KR910013561A - 비정질 실리콘 이미지 센서 - Google Patents
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- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 실리콘 이미지 센서의 도식적 단면도.
Claims (4)
- 차광막과 투명 도전막으로 된 공통 전극과, 복수개로 분리 형성된 개별전극과, 상기 공통 전극과 개별 전극의 사이에 형성되는 비정질 실리콘층과, 상기 비정질 실리콘층과 상기 개별 전극 사이에 위치되는 블록킹층을 구비하여 된 비정질 실리콘 이미지 센서에 있어서, 상기 블록킹층이 제1층과 제2층으로 분리 형성된 것을 그 특징으로 하는 비정질 실리콘 이미지 센서.
- 제1항에 있어서, 상기의 제1층은 상기 투명 전도막이 형성되지 않은 부위에만 형성되는 것을 특징으로 하는 비정질 실리콘 이미지 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 제1층 및 제2층 중 최소한 하나가 Si3N4로 이루어 짐을 그 특징으로 하는 비정질 실리콘 이미지 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 블록킹층을 이루는 제1, 제2층의 두께가 대략 400∼600Å의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 비정질 실리콘 이미지 센서.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR960001179B1 KR960001179B1 (ko) | 1996-01-19 |
Family
ID=19294802
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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KR (1) | KR960001179B1 (ko) |
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1989
- 1989-12-31 KR KR1019890020759A patent/KR960001179B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
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KR960001179B1 (ko) | 1996-01-19 |
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