KR900013612A - 두 물체의 연결 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 서로 연결된 두 물체의 투시도,
제 2도는 서로 연결된 후의 두 물체를 도시한 도면,
제 3내지 5도는 본 발명에 따른 제 1방법의 3단계를 도시한 도면,
제 6내지 8도는 제 2방법을 설명하는 도면,
제 9 및 10도는 제 3방법을 설명하는 도면.
Claims (10)
- 반도체 기술에 사용된 것과 같이, 예컨대 절연 물질의 한 슬라이스 및 단결정 반도체 물질의 한 슬라이스와 같은 물체의 연결 방법으로서, 상기 두 물체는 광학적으로 매끄러운 상보 표면으로 제공되어, 이 표면과 함께 서로 접촉되며, 결국 두 물체의 원자 사이에서 원자 결합되도록 구성되는 두 물체의 연결방법에 있어서, 상기 두 물체가 광학적 매끄러운 표면으로 제공된 후, 상기 물체는 이 광학 표면이 서로에 대해 비평행 위치를 갖는위치내에서 서로 국부적으로 접촉되고, 그런 다음, 상기 물체는 광학적으로 매끄러운 표면이 최종 평행한 위치로 서로 접촉될때까지 서로에 대해 움직여지는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법.
- 제 1항의 방법에 있어서, 적어도 하나의 물체는 상기 물체의 광학적으로 매끄러운 표면이 다소 변형되는 힘을 받기 쉬우며, 그런 다음 두 물체는 서로 국부적으로 접촉되어, 결국 변형이 소멸되는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법.
- 광학적으로 매끄러운 직선 표면을 가지는 두 물체를 연결하는 제 2항의 방법에 있어서, 상기 광학 표면이 원통형 표면에 따라 구부러지는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법.
- 광학적으로 매끄러운 직선 표면을 가진 두 물체를 연결하는 제 2항의 방법에 있어서, 상기 광학적으로 매끄러운 표면은 구면의 한호를 따라 블록 굴곡형으로 되는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법.
- 제 2,3 또는 4항의 방법에 있어서, 두 물체 중 적어도 하나는 가스 도관을 구비한 지지부재 상에 설치되며, 상기 물체는 상기 고관내의 부분 진공 발생에 의해 힘을 받기 쉬운 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결방법.
- 제 5항의 방법에 있어서, 상기 가스가 수소인 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법.
- 선행 청구항의 어느 항에 청구된 바와 같은 방법을 실행하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 각 물체에 대한 지지부재를 포함하고, 이 지지부재중 적어도 하나는 다른 하나에 대해 유동적이며, 이 지지부재는 물체에 대한 위치 설정 소자로 제공되는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결방법.
- 제 7항에 장치에 있어서, 각 지지부재는 물체에 대한 지지표면을 구비하며, 상기 가스 도관은 지지표면에서 종결하여, 이 지지표면과 물체 사이에서 발생하는 가스압에 영향을 미치는 가스-배수 장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법을 실행하기 위한 장치.
- 제 7또는 8항의 장치에 있어서, 한 지지부재가 물체에 대한 조립 위치 및 작동 위치를 가지며, 두 위치사이에서 움직이는 회전 및 이동 기계 장치를 갖추고 있으며, 상기 작동 위치가 위치 설정 소자에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법을 실행하기 위한 장치.
- 제 8항의 장치에 있어서, 상기 지지부재가 물체에 대한 블록형의 지지표면을 갖는 것을 특징으로 하는 두 물체의 연결 방법을 실행하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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