KR900016746A - 장(field)에 기초한 물체변동 감지기 - Google Patents

장(field)에 기초한 물체변동 감지기 Download PDF

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KR900016746A
KR900016746A KR1019900004463A KR900004463A KR900016746A KR 900016746 A KR900016746 A KR 900016746A KR 1019900004463 A KR1019900004463 A KR 1019900004463A KR 900004463 A KR900004463 A KR 900004463A KR 900016746 A KR900016746 A KR 900016746A
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씨. 쟈콥센 스테펜
이. 우드 죤
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스테펜 씨. 자콥센
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Abstract

내용 없음.

Description

장 (field) 에 기초한 물체변동 감지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 원리에 따라 만들어진 유연한 단축변형 변환기의 사시도,
제2A도 및 2B도는 잡아늘일 수 있는 변형과 압축성 변형하에 있게 되는 때 제1도 변환기의 평면도를 도시한 도면,
제3도는 제1도 변환기가 받게되는 변형을 나타내는 한 신호를 발생시키기 위해 사용될 수 있는 본보기 회로의 개략적 도면.

Claims (62)

  1. 장치가 배치되어진 물체내 변형을 측정하기 위한 장치에 있어서, 전술한 장치가 한 변환기를 포함하고 변환기가 물체에 배치시키기 위한 한 작용표면을 갖는 유연한 평면 프레임 부재로서 전술한 프레임부재가 물체가 변형을 받게되는 때 서로에 대해 길이방향으로 이동가능한 하중을 받는 한쌍의 평행한 비임을 포함하고, 하나 또는 두쌍의 간격을 두고 떨어져 있는 유연한 연결비임이 상기하중을 받는 비임 사이에서 뻗어있으며, 제1의 돌출부가 하중을 받는 비임중 하나로부터 연결 비임사이의 한 위치에 있는 하중을 받는 다른 비임을 향해 뻗어있으며, 제2돌출부가 전술한 하중을 바는 다른 비임으로부터 제1돌출부 한측면상의 전술한 하중을 받는 한 비임을 향해 뻗어있게 되는 평면 프레임 부재, 작업 표면으로부터 발산되는 역장(working force)을 발생시키기 위해 제1돌출부의 동작업면상에 배치된 수단, 그리고 역장의 존재를 탐지하고 역장의 세기를 나타내는 따라서 역장발생 수단으로부
    터 탐지수단의 거리를 나타내는 신호를 발생시키기 위한 제2돌출부의 작업표면에 배치된 제1팀지수단을 포함함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1변환기와 함께 단일의 유연한 기질로부터 형성된 적어도 하나의 추가변환기를 포함하며, 전술한 변환기가 일정한 방향을 향하도록 되어 하중을 받게되는 각 변환기의 비임이 하중을 받는 어느 다른 변환기 비임과 평행을 이루지 않도록 함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  3. 제2항에 있어서, 하중을 받는 한 변환기의 비임이 하중을 받는 다른 변환기 비임과 직각을 이루도록 두 변환기가 배치됨을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  4. 제2항에 있어서, 각 변환기의 하중을 받는 비임이 다른 변환기의 하중을 받는 비임에 대하여 60°의 각도로 방향이 결정되도록 세 변환기가 배치됨을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  5. 제2항에 있어서, 각 변환기의 하중을 받는 비임이 적어도 한 인접 변환기의 하중을 받는 비임과 45°의 각도로 방향이 정해지도록 4변환기가 배치됨을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  6. 제1항에 있어서, 전술한 프레임 부재가 전술한 하중을 받는 다른 비임으로부터 제1돌출부의 다른 한 측면에 있는 하중을 받는 한 비임을 향해 뻗어있는 제3의 돌출부를 포함하고, 전술한 변환기가 역장의 존재를 탐지하고 역장의 세기를 나타내는 따라서 역장 발생수단으로부터의 제2탐지 수단의 거리를 나타내는 신호를 발생시키기 위해 제3돌출부의 작업 표면상에 배치된 제2탐지수단을 포함함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  7. 제6항에 있어서, 작용력 발생수단에 대한 제1 및 제2탐지수단의 상대적 이동 및 간격의 표서를 발생시키기 위해 전술한 신호에 응답하는 표시수단을 더욱 포함함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  8. 제7항에 있어서, 전술한 표시수단이 역장 발생수단으로부터의 제1탐지수단의 거리와 역장발생수단으로부터의 제2탐지 수단의 거리 사이의 차이에 대한 표시를 발생시키기 위한 차동측정 수단을 포함함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  9. 제6항에 있어서, 전술한 역장 발생수단이 전장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 전술한 제1 및 제2탐지수단이 각각 전장 발생수단으로부터의 전계효과 트랜지스터의 거리에 비례하는 한출력을 발생시키기 위해 한전계 효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 물체내 변형 측정장치.
