JPH0626946A - 機械的大きさの測定方法とその装置 - Google Patents
機械的大きさの測定方法とその装置Info
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- JPH0626946A JPH0626946A JP31447591A JP31447591A JPH0626946A JP H0626946 A JPH0626946 A JP H0626946A JP 31447591 A JP31447591 A JP 31447591A JP 31447591 A JP31447591 A JP 31447591A JP H0626946 A JPH0626946 A JP H0626946A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G9/00—Methods of, or apparatus for, the determination of weight, not provided for in groups G01G1/00 - G01G7/00
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/08—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a leaf spring
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/093—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 汎用的に採用でき、単純に構成され、正確な
測定結果が得られるような力や加速度の機械的大きさを
測定する方法およびその装置を提供する。 【構成】 光導体４の他端は光源６に接続されている。
光源６は好適にはレーザ光源として形成されている。光
導体４に導入された光線は光導体４の自由に動ける端部
から光線７として出て、光線経路中に後置接続された位
置検出器２に当たる。位置検出器２は光電式位置検出器
として形成され、検出器に当たる光点の位置を、後置接
続された評価電子回路において高い精度で検出すること
ができる。矢印５の方向の加速度の際に生ずる光導体４
の湾曲は、位置検出器２における光点の変位として表示
されるので、後置接続された評価電子回路において、導
入された加速度の大きさを表す光点の変位が評価され
る。
測定結果が得られるような力や加速度の機械的大きさを
測定する方法およびその装置を提供する。 【構成】 光導体４の他端は光源６に接続されている。
光源６は好適にはレーザ光源として形成されている。光
導体４に導入された光線は光導体４の自由に動ける端部
から光線７として出て、光線経路中に後置接続された位
置検出器２に当たる。位置検出器２は光電式位置検出器
として形成され、検出器に当たる光点の位置を、後置接
続された評価電子回路において高い精度で検出すること
ができる。矢印５の方向の加速度の際に生ずる光導体４
の湾曲は、位置検出器２における光点の変位として表示
されるので、後置接続された評価電子回路において、導
入された加速度の大きさを表す光点の変位が評価され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工業的に多くの場所で
力、トルクおよび加速度のような機械的大きさを測定す
る方法およびその装置に関する。
力、トルクおよび加速度のような機械的大きさを測定す
る方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】そのために例えば圧力計は電気機械式測
定器における測定要素として使用されている。圧力計は
主にその長手軸心に対して同心的に配置された変形体か
ら成っている。その力の導入は例えば変形体の内側母線
に結合されている力導入リングの力導入面を介して行わ
れる。その反力は、変形体の外側母線に接触支持され力
導入面を有する別の力導入リングを介して与えられる。
変形体の上側面および下側面にそれぞれ、電気抵抗ブリ
ッジのブリッジ回路に接続されているストレーンゲージ
が設けられている。
定器における測定要素として使用されている。圧力計は
主にその長手軸心に対して同心的に配置された変形体か
ら成っている。その力の導入は例えば変形体の内側母線
に結合されている力導入リングの力導入面を介して行わ
れる。その反力は、変形体の外側母線に接触支持され力
導入面を有する別の力導入リングを介して与えられる。
変形体の上側面および下側面にそれぞれ、電気抵抗ブリ
