KR900001010A - 동(銅)선을 이용한 와이어 본딩 방법 및 장치 - Google Patents

동(銅)선을 이용한 와이어 본딩 방법 및 장치 Download PDF

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KR900001010A
KR900001010A KR1019880008038A KR880008038A KR900001010A KR 900001010 A KR900001010 A KR 900001010A KR 1019880008038 A KR1019880008038 A KR 1019880008038A KR 880008038 A KR880008038 A KR 880008038A KR 900001010 A KR900001010 A KR 900001010A
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KR
South Korea
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wire
bonding method
copper wire
capillary
gas
Prior art date
Application number
KR1019880008038A
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English (en)
Inventor
최완균
김종환
Original Assignee
강진구
삼성반도체통신 주식회사
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내용 없음

Description

동(銅)선을 이용한 와이어 본딩 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 장치의 개략도.
제2도(가)-(마)는 본 발명의 작업 공정도.

Claims (3)

  1. 동선을 이용한 와이어 본딩방법에 있어서, 캐피러리의 중앙 통공을 통하여 동선을 인출하는 제1공정과 인출된 동선에 좌우 개스튜브를 환원개스를 불어주면서 토오치로 열을 가하여 볼을 형성하는 제2공정과, 캐피러리 끝단에 형성된 볼을 환원개스분위기에서 패드에 접함하는 제3공정과, 상기 공정에서 패드에 접합된 와이어를 환원분위기에서 리드프레임측으로 이동하는 제4공정과, 리드 프레임상에 환원 개스 분위기에서 융착하는 제5과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 본딩방법.
  2. 제2항에 있어서, 제2공정에 사용되는 환원개스는 수소(H2)와 질소(N2)의 혼합개스 또는 알곤(Ar)과 수소(H2)의 혼합개스임을 특징으로 하는 와이어 본딩방법.
  3. 와이어 본딩장치에 있어서, 동선을 인출하는 캐피러리(2)의 양단에 개스튜브(3,4)를 설치하고 개스튜브(3,4)중 어느 하나에 선택적으로 맞대어지며 상기 캐피러리(2)하단에 위치하도록 토오치(5)를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 와이어 본딩장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880008038A 1988-06-02 1988-06-30 동(銅)선을 이용한 와이어 본딩 방법 및 장치 KR900001010A (ko)

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DE3915472A DE3915472C2 (de) 1988-06-02 1989-05-11 Bondvorrichtung
JP1127972A JPH0618223B2 (ja) 1988-06-02 1989-05-23 ワイヤーボンダーの酸化防止システム
US07/356,547 US4995552A (en) 1988-06-02 1989-05-23 Anti-oxidation system of a wire bonder using a copper wire
FR898907102A FR2632229B1 (fr) 1988-06-02 1989-05-30 Systeme d'anti-oxydation pour soudeuse de fil utilisant un fil en cuivre
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101131449B1 (ko) * 2011-02-22 2012-04-02 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩장치의 셋업장치

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KR101131449B1 (ko) * 2011-02-22 2012-04-02 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 제조용 와이어 본딩장치의 셋업장치

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