  10. 제9항에 있어서, 전술한 전장 발생수단이 한 전기도선과 이에 연결된 하전소스(charge source)를 포함함을 특징으로 하는 장치.
  11. 제9항에 있어서, 전술한 전장 발생수단이 한층의 재료와 고속에 분산된 한 극성의 전기전하를 포함함을 특징으로 하는 장치.
  12. 제9항에 있어서, 전술한 전계효과 트랜지스터 각각이 소스 영역, 트레인 영역, 소스영역과 드레인 영역 사이에 배치된 한 채널영역 그리고, 상기 채널영역과 인접 배치되며 이로부터 격리되어 있는 한 전도성 게이트를 포함하며, 각 전계효과 트랜지스터의 모든 요소가 제2 및 제3돌출부 각각에 위치하여짐을 특징으로 하는 장치.
  13. 제9항에 있어서, 전술한 전계효과 트랜지스터 각각이 소스영역, 드레인 영역, 소스영역과 드레인 영역 사이에 배치 하여진 한 채널영역을 포함하고 이 모든 영역들이 돌출부들로부터 멀리 떨어져 배치되어지며, 한 부분이 제2 및 제3돌출부 각각에 배치되고 다른 한부분이 채널영역에 인접하여 이들로부터는 멀리 떨어져 배치되어 두 부분이 전기도선에 의해 연결하여지는 한 전도성 게이트를 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
  14. 제6항에 있어서, 전술한 역장 발생수단이 자장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 전술한 제1 및 제2탐지수단 각각이 자장 발생 수단으로부터의 전계효과 트랜지스터의 거리까지 비례하는 출력을 발생시키기 위한 분할 드레인 자계효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 전술한 자계발생 수단이 영구자석 요소를 포함함을 특징으로 하는 장치.
  16. 제14항에 있어서, 전술한 자계발생 수단이 전자기 요소를 포함함을 특징으로 하는 장치.
  17. 제14항에 있어서, 전술한 분할 드레인 자계효과 트랜지스터 각각이 소스드레인, 두 드레인 영역, 소스드레인과 두 드레인 영역 사이에 위치한 한 채널영역, 그리고 채널영역에 인접하여 위치하며 이로부터 격리된 한 전도 게이트를 포함하며, 각 자계효과 트랜지스터의 모든 요소가 제2 및 제3돌출부 각각에 위치하여짐을 특징으로 하는 장치.
  18. 제14항에 있어서, 전술한 분할 드레인 자계효과 트랜지스터 각각이 소스영역, 두 드레인영역, 소스영역과 두 드레인 영역 사이에 위치한 한 채널영역을 포함하며, 모두가 돌출부로부터 원격히 떨어져 배치되고 한 부분이 제2 및 제3돌출부 각각에 배치되고 또 다른 한 부분이 이들로부터 멀치감치 떨어쳐 채널영역에 인접하여 배치되며 전술한 두 부분이 한 전기도선에 의해 연결되는 한 전도게이트를 더욱더 포함함을 특징으로 하는 장치.
  19. 제1항에 있어서. 전술한 프레임부재가 한쌍의 부착패드를 더욱더 포함하며, 각 부착패드가 이와 공통평면을 이루도록 프레임부재의 맞은편 단부에 있는 하층을 받는 비임 각각에 연결되고, 각 부착패드가 동패드가 연결되는 하중을 받는 자각의 비임으로부터 하중을 받는 다른 한비임의 단부에 인접하여 이와는 떨어져 있는 한 위치까지로 뻗어있게 됨을 특징으로 하는 장치.
  20. 제19항에 있어서, 전술한 프레임부재가 새 돌출부 각 측면에 있는 하중을 받는 비임들 사이에서 뻗어있는 다수의 추가 연결비임을 포함하며, 전술한 추가 연결비임이 거리를 두고 떨어져 있으며 서로 평행하여 세 돌출부 각 측면에서 일련의 갭을 만들도록 함을 특징으로 하는 장치.