ッジのブリッジ回路に接続されているストレーンゲージ
が設けられている。
【０００３】更に例えば容量式あるいは誘導式測定原理
で作動する多数の加速度検出器が知られている。
で作動する多数の加速度検出器が知られている。
【０００４】上述した一般的な測定器の場合、測定器か
ら出る信号を後置接続された測定増幅器において増幅
し、再処理に利用しなければならない。検出器には電子
部品が配置されているので、検出器は所定の採用分野に
対しては容器内に気密に封入しなければならない。
ら出る信号を後置接続された測定増幅器において増幅
し、再処理に利用しなければならない。検出器には電子
部品が配置されているので、検出器は所定の採用分野に
対しては容器内に気密に封入しなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、汎用
的に採用でき、単純に構成され、正確な測定結果が得ら
れるような機械的大きさを測定する方法およびその装置
を提供することにある。
的に採用でき、単純に構成され、正確な測定結果が得ら
れるような機械的大きさを測定する方法およびその装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によればこの目的
は、少なくとも１つの弾性ばね要素が作用し、そのばね
変形距離が光学的手段を介して表示され評価され、この
光学的手段がばね要素に配置されている機械的大きさを
測定する方法、およびこの方法を実施するための光学的
手段が光源およびそれに付属された位置検出器を有して
いる測定装置によって達成される。
は、少なくとも１つの弾性ばね要素が作用し、そのばね
変形距離が光学的手段を介して表示され評価され、この
光学的手段がばね要素に配置されている機械的大きさを
測定する方法、およびこの方法を実施するための光学的
手段が光源およびそれに付属された位置検出器を有して
いる測定装置によって達成される。
【０００７】この本発明に基づく機械的大きさを測定す
る方法および装置によって、力および加速度を測定する
ことができる。本発明に基づく検出器あるいは弾性ばね
要素には電子部品あるいは機械・電気変換要素は配置さ
れておらず、従って温度補償、容器内への気密の封入お
よび有害な電磁界に対する遮蔽はいずれも不要である。
る方法および装置によって、力および加速度を測定する
ことができる。本発明に基づく検出器あるいは弾性ばね
要素には電子部品あるいは機械・電気変換要素は配置さ
れておらず、従って温度補償、容器内への気密の封入お
よび有害な電磁界に対する遮蔽はいずれも不要である。
【０００８】光学的手段は光源およびそれに付属された
位置検出器を有している。これによって位置検出器に当
てられる光点の位置を、後置接続された評価電子回路に
おいて高い精度で検出することができる。更に弾性ばね
要素に配置された光源と位置検出器との間隔は任意に選
定できるので、位置検出器における弾性ばね要素の変形
距離は選定された前記間隔に相応して光学的に増幅して
表示される。
位置検出器を有している。これによって位置検出器に当
てられる光点の位置を、後置接続された評価電子回路に
おいて高い精度で検出することができる。更に弾性ばね
要素に配置された光源と位置検出器との間隔は任意に選
定できるので、位置検出器における弾性ばね要素の変形
距離は選定された前記間隔に相応して光学的に増幅して
表示される。
【０００９】本発明の別の有利な実施態様において、光
導体を弾性ばね要素に配置することを提案する。光導体
はその質量が小さいという特長を有するので、測定対象
物は全く狂いを生じない。
導体を弾性ばね要素に配置することを提案する。光導体
はその質量が小さいという特長を有するので、測定対象
物は全く狂いを生じない。
【００１０】以下図に示した実施例を参照して本発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１１】
【実施例】図１に示した加速度検出器は主に、その上に
位置検出器２およびこの位置検出器２に対して間隔を隔
てられた締付け装置３が配置されている基板１から成っ
ている。光導体４は片側が締付け装置３に、光導体４が
締付け装置３から位置検出器２の方向に突出し、光導体
４の一端が自由に振動できるように締付け固定されてい
る。従って光導体４はばね・質量系となっており、上述
した締付けに基づいて物理的原理により片側締付け振動
体として振る舞う。
位置検出器２およびこの位置検出器２に対して間隔を隔
てられた締付け装置３が配置されている基板１から成っ
ている。光導体４は片側が締付け装置３に、光導体４が
