KR890017385A - 진공실로부터 피코우팅체를 삽탈하기 위한 장치 - Google Patents

진공실로부터 피코우팅체를 삽탈하기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

진공실로부터 피코우팅체를 삽탈하기 위한 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 하부 상자 상에 재치된 카세트용 케이스가 구비된 장치의 하부 상자를 경사지도록 절단한 단면도로, 카세트 자체는 하부 상자의 상단벽에 배열된 진공실과 함께 장치의 진공실내에 위치한다. 제2도 내지 제3도는 제1도에 의한 장치로, 각도에서는 서로 다른 운반 과정에 있는 카세트가 도시되어 있다.

Claims (8)

  1. 피코우팅체(23)(23'…)가 피코우팅체지지대(31), 피코우팅체(17)(27)내에 설치되거나, 장치의 배수판(13)에 재치할 수 있는 카세트(11)(11')내에 설치되고, 이때 지지대, 저장소 또는 카세트(11)(11')는 그 하부측면에 열려 있는 케이스(22)에 둘러싸이며, 케이스(22)의 회전하는 가장자리 부분은 장치를 감싸고 있는 하부상자(9)의 상부의 벽(10)에 받쳐지고, 또한 리프트 바아(21)(21'), 리프트 실린더(4)(4'), 운반 활대(5) 및 피스톤 로드(20)(20')의 배수판(13)은 수직 혹은 수평으로 이동할 수 있는 반면에, 케이스(22)는 하부 상자(9)에 촘촘히 얹어지며, 동시에 카세트(11)(11')용 주입구(16)를 폐쇄하고, 그 다음에 하부 상자(9)에 연결된 전공실(17)을 위한 통로(39)에 까지 배수판(13)을 이동시킬 수 있으며, 배수판(13)에 의하여 폐쇄될 수 있다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면 처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 리프트 장치는 수평으로 설치된 레일 또는 피스톤 로드(20)(20')에 미끄럽게 놓인 운반활대(5)로 형성되고, 이때 운반활대(5)는 리프트 실린더(4)(4')를 갖추고 있으며, 리프트 실린더(4)(4')의 피스톤 로드(20)(20') 또는 리프트 바아(21)(21')는 배수판(13)을 받치고, 배수판(13)쪽에는 태피트(24)에 작용하는 전동 장치(3)가 부착되며, 태피트(24)의 비어 있는 단부에는 카세트(11)(11')의 고정에 도움을 주는 받침판(2)이 설치된다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면 처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  3. 제1항과 제2항에 있어서, 하부상자(9)에는 깨끗해진 공기의 흐름(a,b,c)을 위한 배출구(26)가 형성되어 있고, 하부상자(9)는 도관(15)을 거쳐 모우터 송풍관(8)에 접관될 수 있다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면 처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  4. 제3항에 있어서, 리프트 장치 즉 리프트 바아(21)(21'), 리프트 실린더(4)(4'), 운반 활대(5) 및 피스톤 로드(20)(20')는 천공되거나 또는 금속 박판(14)(14')으로 구성된, 하부상자(9)내부에 설치된 케이지(19)에 최소한 부분적으로 둘러싸이고, 이때도관(15)을 거쳐 들어오는 공기의 흐름(a,b,c)은 적어도 케이지(19)를 통과해서 들어올때 층을 형성한다는 것을 특징으로 하는 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  5. 제1항 내지 제4항중 하나 또는 다수의 항에 있어서, 피코우팅체(23)를 고정시키는 카세트(11)를 위하여 하부상자(9)의 상부외벽(10)에 받쳐져 있는 케이스(22)에, 카세트(11)의 하부 측면에 설치된 구멍을 둘러싸고 있는 틀에 끼움부재(40)가 설치되어 있고, 틀에 끼움부재(40)와 안쪽폭은 주입구(16)의 폭에 대략 일치한다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  6. 제1항 내지 제5항중 하나 또는 다수의 항에 있어서, 진공실(17)용 통로(39)가 장치의 하부상자(9)의 상부의 벽(10)에 설치되고, 이때 통로(39)가 안쪽 폭은 배수판(13)의 폭보다 작지만, 카세트(11')의 바닥을 수용하기 위한 받침대(2)의 폭보다는 크다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  7. 제1항 내지 제6항중 하나 또는 다수의 항에 있어서, 진공실(17)은 운반실(32)을 거쳐서 고진공처리실(27)에 연결되고, 이때 한편으로는 운반실(32)과 다른편으로는 진공실(17) 및 고진공처리실(27)사이에 있는 접속구(36)(37)는 밸브체(34)(35)로 폐쇄될 수 있으며, 또한 운반실(32)내에서 운반 아암(30)이, 운반아암(30)에 설치된 피코우팅체 지지대(31)와 함께 선회할 수 있도록 놓여있고, 여기서 피코우팅체 지지대(31)는 한편으로는 카세트(11)로 까지 움직일 수 있고, 다른한편으로는 고진공처리실(27)에 놓여있는 피코우팅체지지 또는 지지볼트(33)(33')까지 움질일 수 있다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
  8. 제1항 내지 제7항중 하나 또는 다수의 항에 있어서, 배수판(13)과 연결된 모우터 전동장치(3)가, 이미 잘 알려져 있는 전기식 접속수단 위로 운반아암(30)이 움직임에 따라, 태피트(24)는 천천히 움직여 나가도록 하고, 이때 진공실(17)의 높이는, 카세트(11)(11')의 맨 아래에 고정된 피코우팅체(23)가 운반아암(30)의 피코우팅체지지대(31)의 선회 영역으로까지 움직일 수 있을 만큼 설치된다는 것을 특징으로 하는, 피코우팅체(23)(23'…)를 진공실(17)속으로, 특히 피코우팅체(23)(23'…)의 표면 처리를 위한 고진공처리실(27)속으로 삽탈하기 위한 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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