  21. 제20항에 있어서, 전술한 프레임 부재가 하나 또는 두개이상의 세 돌출부 추가세트를 포함하며, 각 세트에서의 한 돌출부가 하중을 받는 한 비임으로부터 다른 한 비임을 향해 뻗어있으며 각 세트내 다른 두 돌출부가 하중을 받는 다른 비임으로부터 각 세트의 한 돌출부 어느 한 측면에 있는 하중을 받는 한 비임을 향해 뻗어있고, 작업표면으로 방출되는 한 역장을 발생시키기 위해 각 세트의 한 돌출부 작업표면에 상에 배치되는 수단, 그리고 각 세트의 한 돌출부로부터 발생된 역장의 존재를 탐지하고 동세트의 한 돌출부상의 역장 발생수단으로부터의 전술한 각 탐지수단의 떨어진 거리를 나타내는 신호를 발생시키기 위해 동 세트의 다른 두 돌출부중 각각의 작업표면에 각각이 배치된 한쌍의 탐지수단을 더욱 포함함을 특징으로 하는 장치.
  22. 제2항에 있어서, 전술한 프레임 부재가 변형가능재 단일의 완전한 통일체 편으로 구성됨을 특징으로 하는 장치.
  23. 제22항에 있어서, 전술한 재료편이 한 실리콘 기질을 포함하며, 전술한 탐지수단이 제2 및 제2돌출부 작업표면상에 침착됨을 특징으로 하는 장치.
  24. 한축을 따라 변환기로 가해진 작용력을 측정하기 위한 가요력(可撓力) 변환환기에 있어서, 이같은 변환기가 한 평면 표면을 가지며 제1방향으로부터 돌출한 제1핑거 및 제1방향과는 반대방향으로부터 제1핑거 한측면상의 한위치로 돌출한 제2핑거로 형성된 한 기질로서, 전술한 핑거들이 전술한 축과는 직각으로 뻗어있으며 전술한 제1핑거가 기질이 축을 따라 한 작용력을 받게되는 때 제2핑거에 대한 이동이 가능하도록 한기질, 평면 표면 측면으로부터 방출하는 전기/자기장을 발생시키기 위해 제2핑거의 평면 표면에 배치된 수단, 그리고 전기/자기장의 세기변화를 탐지하기 위해 따라서 제1핑거의 제2핑거에 대한 상대적 이동을 탐지하기 위한 제1핑거의 평면 표면상에 배치된 수단을 포함함을 특징으로 하는 가요력 변환기.
  25. 제24항에 있어서, 전술한 기질이 전술한 축에 직각인 제1방향으로부터 돌출한 제3핑거와 함께 형성되어 제2핑거가 제1및 제2핑거 사이에 위치 하도록 하며, 전술한 제 1및 제3핑거가 기질이 축을 따라 작용력을 받게되는 때 제2핑거에 대하여 이동간으로한 한쌍의 형성하고, 전술한 탐지수단이 제1 및 제3핑거 모두의 상측표면 상에 배치됨을 특징으로 하는 변환기.
  26. 제25항에 있어서, 전술한 기질이 한쌍의 평행한 작용력 전달아암을 포함하며, 전술한 핑거쌍이 한 아암으로부터 다른 한 아암을 향해 돌출하며 전술한 제2핑거가 다른 한 아암으로부터 전술한 한 아암을 향해 돌출하고, 다수의 가요성 지주가 핑거쌍 각 측면상의 아암 사이에 뻗어있으며 서로 관련한 아암의 세도 이동을 허용하도록하며 따라서 제2핑거에 대한 핑거쌍의 이동을 허용케하고 그리고 각각이 기질의 맞은편 단부에 있는 각기 다른 아암의 한단부에 형성되는 한쌍의 접착패드를 포함함을 특징으로 하는 변환기.
  27. 제26항에 있어서, 전술한 전기/자기장 발생수단이 전장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 전술한 탐지수단이 한쌍의 전계효과 트랜지스터를 포함하고, 각각이 전장의 세기, 따라서 전장 발생수단으로부터의 각 트랜지스터의 떨어진 거리를 대표하는 신호를 발생시키기 위해 핑거쌍중 각기 다른 핑거상에 배치됨을 특징으로 하는 변환기.