締付け装置３から位置検出器２の方向に突出し、光導体
４の一端が自由に振動できるように締付け固定されてい
る。従って光導体４はばね・質量系となっており、上述
した締付けに基づいて物理的原理により片側締付け振動
体として振る舞う。
【００１２】矢印５で示されている加速度が加速度検出
器に導入されると、光導体４はそのばね定数、張り長さ
および質量あるいは質量分布に関係して湾曲する。
器に導入されると、光導体４はそのばね定数、張り長さ
および質量あるいは質量分布に関係して湾曲する。
【００１３】光導体４の他端は光源６に接続されてい
る。光源６は好適にはレーザ光源として形成されてい
る。光導体４に導入された光線は光導体４の自由に動け
る端部から光線７として出て、光線経路中に後置接続さ
れた位置検出器２に当たる。位置検出器２は公知のよう
に光電式位置検出器として形成され、検出器に当たる光
点の位置を、後置接続された評価電子回路（図示せず）
において高い精度で検出することができる。矢印５の方
向の加速度の際に生ずる光導体４の湾曲は、位置検出器
２における光点の変位として表示されるので、後置接続
された評価電子回路において、導入された加速度の大き
さを表す光点の変位が評価される。
る。光源６は好適にはレーザ光源として形成されてい
る。光導体４に導入された光線は光導体４の自由に動け
る端部から光線７として出て、光線経路中に後置接続さ
れた位置検出器２に当たる。位置検出器２は公知のよう
に光電式位置検出器として形成され、検出器に当たる光
点の位置を、後置接続された評価電子回路（図示せず）
において高い精度で検出することができる。矢印５の方
向の加速度の際に生ずる光導体４の湾曲は、位置検出器
２における光点の変位として表示されるので、後置接続
された評価電子回路において、導入された加速度の大き
さを表す光点の変位が評価される。
【００１４】使用状態に応じて光導体４はポリイミドの
ような減衰材料で被覆されている。また光導体４を鋼や
複合材料から成るばね要素に配置することもできる。更
にたわみ長さ（締付け固定され自由に振動できる光導体
の長さ）と光線長さ（光導体の端部と位置検出器との距
離）との比率は、存在する場所的条件に応じて任意に選
択できる。
ような減衰材料で被覆されている。また光導体４を鋼や
複合材料から成るばね要素に配置することもできる。更
にたわみ長さ（締付け固定され自由に振動できる光導体
の長さ）と光線長さ（光導体の端部と位置検出器との距
離）との比率は、存在する場所的条件に応じて任意に選
択できる。
【００１５】また複数の光導体を並べて配置することも
でき、これによって良好な測定結果が得られる。光導体
４を締付け固定した締付け装置３および位置検出器２は
測定対象物に直接取り付けることもできる。
でき、これによって良好な測定結果が得られる。光導体
４を締付け固定した締付け装置３および位置検出器２は
測定対象物に直接取り付けることもできる。
【００１６】図２は力検出器１０を断面図で示してい
る。この力検出器１０は主に、評価電子回路が後置接続
されている感光要素１１および光波導体１３と光源とを
持った力検出体１２から成っている。力検出体１２はた
わみ梁として形成されている変形体１４から成ってい
る。力導入面１６を有する直方体状の力導入体１５を介
して変形体１４に力が導入される。力の導入方向は矢印
１７で示されている。力導入体１５は変形体１４の終端
範囲に配置されている。変形体１４の反対側の終端範囲
に直方体状の第２の力導入体１８が配置されており、そ
の下側面１９は下側力導入面を形成し、この下側力導入
面１９により力検出器はそれを支持する面２０の上に据
え付けられている。直方体状の力導入体１８は例えば概
略的に図示したボルトによってそれを支持する面２０の
上に取り付けられている。
る。この力検出器１０は主に、評価電子回路が後置接続
されている感光要素１１および光波導体１３と光源とを
持った力検出体１２から成っている。力検出体１２はた
わみ梁として形成されている変形体１４から成ってい
る。力導入面１６を有する直方体状の力導入体１５を介
して変形体１４に力が導入される。力の導入方向は矢印
１７で示されている。力導入体１５は変形体１４の終端
範囲に配置されている。変形体１４の反対側の終端範囲
に直方体状の第２の力導入体１８が配置されており、そ
の下側面１９は下側力導入面を形成し、この下側力導入
面１９により力検出器はそれを支持する面２０の上に据
え付けられている。直方体状の力導入体１８は例えば概
略的に図示したボルトによってそれを支持する面２０の
上に取り付けられている。
