KR920005274A - 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치와 그 방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치와 그 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 조립된 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치의 부분 측면도이고,
제3도는 제1도의 장치의 평면도.

Claims (15)

  1. 잉곳(11)의 면을 그라인딩하기 위한 그라인드단(15)과, 잉곳(11)으로 부터 슬라이싱된 웨이퍼를 수납하기 위한 픽-오프 수단(17)을; 갖는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치로서, 그라인딩 위치에서 웨이퍼를 파지하기 위한 파지척(22)과; 상기한 그라인딩 위치와 수축된 위치 사이에서 상기한 척을 이동시키기 위한 수단(24)과; 상기한 파지척(22)으로부터 웨이퍼를 수납하기 위하여 상기한 파지척의 근처에 있는 이동위치와 이들로부터 웨이퍼를 제거하기 위한 제거위치 사이에서 이동할 수 있는 이동척(23)을; 포함하며, 상기한 픽-오프수단(17)이,슬라이싱된 웨이퍼를 잉곳으로부터 상기한 수축된 위치내의 상기한 파지척(22)으로 순차적으로 이동시키기 위하여, 파지부의 상기한 이동척(23)으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 그라인딩 위치에 있는 상기한 파지척(22)상에 파지된 웨이퍼가, 잉곳(11)의 면과 동일 평면에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  3. 제1항 또는 제2항 중 어느 한항에 있어서, 상기한 파지척(22)이, 다공성 세라믹 재료로 만들어지며, 그들면의 그라인딩을 위하여 상기한 그라인드단(15)에 대향하여 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 장치가, 잉곳으로부터 웨이퍼를 슬라이싱 하기 위하여 내부 원주상 톱날(13)을 갖는 톱날 조립체를 더욱 포함하며, 상기한 톱날(13)이 상기한 그라인드단과 동축으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩장치.
  5. 제1항에 있어서; 상기한 파지척(22)이, 흡입력 아래에서 상기 척 상에 웨이퍼를 파지하기 위한 진공 척인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기한 장치가, 그라인딩된 웨이퍼의 두께를 측정하기 위하여 상기한 척(22,23)의 아래쪽에 웨이퍼 두께 측정부를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기한 장치가, 측정된 웨이퍼의 두께에 따른 자료를 수납하기 위하여, 상기한 웨이퍼 두께 측정부(90)에 연결되어 있는 조절 수단(91)을 더욱 포함하며, 상기한 조절수단(91)은, 상기한 그라인딩 위치에 있는 ,순차적으로 위치되는 웨이퍼의 위치를 조절하기 위하여, 상기한 파지척(22)을 이동시키고, 이를 위하여 상기한 수단(24)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기한 장치가, 상기한 그라인딩 위치에 따라 상기한 파지척(27)의미리 정해진 본 위치를 지시하기 위하여 상기한 파지척(22)의 이동 경로상에 기록 수단을 더욱 포함하며, 상기한 조절 수단(91)이 상기한 파지척(22)을 프로그램된 방식으로 상기한 그라인딩 위치 내로 인덱싱 할 수 있도록 하기 위하여, 상기한 척(22)이 상기한 본 위치로 이동하도록 지시하는 신호를 전달하고, 이를 위하여 상기한 기록 수단(92)이 상기한 조절수단(91)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기한 기록 수단(9)이, 상기한 본 위치에 있는 상기한 파지척(22)을 교대하기 위한 교대블럭(93)과, 상기한 파지척(22)을 갖는 상기한 블럭(93)을 상기한 그라인딩 위치로 이동시킬 수 있도록 하기 위하여, 상기한 블럭(93)을 미끄러질 수 있도록 장착한 베어링(95)과 상기한 파지척(22)을 갖는 상기한 블럭의 이동을 감지하는 리밋 스위치를; 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기한 이동척(23)이, 상기한 파지부와 상기한 파지척(22)으로부터 떨어져 평행한 네번째 위치의 사이에서 움직이도록 하기 위하여 선회할수 있게 장착되고, 상기한 네번째 위치와 상기한 이동 위치 사이에서 움직일 수 있도록 하기 위하여 직전하게 장착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한항에 있어서, 상기한 파지척(22)을 움직이기 위한 수단(24)이, 왕복대(26)와; 상기한 왕복대 상에 미끄러질수 있도록 장착된 왕복대 블럭(27)과; 상기한 왕복대(26)를 따라 상기한 왕복대 블럭(27)을 이동시키기 위한 구동수단과; 이들과 함께 이동되기 위하여 상기한 왕복대 블럭(27)상에 장착된 확장 브래킷을; 갖고 그 한쪽 단부에 장착된 상기한 파지척(22)을 갖는 베이스(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  12. 제1항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기한 파지척(22)이 어댑터(44)와,;상기한 어댑터(44)의 한면상에 장착된 세라믹 디스크(47)를 ;포함하며, 상기한 어댑터(44)는, 상기한 면에 여러개의 가로지는 그루브(52)와 ;외부 흡입원을 갖는 상기한 그루브(52)중의 하나와 연결하기 위한 보어(53)를; 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 장치.
  13. 잉곳의 한 면을 그라인딩 하는 공정과; 그리고 나서 슬라이싱 위치에 있는 잉곳으로부터 그라인딩되 면을 갖는 웨이퍼(14)를 슬라이싱 하는 공정을; 포함하는 웨이퍼의 슬라이싱 및 그라인딩 방법에 있어서, 슬라싱된 웨이퍼(14)를 상기한 슬라이싱 위치로부터 파지부로 제거하는 공정과; 상기한 파지부로부터 얻은 이미 슬라이싱된 웨이퍼를 잉곳(11)면과 동일 평면상에서, 웨이퍼의 그라인딩 되지 않은 면을 갖는 그라인딩 위치로 회전시키는 공정과; 그리고 나서 웨이퍼(14')의 그라인딩 되지 않는 면과 잉곳(11)의 면을 상기한 평면에서 순차적으로 그라인딩 하는 공정을; 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 슬라이싱 및 그라인딩 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기한 방법이 그라인딩 위치로부터 그라인딩된 웨이퍼를 제거하는 공정과; 상기한 그라인딩 위치로부터 제거한 후 그라인딩된 웨이퍼의 두께를 측정하는 공정과; 측정된 두께와 미리 결정된 값으로 부터의 편차에 따라 상기한 그라인딩 위치에서 순차적으로 위치된 웨이퍼의 그라인딩 할 정도를 조절하는 공정을; 더욱 포함하는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 슬라이싱 및 그라인딩 방법.
  15. 제13항 내지 제14항중에 어느 한항에 있어서, 상기한 방법이, 웨이퍼를 척을 면하고 있는 그라인딩된 면을 갖는 이동척(23)상의 상기한 파지부로부터 이동시키는 공정과, 척(23)을 상기한 그라인딩 위치에 있는 웨이퍼의 그라인딩 되지 않은 면의 위치로 이동시키는 공정을; 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이싱 및 그라인딩 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
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