공작물의 형상, 특히 단면 형상을 광전 측정하기 위해 및 광전 측정의 게이징 하기 위한 방법에 있어서, 이 일정한 광 빔 및 이 일정한 광원의 광만이 모든 카메라에 제공되고, 평가 유니트 및 컴퓨터에서 개별 카메라의 신호들이 광 빔의 위치 및 형상과 관련하여 각각의 다른 카메라의 신호들에 의해 따로 평가되는 것을 특징으로 하는 물체의 광전 측정을 위한 방법.
  2. 제1항에 있어서, 개별 카메라의 신호의 별도의 평가 및 개별 빔의 화소의 계산 후 화면 데이타 및 화소의 결합 및 물체의 크기의 계산이 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1 또는 2항에 있어서, 개개의 모든 광원으로 부터 발사된 그리고 물체에 의해 반사된 빔광의 할당 및 기록을 위해 일정한 카메라에 또는 내에 개개 광원으로부터 광 빔이 서로 다른 파장의 및/또는 서로 다른 광으로 발생되고 각각의 광 빔에 할당된 카메라는 광원으로부터 발사된 광의 파장 및 편광에 민감하게 맞춰지는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 광원 및 카메라가 동시에 물체의 조사를 위해 그리고 빔광의 기록을 위해 스위치 온 되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1 내지 4항중 어느 한 항에 있어서, 이 광원들중 서로 다른 광원의 빔이 시간적으로 중첩되지 않으면서 연속적으로 물체에서 모사되고, 개개의 카메라가 바로 모사된 빔에 할당된 것과 일치하게 빔의 모사동안 기록을 위해 자유롭게 제공되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1 내지 5항중 어느 한 항에 있어서, 물체가 간섭 및 모사에러의 스위치 오프를 위해 적어도 조사와 주사 시간동안 진동되고 물체를 조사하는 광의 반과장보다 크게 선택되는 진폭, 및 측정시간 및 측정시간 적분 간격 및 카메라의 전자적 폐쇄시간, 바람직하게는 약 10 내지 30msec의 시간, 특히 약 20msec의 시간에 상응하며 이를 초과하는 진폭 지속시간을 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제l 내지 6항중 어느 한 항에 있어서, 간섭 및 모사에러의 스위치 오프를 위해 물체는 선형 움직임에 종속되고, 측정시간 및 측정시간 적분간격 및 카메라의 전자적 폐쇄시간 바람직하게는 10 내지 30msec의 시간, 특히 약 20msec의 시간에 상응하는 시간에 경로가 광원의 광의 반파장보다 크게 뒤에 놓이는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 측정하려는 물체에 또는 게이징 물체에 적어도 2개의 광원, 바람직하게는 레이저 광원, 적어도 하나의 광 빔이 투영되고(광 구간방법), 광원의 수에 상응하는 수의 광빔이 비디오 카메라, 바람직하게는 CCD-반도체 카메라에 의해 기록되고, 이 카메라가 화면 평가를 위해 및 물체의 크기의 계산을 위해 및 게이징을 위한 기본 데이타 및 기본 파라메터의 검출을 위해 컴퓨터를 포함하는 평가장치에 접속되어 있고, 형상, 특히 물체의 단면형상 예를 들면, 공작물의 광전측정을 위한 및 광전측정 장치의 게이징을 위한 장치에 있어서, 모든 광원(5)에 및 광원에 의해 발생된 모든 광빔에 이 광원(5)의 광에만 맞는 및 이 광원(5)의 광만을 받아들이는 고유의 기록 카메라(7)가 할당되어 있는 것을 특징으로 하는 제1 내지 8항중 어느 한 항에 따른 방법을 실시하기 위한 물체의 광천 측정을 위한 장치.
  9. 제8항에 있어서, 개개의 광원(5)이 개개의 광빔(6)의 형성을 위해 서로 비교하여 다른 파장 및/또는 편광을 가진 광빔을 방출하거나 또는 물체(4)에 광 방출 시간 및 각각의 빔에 할당된 카메라(7)의 접수가 시간적으로 서로 맞춰지고, 할당된 객쌍 광원-카메라(5,7)의 모사 및 기록시간이 서로 중복되지 않는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제8 또는 9항에 있어서, 광원(5)으로서 서로 다른 파장에 대해 통과성의 칼라 필터(8)를 가진 광원 및/또는 다른 주파수로 동작하는 레이저 광원, 예를들면, 레이저 다이오드, 주파수에 맞추는 레이저 등이 제공되고, 할당된 광원(5)의 파장에 대해서만 통과하는 필터(8)가 모든 카메라(7)앞에 접속되거나 또는 모든 카메라(7)가 할당된 광원(5)의 파장으로 특히 민감한 센서부재를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제8 내지 10항중 어느 한 항에 있어서, 광원(5)으로서 편광된 광을 방출하는 레이저 또는 편광 필터를 가진 광원이 제공되며, 광원(5)이 다른 편광, 특히, 다른 원형편광을 가진 레이저빔을 방출하고, 할당된 광원(5)의 편광된 광에 대해서만 통과적인 편광필터가 모든 카메라(7)앞에 접속되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제8 내지 11항중 어느 한 항에 있어서, 모든 광원(5), 예를들면 레이저 광원이 물체(4)의 시간적으로 제한된 조사를 위한 스위칭 장치(10)에 의해 스위치 온과 오프되며, 이 광원(5)에 할당된 카메라(7)의 기록시간 및 지속시간이 광원(5)의 조사시간에 시간적으로 일치하는 스위칭 장치(10)에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제8 내지 12항중 어느 한 항에 있어서, 측정하려는 물체(4)가 조사시간 동안 진동장치 및 진동발생장치 예를 들면 커플링된 초음파 헤드, 전자 마그네트, 기계적인 진동공급장치 등과 연결되고, 이들은 물체를 어떤 속도로 변위시키고, 물체(4)를 조사하는 광의 반파장의 경로는 어느 한 시간내에 뒤에 놓이고, 이 시간은 측정 시간 및 측정시간 적분간격 및 카메라(7)의 전자적 폐쇄시간 바람직하게는 10 내지 30msec의 시간, 특히 약 20msec에 상응하는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920701336A 1989-12-05 1990-12-05 물체의 광 측정을 위한 방법 및 장치 KR920704092A (ko)

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