  28. 제26항에 있어서, 전술한 전기/자기장 발생수단이 자장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 전술한 탐지수단이 한쌍의 분할-드레인 자계효과 트랜지스터를 포함하고, 각각이 자장의 세기, 따라서 자장 발생수단으로부터의 각 트랜지스터의 떨어진 거리를 대표하는 신호를 발생시키기 위해 핑거쌍중 각기 다른 핑거쌍에 배치됨을 특징으로 하는 변환기.
  29. 제26항에 있어서, 전술한 기질이 반도체 재의 단일 완전 통일체 몸체로 구성됨을 특징으로 하는 변환기.
  30. 제29항에 있어서, 전술한 재료가 단결정 규소임을 특징으로 하는 변환기.
  31. 제29항에 있어서, 전술한 재료가 박막의 폴리 실리콘임을 특징으로 하는 변환기.
  32. 제29항에 있어서, 전술한 재료가 사파이어임을 특징으로 하는 변환기.
  33. 제29항에 있어서, 전술한 재료가 갈륨 아세나이드임을 특징으로 하는 변환기.
  34. 제29항에 있어서, 전술한 재료가 무결정 규소임을 특징으로 하는 변환기.
  35. 변환기가 부착되는 물체에서 발생된 변형을 측정하기 위한 변환기에 있어서, 전술한 변환기가 하중을 받으며, 간격이 떨어져 있고 평행한 한쌍의 레일로서 각각이 레일을 물체에 부착시키기 위해 각 레일의 마주하여 위치한 단부로부터 다른 한 레일을 향하여 뻗어있는 한 부착패드를 포함하는 한쌍의 레일, 각각이 레일의 다른 한 위치로부터 다른 한 아암과 평행한 그리고 나란한 한 위치로 뻗어있는 한쌍의 아암, 각각이 그 세기가 각 에미터에 가까워질수록 더욱 커지게 되는 한 역자을 발생시키기 위해 한 아암을 따라 새로로 따로 떨어져 있는 다수의 역장 에미터. 다른 한 아암을 따라 새로로 따로 떨어져 있는, 그래서 한 아암의 다른 한 아암에 대한 일정 이동범위 동안 그 같은 범위내 어떤 점에서 각 탐지기 요소가 한 에미터에 직접 마주하여 놓여진 유일한 엘리먼트가 되도록 하는 다수의 역장 탐지기 요소, 그리고 에미터와 관계하여 탐지기 요소의 이동 크기를 나타내기 위해 전술한 탐지기 요소에 의해 발생된 신호에 응답하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 물체내에서 발생된 변형을 측정하기 위한 변환기.
  36. 제36항에 있어서, 두개의 레일 사이에서 이들 레일에 연결되어 뻗어있는 따라서 이들 두 레일이 서로 관계하여 세로로 이동하게 하는 하나 또는 둘이상의 측면이 가요성인 연결부재를 더욱더 포함함을 특징으로 하는 변환기.
  37. 제36항에 있어서, 전술한 역장 에미터가 충전된 전기 요소하며, 전술한 탐지기요소가 전계효과 트랜지스터임을 특징으로 하는 변환기.
  38. 제36항에 있어서, 전술한 역장 에미터가 영구자석이고, 전술한 탐지기 요소가 분할 드레인 자계효과 트랜지스터임을 특징으로 하는 변환기.
  39. 제36항에 있어서, 전술한 레인과 연결부재가 만일의 완전 통일체 재로 되어있음을 특징으로 하는 변환기.
  40. 제39항에 있어서, 전술한 재료가 반도체 재이며, 전술한 에미터와 탐지기 요소가 동 재료로의 화학적 침착에 의해 완성됨을 특징으로 하는 변환기.
  41. 제36항에 있어서, 에미터의 숫자와 탐지기의 숫자가 1차이를 가지며, 에미터 배열내 말단 에미터가 탐지기 배열에 상응하는 말단 탐지기 맞은편에 위치함을 특징으로 하는 변환기.
  42. 지지부에 부착하기 위한 제1부재, 제1부재와 제2부재를 연결시키는 가요성 연결지주, 한 부재로부터 다른 한 부재를 향해 돌출하는 제1핑거, 다른 한 부재로부터 한 부재를 향해 제1핑거의 한편 위로 돌줄한 제2핑거, 방출되는 한 역장을 발생시키기 위해 제1핑거상에 배치된 수단, 역장의 세기를 나타내는 따라서 역장 발생수단으로부터의 전술한 탐지기 수단의 떨어진 거리를 나타내는 한 신호를 발생 시키기 위해 제2핑거상에 배치된 역장탐지기 수단을 포함하는 작용력 변환기.
