KR910018583A - 실리콘 단결정의 직경 측정방법 및 장치 - Google Patents

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아끼히로 가와시마
다쓰오 사도오
도시오 오오가와
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야마시로 요시나리
닛뽕 고오깡 가부시기가이샤
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    • C30—CRYSTAL GROWTH
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    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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Abstract

내용 없음

Description

실리콘 단결정의 직경 측정방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 실리콘 단결정의 직경을 측정어하는 장치의 구조를 보여주는 개략도, 제2도는 쵸크랄스키(czochralski)방법에 따른 종전의 실리콘 단결정 생산장치의 구조를 보여주는 개략도.

Claims (6)

  1. 도가니와 관련하여 회전된 끌어올려진 단결정의 직경을 측정하는 실리콘 단결정 직경 측정방법에 있어서, 상기한 끌어올려진 단결정의 소정회전 주기의 중간시차에서 광수단에 의하여 융착링의 발광배분을 샘플링하여 상기한 끌어올려진 단결정의 측정된 직경값을 얻게하고, 저통과 필터에 의하여 상기한 측정된 직경값을 처리하여 타임연속직경 데이터로 변환된 필터출력값을 발생케하며, 그리고 상기한 필터출력값을 이동평균 대상으로 하여 상기한 끌어올려진 단결정의 직경값을 산출하게 되어있는 실리콘 단결정 직경 측정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 저통과 필터가 반복형 저통과 수치 필터이고, 다음(I)식에서 Xn는 n번째 측정된 직경값을 표시하며, Yn은 n번째 필터 출력값을 표시하게 되어 있으며, 상기한 Xn, YN을 사용하며 (n-1)번째 필터 출력값으로 Yn-1을 사용하고 있으며,
    Yn=(1-A)Xn+A Yn-1 …(I)
    여기서 A=지수(-2π·△t·fc),△t=샘플링 중간시차, fc=단절 주파수로 설명되어 있는 구성인 실리콘 단결정 직경 측정방법.
  3. 제1항 또는 제2항의 하나에 있어서, 상기한 필터출력값의 이동평균이 그런 방법으로 산출됨으로서 직경값 Zn은 다음(II)식으로부터 산출되게 되는데, n번째 필터출력값 Yn을 써서 상기한 끌어올려진 단결정의 소정회전 주기수에서 선택된 n출력이 되게 하는 것으로,
    …(Ⅱ)
    로 되어있는 구성인 실리콘 단결정 직경 측정방법.
  4. 도가니와 관련하여 회전된 끌어올려진 단결정의 직경을 측정하게 되어 있는 실리콘 단결정 직경 측정장치에 있어서, 상기한 끌어올려진 단결정의 측정된 직경값을 출력하고, 또 상기한 끌어올려진 단결정의 소정회전주기의 중간시차에서 융착링의 발광배분을 측정과 샘플링하는 광수단과, 상기한 측정된 직경값의 저주파 성분을 여과하여 타임연속직경 데이터로 변환된 필터출력값을 발생케하는 저통과 필터, 및 상기한 필터출력값을 이동평균의 대상이 되게하여 상기한 끌어올려진 단결정의 직경값을 산출하게 하는 컴퓨터 수단을 비치한 실리콘 단결정 직경 측정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기한 저통과 필터가 다음(I)식을 설명할 수 있는 반복형 저통과 수치 필터이며 Xn로서 n번째 측정직경값을 표시하고, Yn은 n번째 필터 출력값을 표시하며, Xn과 Yn 그리고 (n-1)번째 필터 출력값 Yn-1을 사용하며,
    Yn=(1-A)Xn+A Yn-1 …(I)
    여기서 A=지수(-2π·△t·fc), △t=샘플링 중간시차, fc=단절 주파수로 되어 있는 구성인 실리콘 단결정 직경 측정장치.
  6. 제4항 또는 제5항의 하나에 있어서, 상기한 컴퓨터 수단이 다음(II)식에 따른 n번째 직경값 Zn을 산출하는데 필터 출력값 Y를, (n-m-1)번째에서 n번째 순서로 쓰게 되어 있으며,
    …(Ⅱ)
    로 되어있는 구성인 실리콘 단결정 직경 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910006687A 1990-04-27 1991-04-25 실리콘 단결정의 직경 측정방법 및 장치 KR910018583A (ko)

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