KR890013458A - 표면 거칠기 광탐지 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

표면 거칠기 광탐지 방법 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 물질 표면의 거칠기 단면을 광학적으로 탐지하기 위한 광 거칠기 탐색장치의 개략도,

제2도는 장치를 확대해 놓은 광거칠기 탐색장치의 개략도,

제3도는 제2도의 A-A선을 따라 절단한 단면도,

제4도는 물질표면위의 광 비이드가 간헐적으로 주사운동하는 광거칠기 탐색장치를 구체화한 개략도,

제5도는 제4도의 A-A선을 따라 절단한 단면도,

제6도는 이동함 물체들의 평균거칠기를 검사하기 위해 수광장치 뒤에 연결된 평가 및 제어논리 회로의 블록도.

Claims (20)

1. 미세광 비이드가 물질표면위에 발생되고 반사광이 수광장치로 들어갈 때 물질표면에 주사된 각 점에 대해 반사광의 반사각과 각 표면 경사값이 결정되며, 거칠기 단면은 일련의 주시된 점들을 따라 얻어진 경사값으로부터 재구성되며, 반사각을 결정하기 위해 산란된 반사광의 중심방향에서 탐지되며, 거칠기 단면의 재구성이나 주사된 일련의 점들을 따라 단면절단의 재구성은 주사된 일련의 점들을 따라 경사값을 적분하여 얻어짐을 특징으로 하는 표면거칠기 광탐지방법.
2. 제1항에 있어서, 광비이드의 주기적인 주사운동이 물질표면의 운동방향에 횡축으로 발생됨을 특징으로 하는 방법.
3. 상기한 어느 한 항에 있어서, 평균거칠기값 Ra와 평균거칠기 Rz과 같은 거칠기 측정 매개변수들이 재구성된 단면거칠기로부터 이미 알려진 방식으로 형성됨을 특징으로 하는 방법.
4. 상기한 어느 한 항에 있어서, 이동된 물질표면(10)위에 광비이드(14)발생용 레이저 다이오우드(12)와 수광장치(16)의 구성으로, 미리 결정된 반사각범위 내에서 물질표면(10)으로부터 반사된 광을 탐지하는 수강배열(16)은 산란된 반사광의 중심각과 일치하는 한쌍의 출력신호(Ua,Ub)를 전달하기 위해 위치감지수광장치로 연결함을 특징으로 하는 장치.
5. 제4항에 있어서, 수광장치(16)가 물질표면(10)의 운동방향과 평면거울로 생각할 때 물질표면의 반사방향으로 정의된 평면내에서 광비이드(14)둘레에 원호로 배열함을 특징으로 하는 장치.
6. 제5항에 있어서, 수광장치(16)가 원호위에 한줄로 가깝게 뭉쳐서 배열된 많은 광전변화기(20)로 구성함을 특징으로 하는 장치.
7. 상기 제4항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서, 대부분의 렌즈(22)들은 각각의 렌즈가 관련된 변환기 위에 광 비이드(14)의 상을 맺기 위하여 렌즈 뒤에 배치된 광전변환기로 연결되며 원호위에 가깝게 뭉쳐서 배열함을 특징으로 하는 장치.
8. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광전변화기(20)들로 연결된 원호와 렌즈(22)들로 연결된 원호가 약 120°내지 160°의 구경각을 가짐을 특징으로 하는 장치.
9. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광전변화기(20)의 출력 신호들은 저항체인(24)으로 들어가고, 각각의 반사각 내지 중심각에 의존하는 출력신호(Ua,Ub)들은 저항체인 (24)에서 얻을 수 있음을 특징으로 하는 장치.
10. 상기 제6항 내지 제9항의 어느 한 항에 있어서, 광전변환기(20)들은 발광다이오우드임을 특징으로 하는 장치.
11. 상기한 어느 한 항에 있어서, 위치감지회로에서 발광 다이오우드는 광전달자의 출력표면에 배열되어있으나, 광전달자의 끝표면은 관련된 원위에 배열함을 특징으로 하는 장치.
12. 상기한 어느 한 항에 있어서, 출력신호 즉 중심각 내지 반사각에 의존하는 두 부분전압(Ua,Ub)들은 중심각 내지 반사각의 측정된 값을 직접 형성하기 위해 전기평가회로로 들어감을 특징으로 하는 장치.
13. 상기한 어느 한 항에 있어서, 전기 평가회로(18)가 중심각 내지 반사각으로 부터 표면 경사값을 형성시키기 위한 수단을 포함하며, 경사값으로부터 거칠기 단면을 재구성하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 장치.
14. 제13항에 있어서, 전기평가회로(18)가 재구성된 거칠기단면으로부터 평균거칠기값(Ra)와 평균거칠기 깊이(Rz)과 같은 거칠기 측정 매개변수들을 형성시키기 위한 수단들을 포함함을 특징으로 하는 장치.
15. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광원은 레이저, 특히 레이저 다이오우드(12)임을 특징으로 하는 장치.
16. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광원의 광비이드 방사 지역은 왜상광학시준계에 의해 무한대에서 상이 맺히고, 다른 렌즈나 대물렌즈(34,36)에 의해 물질표면위에 다음에 상이 맺혀짐을 특징으로 하는 장치.
17. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광섬유로 연결된 레이저 다이오우드가 사용되며, 광섬유의 외부표면은 렌즈나 광학반사계의 의해 물질표면(10)에서 상이 맺힘을 특징으로 하는 장치.
18. 상기한 어느 한 항에 있어서, 광비이드(14)가 광전변환기(20)와 연결된 원호를 갖는 평면내에서 물질표면(10)위를 주기적으로 앞뒤로 움직일 수 있음을 특징으로 하는 장치.
19. 제18항에 있어서, 광학시준계(32)에서 발생한 평행광선은 일정한 각 속도에서 굴절되고 텔레센트릭 Fθ-대물렌즈(36)에 의해 물질표면에 일정한 속도와 일정한 입사각에서 움직이는 광비이드(14)로 전환됨을 특징으로 하는 장치.
20. 상기한 어느 한 항에 있어서, 주기적으로 앞뒤로 움직이는 광비이드(14)의 굴절속도는 광비이드에 수직으로 이동한 물질표면(10)의 속도보다 빠름을 특징으로 하는 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.