  43. 제42항에 있어서, 다른 한 부재로부터 한 부재를 향해 전술한 제1핑거의 다근 한 측면상의 한위치로 돌출하는 제3핑거, 그리고 역장의 세기, 따라서 역장 발생수단으로부터의 제2탐지기 수단의 떨어진 거리를 나타내는 한신호를 발생시키기 위해 제3핑거상에 배치된 제2역장 탐지기 수단을 더욱더 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  44. 제43항에 있어서, 제1부제상에 배치된 무게 수단(weight means)을 더욱 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  45. 제44항에 있어서, 전술한 제1부재가 기다리며 지지 부재에 부착되기 위해 확대 단부분을 가짐을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  46. 제45항에 있어서, 전술한 역장 발생수단이 전장을 발생시키기 위한 수단을 포함하고, 전술한 역장 탐지기 수단이 역장 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  47. 제45항에 있어서, 전술한 역장 발생수단이 자장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 전술한 역장 탐지기 수단이 분할 드레인 자장-효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  48. 제43항에 있어서, 전술한 제1 및 제2부재, 지주(struts) 및 제1, 제2 제3핑거가 단일의 완전 통일체재를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  49. 제48항에 있어서, 전술한 재료가 반도체 재이며, 전술한 역장 발생수단 및 역장탐지기 수단이 전술한 재료의 일체이도록 화학적 침착에 의해 형성됨을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  50. 변환기가 부착되는 물체에서 발생된 변형을 측정하기 위한 변환기에 있어서, 물체로의 부착을 위한, 상측표면과 저부표면을 갖는 가요성의 한 편평한 프레임 부재로서, 이같은 프레임부재가 하중을 받으며 간격이 떨어져 평행한 한쌍의 레일을 포함하며, 한쌍의 접착패드 각각이 프레임을 부재를 물체에 부착시키기 위해 맞은편 단부에 있는 레일의 각기 다른 하나에 연결되고, 축방으로 가요성을 갖는 간격이 떨어진 하나 또는 두쌍 이상의 지주가 레일 사이에서 동레일을 연결시키며, 뻗어있고, 그리고 한쌍의 공통 평면플레이트 각각이 한 일정레일일로부터 다른 한 레일을 향해 뻗어 있으며 이때 플레이트의 인접한 자유에지가 서로 평행한 가요성의 한 편평한 프레임부재, 각각이 그 세기가 각 에미터에 가까워질수록 더욱 커지게 되는 한 역장을 발생시키기 위해 그 자유에지 가까이에 있는 한 플레이트를 따라 세로로 따로 떨어겨 있는 다수의 역장 에미터. 그 자유에지 가까이에 있는 다른 한 플레이트를 따라 세로로 따로 떨어져 있는 그래서 한 아암의 다른 한 아암에 대한 일정 이동범위동안 그같은 범위내 어떤 점에서 각 탐지기요소가 한 에미터에 직접 마주하며 놓여진 유일한 엘리먼트가 되도록 하는 다수의 역장 탐지기 요소로서, 이같은 탐지기요소가 그것이 놓여진 곳에서 역장의 세기를 나타내는 한 신호를 발생시키도록 적용되는 역장탐지기 요소, 그리고 에미터와 관계하여 탐지기 요소의 이동 크기를 나타내기 위해 전술한 탐지기 요소에 의해 발생된 신호에 응답하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 물체 내에서 발생된 변형을 측정하기 위한 변환기.
  51. 제50항에 있어서, 전술한 역장 에미터가 충전된 전기적 요소이며, 전술한 탐지기요소가 전계효과 트랜지스터임을 특징으로 하는 변환기.
  52. 제50항에 있어서, 전술한 역장 에미터가 영구자석이고, 전술한 탐지기요소가 분할 드레인 자장효과 변환기임을 특징으로 하는 변환기.
  53. 제50항에 있어서, 전술한 레일, 결합패드, 연결지주 및 플레이트가 단일의 통합재로 되어있는 것을 특징으로 하는 변환기.
  54. 제53항에 있어서, 전술한 재료가 반도체 재이고, 전술한 에미터와 탐지기 요소가 재료상에 회학적 침착시키므로써 형성됨을 특징으로 하는 변환기.
