KR910005070A - 다중-노치 루게이트 필터 및 이의 제어된 제조 방법 - Google Patents

다중-노치 루게이트 필터 및 이의 제어된 제조 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

다중-노치 루게이트 필터 및 이의 제어된 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는다중 노치 필터 구조의 간단한 예시적인 예로서 이상적인 개략적 트리플-노치, 정현적 루게이트 프로필대 기판상에 코팅된 광학적 작용 물질의 필름 성장을 도시한 도면.
제2a도는 트리플-노치 필터의 경우에서 굴절을 프로필 대 성장 두께를 그래프로 나타내어, 이상적인 무에러 프로필에 관련하여 랜덤 및 체계적인 공정 에러에 종속되는 시뮬레이트된 굴절율 프로필을 비교한 도면.
제2b도는 반사율 대 제2a도에 주어진 굴절율 프로필들의 파장을 그래프로 나타낸 도면.

Claims (13)

  1. 층의 두께의 함수로서 연속적인 선정된 패턴에 따라 변화하는 굴절율을 갖는 광학 물질의 층이 위에 형성된 기판을 포함하는 다중-노치 루게이트 필터를 형성하기 위한 방법에 있어서, (a)상기 기판을 제공하는 단계, (b)상기 기판상의 층으로서 상기 광학 물질을 형성하도록 물리적 또는 화학적으로 상호작용하는 반응물들을 제공하는 단계, (c)중첩된 단일-노치 패턴으로부터 형성된 다중-노치 합성 필터를 갖는 프로필인 굴절율의 이상적인 타겟 프로필 대 상기 층의 두께를 제공하여, 상기 프로필에 따르는 점들에 대응하는 시간에서의 연속점들에서 광학 두께의 상기 타겟 프로필의 이상적인 값들로부터 결정하는 단계, (d) 상기 이상적인 타켓 프로필을 갖는 상기 층을 형성하도록 동작되는 상기 반응물들에 시간의 함수로서 타겟 공정 조건들을 제공하는 단계, (e)피착 프로필을 갖는 층을 형성하기 위해서 상기 공정 조건들을 초기 설정하는 단계, (f) 피착된 만큼의 상기 층의 광학 두께의 측정된 증가들을 상기 광학 신호로부터 결정하여 광학 두께의 상기 증가들을 연속적으로 모니터하는 단계, (h) 상기 광학 두께 값이 상기 이상적인 타겟 프로필을 발생시키는 상기 타겟 공정 조건들에 관련하여 선정된 시간에서 측정되는지 여부를 결정하는 단계, (i)(h)단계의 결과들에 기초하여, 상기 이상적인 타겟 프로필을 정확하게 따르기 위해서 요구되는 굴절율의 피착 프로필 대 상기 층의 두께로 되도록 다중 정현적 위상-각 조정들을 결정하는 단계, (j)상기 조정들을 상기 실질 프로필에 제공하도록 시간에 걸쳐서 상기 공정 조건들을 변경하는 단계, (k)상기 다중-노치 루게이트 필터를 형성하는데 필요한 횟수로 단게 "f" 내지"j"를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, (a)단계"h"에서의 상기 광학 두께값이 상기 선정된 시간 이후에 측정되고, (b)단계"i"에서의 상기 조정들이 연속적인 수평 세그멘트 조정을 상기 피착 프로필에 명령하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, (a)단계 "h"에서의 상기 광학 두께값이 상기 선정된 시간 이전에 측정되고, (b)단계 "i"에서의 상기 조정들이 수직 세그멘트 조정을 상기 피착 프로필에 명령하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, (a)단계 "h"에서의 상기 광학 두께 값이 상기 선정된 시간에서 측정되고, (b)상기 조정들이 제로인 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 단계 "c"내지 "k"가 컴퓨터 제어하에 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광학 모니터링 단계 "f"가 상기 광 비임이 광학검출기 수단내로 수직 또는 거의 수직인 입사각으로 상기 층에서 반사되거나 상기 층을 통해 전송되도록 피착된 상기 층에서 광학 모니터링광 비임을 향하는 것을 포함하고, 상기 검출기 수단이 상기 검출기 내로 유도된 상기 광 비임의 함수인 상기 광학 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 반응물들이 방사선 유도시 화학적으로 상호작용하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 반응물들이 실란 및 이산화 질소를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 요구되는 상기 다중 정현적 위상-각 조정들의 상기 결정이 다음 식
  11. 여기서, n=광학물질의 굴절율,=필름 두께 공간(z)에서의 한 주기에 걸친 평균 굴절율, m=루게이트 전송 노치의 총수, z=층의 설계 위치,i=성분 정수, △ni=i번째 피크-골 굴절율 변조, λi= i번째 노치 파장, φi**=λΔi에서의 브래그 반사를 보증하기 위해서 알고리즘에 의해 연속적로 갱신되는 i번째 정현 위상 각 조정,*=φi에 의해 보상되는 국부 에러들을 가질 수 있는 파라메타들을 적용하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제1항의 방법에 의해 형성된 다중-노치 루게이트 필터에 있어서, 상기 필터가 파장의 다중 대역을에서 반사를 발생시키고, 파장의 각각의 상기 대역에서의 상기 반사가 브래그 법칙을 따르는 것을 특징으로 하는 다중-노치 루게이트 필터.
  13. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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