KR920003570A - 란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링타켓의 제조방법 - Google Patents
란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링타켓의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 란탄늄 알루미네이트 박막을 제조 하기 위하여 스프퍼링타켓을 챔버에 장착한 상태를 나타낸 개략도.
Claims (1)
- 산화란탄늄과 산화알루미늄의 혼합 분말을 알루미나 도가니에 넣고 공기 분위기에서 분당 10℃의 속도로 1550℃-1700℃까지 승온하여 2-4시간 유지시키고 다시 분당 5℃의 속도로 상온까지 냉각시켜 란탄늄 알루미네이트 분말을 얻는 단계와, 상기의 란탄늄 알루미네이트 분말의 성형체를 아르곤 분위기에서 분당 5℃의 속도로 승온하여 1700~1900℃에서 2시간 동안 소결한후 분당 8℃의 속도로 상온까지 냉각시킨 다음에 다시 1500℃의 공기 분위기에서 3시간 동안 열처리하여 산소를 소결체에 보충시키는 소결 및 열처리 단계에 의해 제조됨을 특징으로 하는 란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링 타켓의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900010551A KR920009654B1 (ko) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링타켓의 제조방법 |
| JP3171007A JPH04232219A (ja) | 1990-07-12 | 1991-07-11 | ランタンアルミネート薄膜堆積用スパッタリングターゲットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900010551A KR920009654B1 (ko) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링타켓의 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920003570A true KR920003570A (ko) | 1992-02-29 |
| KR920009654B1 KR920009654B1 (ko) | 1992-10-22 |
Family
ID=19301170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900010551A KR920009654B1 (ko) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 란탄늄 알루미네이트 박막 제조용 스퍼터링타켓의 제조방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH04232219A (ko) |
| KR (1) | KR920009654B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010128629A1 (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 酸化物焼結体スパッタリングターゲット、同ターゲットの製造方法、酸化物からなるゲート絶縁膜及び同ゲート絶縁膜の熱処理方法 |
| CN116497324A (zh) * | 2023-06-09 | 2023-07-28 | 深圳市汉嵙新材料技术有限公司 | 复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法 |
-
1990
- 1990-07-12 KR KR1019900010551A patent/KR920009654B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1991
- 1991-07-11 JP JP3171007A patent/JPH04232219A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920009654B1 (ko) | 1992-10-22 |
| JPH04232219A (ja) | 1992-08-20 |
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