【００１７】変形体１４の第１の力導入体１５の力導入
面１６と反対側の面に、光源（図示せず）に接続されて
いる光波導体１３が取り付けられている。感光要素１１
が力検出体１２と間隔を隔てて、光波導体１３から出る
光線２１が感光要素１１に当たるように配置されてい
る。感光要素１１は好適には位置検出器として形成され
ている。
面１６と反対側の面に、光源（図示せず）に接続されて
いる光波導体１３が取り付けられている。感光要素１１
が力検出体１２と間隔を隔てて、光波導体１３から出る
光線２１が感光要素１１に当たるように配置されてい
る。感光要素１１は好適には位置検出器として形成され
ている。
【００１８】矢印１７の方向に力が導入された場合、変
形体１４およびこれに取り付けられた光波導体１３が同
じように変形する。この変形は光線経路内に配置された
位置検出器１１上における光点の変位として表示され、
後置接続された評価電子回路で評価される。位置検出器
１１は使用状態および存在する場所的条件に応じて力検
出体１２に対して任意の間隔を隔てて配置されるので、
変形距離の視覚的増強が図れる。
形体１４およびこれに取り付けられた光波導体１３が同
じように変形する。この変形は光線経路内に配置された
位置検出器１１上における光点の変位として表示され、
後置接続された評価電子回路で評価される。位置検出器
１１は使用状態および存在する場所的条件に応じて力検
出体１２に対して任意の間隔を隔てて配置されるので、
変形距離の視覚的増強が図れる。
【００１９】図３は、図２における２個の力検出体１２
が力導入軸線３０に対して対称に配置されている力検出
器を示している。両上側力導入面１６の上にプレート３
１が置かれ、このプレート３１を介して中央に力が導入
される。下側力導入面１９はこれらを一緒に支持する面
２０の上に配置されているので、両力検出体１２間にお
いてプレート３１および力検出体を支持する面２０は内
部室３２を形成している。変形体１４にはそれぞれその
長手方向における中央に孔３３が設けられている。これ
らの孔３３は変形体１４の内部室３２に向いた終端範囲
において変形体１４の下側縁に対して角度を成して延び
ている。両変形体１４の孔３３の中にそれぞれ光波導体
３４が配置されているので、これらの光波導体３４から
出る光線３５は力検出器の内部室３２内で力導入軸線３
０と交差し、それぞれ面２０上に配置された位置検出器
３６に当たる。
が力導入軸線３０に対して対称に配置されている力検出
器を示している。両上側力導入面１６の上にプレート３
１が置かれ、このプレート３１を介して中央に力が導入
される。下側力導入面１９はこれらを一緒に支持する面
２０の上に配置されているので、両力検出体１２間にお
いてプレート３１および力検出体を支持する面２０は内
部室３２を形成している。変形体１４にはそれぞれその
長手方向における中央に孔３３が設けられている。これ
らの孔３３は変形体１４の内部室３２に向いた終端範囲
において変形体１４の下側縁に対して角度を成して延び
ている。両変形体１４の孔３３の中にそれぞれ光波導体
３４が配置されているので、これらの光波導体３４から
出る光線３５は力検出器の内部室３２内で力導入軸線３
０と交差し、それぞれ面２０上に配置された位置検出器
３６に当たる。
【００２０】図４および図５には力検出器４０の別の実
施例が示されている。この力検出器４０の場合、基板４
１上に相対間隔を隔てて直方体状の変形体４２および感
光要素４３が配置されている。力の導入は矢印４４で示
されており、変形体４２の上側力導入面４５で行われ
る。変形体４２にレバー４６が片側で締付け固定されて
おり、そのレバー４６の長手軸線は力導入軸線に対して
垂直な平面内に位置し、レバー４６は感光要素４３の方
向に延びている。レバー４６の長手軸線に対して垂直に
および力導入軸線に対して垂直に延びる軸線内に、ねじ
り棒ばね４７がレバー４６内に支持されている。このね
じり棒ばね４７は両端がそれぞれ基板４１上に配置され
た直方体状の受け要素４８に締付け固定されている。従
ってレバー４６は軸線４９を中心に回転可能に支持さ
れ、その回転軸線４９はレバー４６の締付け個所の近く
に配置されている。レバー４６の自由端においてその下
側面に光導体５０が、光線５１がレバー４６の自由端に
おいて長手軸線の方向に出て、感光要素４３に当たるよ
うに設けられている。矢印４４の方向に力が荷重された
場合、レバー４６は変形体４２の変形に基づいて軸線４
９を中心に回転し、その場合、レバー４６に取り付けら
れた光導体５０は同様に軸線４９を中心に回転される。
光導体から出る光線５１は光線経路内に後置接続された