  55. 제50항에 있어서, 에미터의 숫자와 탐지기의 숫자가 1이 차이나며 에미터 배열내 말단에미터가 탐지기 배열내 상응하는 말단 탐지기 맞은편에 위치함을 특징으로 하는 변환기.
  56. 환상의 프레임, 그 평면내에서 힘(작용력)을 받게되는 때 프레임에 대하여 이동시키기 위해 프레임내에 배치된 쎈터 허브(hub) 프레임에 관련하여 그 이동을 허용하는 동안 프레임내에 허브를 고정시키기 위해 프레임에 허브를 연결시키는 가용성 스프링 수단, 프레임을 향해 외향하여 발산하는 역장을 발생시키기 위해 허브상에 배치된 수단, 그리고 역장의 세기내 변동을 탐지하기 위해 따라서 프레임내 역장발생 수단의 이동을 탐지하기 위해 프레임상에 배치된 탐지 수단을 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  57. 제56항에 있어서, 전술한 작용력 발생수단이 전장을 발생시키기 위한 수단을포함하며, 전술한 탐지수단이 하나 또는 둘이상의 전계효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  58. 제56항에 있어서, 전술한 역장 발생수단이 자장을 발생시키기 위한 수단을 포함하고, 전술한 탐지수단이 하나 또는 둘이상의 분할 드레인 자계효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  59. 제56항에 있어서, 전술한 탐지수단이 프레임상에서 원주위로 떨어져 있는 다수의 탐지요소를 포함하고, 각각이 역장 발생수단과 전술한 각각 탐지기 요소 사이 의 거리를 나타내는 한 신호를 발생시키도록 함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  60. 제59항에 있어서, 전술한 작용력 발생수단이 전장을 발생시키기 위한 수단을 포함하고, 각 탐지수단이 소스영역, 드레인영역, 소스영역과 드레인영역 사이에 위치한 한 채널 영역, 그리고 적어도 한 부분이 채널영역에 인접하여 위치하고 적어도 다른 한 부분이 프레임상에 배치된 곡선의 세그먼트로 정렬되는 한 전도선 게이트를 가지는 한 전계효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  61. 제59항에 있어서, 전술한 작용력 발생수단이 자장을 발생시키기 위한 수단을 포함하며, 각 탐지수단이 소스영역, 두 드레인영역, 소스영역과 두 드레인영역 사이에 위치한 한 채널영역, 그리고 적어도 한 부분이 채널영역에 인접하고 이로부터 격리되어 위치하고 적어도 다른 한 부분이 프레임 상이 배치된 곡선의 세그먼트로 정렬되는 한 전도성 게이트를 갖는 분할 드레인 자계효과 트랜지스터를 포함함을 특징으로 하는 작용력 변환기.
  62. 변환기가 배치되어진 한 물체에서의 변형을 측정하기 위간 레버-작용 변환기에 있어서, 한 작업표면을 가지는 가요성 평면 프레임부재로서, 전술한 프레임 부재가 물체로의 부착을 위해 제1 및 제2의 간격을 둔 접착패드, 접착패드 사이에 배치되어 제1단부에서 제2단부로 패드들 사이에서 연장된 한 가상선에 직각으로 뻗어있도록 된 한 레버아암, 제2접착패드와 래버 아암 사이에서 뻗어있으며 제1 및 제2단부 사이 제1단부 가까이에 레버아암에 연결된 한 기저아암 레버아암의 제2단부로부터 측면으로 뻗어있고 기저아암을 향해 뻗어있는 적어도 한 돌출부를 포함한 지지아암, 그리고 제2접착패드로부터 그곁에 위치한 한 자유단으로 뻗어있는 한널(중앙)아암을 포함하는 평면프레임부재, 작업표면으로부터 방출되는 그리고 역장 발생수단으로부터의 거리가 커질수록 세기가 줄어드는 역장을 발생시키기 위해 널아암의 자유단 작업표면상에 배치된 수단, 그리고 작용력이 존재를 탐지하기 위해 그리고 역장세기를 대표하는 따라서 역장 발생수단으로부터의 탐지수단의 떨어진 거리를 대표하는 신호를 발생시키기 위한 돌출부의 작업표면상에 배치된 탐지수단을 포함함을 특징으로 하는 레버-작용 변환기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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