位置検出器として形成された感光要素４３に衝突する。
力が荷重された際に生ずるレバー４６の回転運動は位置
検出器４３上における光点の変位として表示される。回
転軸線４９の配置に基づいて、締付け個所における変形
距離はレバー４６の自由端における変形距離に増大され
る。
施例が示されている。この力検出器４０の場合、基板４
１上に相対間隔を隔てて直方体状の変形体４２および感
光要素４３が配置されている。力の導入は矢印４４で示
されており、変形体４２の上側力導入面４５で行われ
る。変形体４２にレバー４６が片側で締付け固定されて
おり、そのレバー４６の長手軸線は力導入軸線に対して
垂直な平面内に位置し、レバー４６は感光要素４３の方
向に延びている。レバー４６の長手軸線に対して垂直に
および力導入軸線に対して垂直に延びる軸線内に、ねじ
り棒ばね４７がレバー４６内に支持されている。このね
じり棒ばね４７は両端がそれぞれ基板４１上に配置され
た直方体状の受け要素４８に締付け固定されている。従
ってレバー４６は軸線４９を中心に回転可能に支持さ
れ、その回転軸線４９はレバー４６の締付け個所の近く
に配置されている。レバー４６の自由端においてその下
側面に光導体５０が、光線５１がレバー４６の自由端に
おいて長手軸線の方向に出て、感光要素４３に当たるよ
うに設けられている。矢印４４の方向に力が荷重された
場合、レバー４６は変形体４２の変形に基づいて軸線４
９を中心に回転し、その場合、レバー４６に取り付けら
れた光導体５０は同様に軸線４９を中心に回転される。
光導体から出る光線５１は光線経路内に後置接続された
位置検出器として形成された感光要素４３に衝突する。
力が荷重された際に生ずるレバー４６の回転運動は位置
検出器４３上における光点の変位として表示される。回
転軸線４９の配置に基づいて、締付け個所における変形
距離はレバー４６の自由端における変形距離に増大され
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば力および加速度を測定す
ることができ、検出器あるいは弾性ばね要素に電子部品
あるいは機械・電気変換要素が配置されていないので、
温度補償、容器内への気密の封入および有害な電磁界に
対する遮蔽はいずれも不要である。
ることができ、検出器あるいは弾性ばね要素に電子部品
あるいは機械・電気変換要素が配置されていないので、
温度補償、容器内への気密の封入および有害な電磁界に
対する遮蔽はいずれも不要である。
【図１】加速度の測定装置の概略構成図。
【図２】力検出器の第１の実施例の断面図。
【図３】力検出器の第２の実施例の断面図。
【図４】力検出器の第３の実施例の断面図。
【図５】図４におけるV-V 線に沿った断面図。
２ 位置検出器 ４ 光導体 ６ 光源 １１ 感光要素 １３ 光波導体 １４ 変形体 ３４ 光波導体 ３６ 位置検出器 ４２ 変形体 ４３ 感光要素 ４６ レバー ５０ 光導体
Claims (7)
- 【請求項１】少なくとも１つの弾性ばね要素（４，１
４，４２，４６）が作用し、そのばね変形距離が光学的
手段（２，４，６，１１，１３，３４，３６，４３，５
０）を介して表示され評価され、この光学的手段（２，
４，６，１１，１３，３４，３６，４３，５０）がばね
要素（４，１４，４２，４６）に配置されていることを
特徴とする機械的大きさの測定方法。 - 【請求項２】光学的手段が光源（４，６，１３，３４，
５０）およびそれに付属された位置検出器（２，１１，
３６，４３）を有していることを特徴とする請求項１記
載の方法を実施するための装置。 - 【請求項３】弾性ばね要素がたわみ梁（４，１４）とし
て形成されていることを特徴とする請求項２記載の装
置。 - 【請求項４】光源が少なくとも１つの光導体（４，１
３，３４，５０）となっていることを特徴とする請求項
１ないし３のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項５】光導体（１３，３４，５０）が弾性ばね要
素（１４，４６）に配置されていることを特徴とする請
求項１ないし４のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項６】少なくとも１つの弾性ばね要素が光導体
（４）として形成されていることを特徴とする請求項１
ないし５のいずれか１つに記載の装置。 - 【請求項７】２つのばね要素（４２，４６）が設けら
れ、機械的大きさが第１のばね要素（４２）に作用し、
そのばね変形距離が第２のばね要素（４６）に伝達さ
れ、このばね変形距離が機械的に増大されることを特徴
とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4124685.3 | 1991-07-25 | ||
| DE19914124685 DE4124685A1 (de) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | Verfahren und anordnung zur messung einer mechanischen groesse |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626946A true JPH0626946A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=6437001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31447591A Pending JPH0626946A (ja) | 1991-07-25 | 1991-11-28 | 機械的大きさの測定方法とその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626946A (ja) |
| DE (1) | DE4124685A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4636691B2 (ja) * | 1998-12-31 | 2011-02-23 | キブロン・インコーポレイテッド・オイ | 小さい力と変位を計測するための計測装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19939583A1 (de) * | 1999-02-24 | 2000-09-14 | Siemens Ag | Bragg-Gitter-Vorrichtung zum Messen einer mechanischen Kraft sowie Anwendung und Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung |
| DE10147240A1 (de) * | 2001-09-25 | 2003-04-10 | Rene Baltus | Wägeplattform |
| FR3041761B1 (fr) * | 2015-09-24 | 2019-05-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Capteur physique opto-mecanique a sensibilite amelioree |
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| DE3230615A1 (de) * | 1982-08-18 | 1984-02-23 | Klaus Dipl.-Ing. Bartkowiak (TU), 4690 Herne | Optoelektronische kraftmesseinrichtung |
| DE3403887C2 (de) * | 1984-02-04 | 1986-11-13 | Wolfgang Dr. 7000 Stuttgart Ruhrmann | Sensor |
| DE3939573A1 (de) * | 1989-11-30 | 1991-06-06 | Baldur Dr Ing Barczewski | Sensor zur messung von kraeften und hieraus ableitbaren physikalischen groessen |
-
1991
- 1991-07-25 DE DE19914124685 patent/DE4124685A1/de not_active Ceased
- 1991-11-28 JP JP31447591A patent/JPH0626946A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4636691B2 (ja) * | 1998-12-31 | 2011-02-23 | キブロン・インコーポレイテッド・オイ | 小さい力と変位を計測するための計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4124685A1 (de) | 1992-11-12 |
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