KR890007377A - 수중처리 가능한 진공처크 - Google Patents

수중처리 가능한 진공처크 Download PDF

Info

Publication number
KR890007377A
KR890007377A KR1019880013603A KR880013603A KR890007377A KR 890007377 A KR890007377 A KR 890007377A KR 1019880013603 A KR1019880013603 A KR 1019880013603A KR 880013603 A KR880013603 A KR 880013603A KR 890007377 A KR890007377 A KR 890007377A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vacuum chuck
cavity
gas
head
liquid
Prior art date
Application number
KR1019880013603A
Other languages
English (en)
Other versions
KR920006898B1 (ko
Inventor
쓰도무 오가와
Original Assignee
야마모도 다꾸마
후지쓰 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 야마모도 다꾸마, 후지쓰 가부시끼가이샤 filed Critical 야마모도 다꾸마
Publication of KR890007377A publication Critical patent/KR890007377A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR920006898B1 publication Critical patent/KR920006898B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T279/00—Chucks or sockets
    • Y10T279/11—Vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

수중처리 가능한 진공처크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 액체내에서의 동작을 개략 도시하고 있는 본 발명에 의한 진공처크의 부분절개도.
제1(a)도는 처크가 액체내에 침지되어 있으나 액체-가스 분리막에 의해서 멈춘상태를 나타낸 도.
제1(b)도는 처크가 배기되어 웨이퍼가 처크에 흡착된 상태를 나타낸 도.
제2도는 본발명에 의한 진공처크의 기본구성을 나타낸 도.
제3도는 본 발명에 의한 진공보지 장치의 각 동작단계의 개략도.
제3(a)도는 처크가 액체중에 잠길 때의 상태를 나타낸 도.
제3(b)도는 처크내의 액체가 압축공기에 의해서 빠진 상태를 나타낸 도.
제3(c)도는 처크가 흡기기에 의해서 배기되어 웨이퍼가 처크의 개방부에 흡착될 때의 상태를 나타낸 도.

Claims (9)

  1. 보지대상물을 처크로부터 쥐거나 놓기 위하여 진공처크를 배기하거나 가압하는 공기시스템에 의해서 동작되는 진공처크에 있어서, 대상물을 보지하기 위한 헤드, 호울더내에 형성된 공동, 상기 헤드를 향해서 상기 대상물을 흡착시키기 위하여 상기 헤드상에 형성되고 상기 공동에 연결되 입구, 상기 헤드를 지지하기 위한 호울더, 상기 진공처크를 상기 공기시스템에 연결하기 위하여 상기 호울더상에 제공된 연결수단, 상기 호울더내에 형성되고 상기 공동을 상기 튜브에 연결하기 위한 마니폴드, 액체와 가스의 혼합물로 된 액체로부터 가스를 분리시키기 위하여 상기 공동과 상기 마니폴드 또는 상기 공동과 상기 입구와의 사이에 걸쳐있는 액체-가스 분리막으로 구성되는 수정처리 가능한 진공처크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 액체-가스 분리막이 가스분자는 통과시키나 액체는 통과시키지 않는 복수의 가는 구멍을 갖는 막으로 구성되는 수중처리 가능한 진공처크.
  3. 제1항에 있어서, 상기 입구가 상기 헤드의 저면 상에 형성되는 수중처리 가능한 진공처크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 입구가 상기 헤드의 측벽상에 형성되는 수중처리 가능한 진공처크.
  5. 보지대상물을 처크로부터 쥐거나 놓기 위하여 진공처크를 배기하거나 가압하는 공기시스템에 의해서 동작되고 서로 병렬로 비치된 복수의 진공처크를 갖고 있는 진공처크 장치에 있어서, 대상물을 보지하기 위한 헤드, 상기 호울더내에 형성된 공동, 상기 공동에 연결되고 상기 헤드를 향해서 상기 대상물을 흡착시키기 위하여 상기 헤드의 측벽상에 형성되는 입구, 상기 헤드를 지지하기 위한 호울더, 상기 진공처크를 상기 공기 시스템에 연결하기 위하여 상기 호울더상에 제공되는 연결수단, 상기 공동을 상기 연결튜브로 연결하기 위하여 상기 호울더내에 형성되는 마니폴드, 상기 공동과 상기 마니폴드의 사이 또는 상기 공동과 상기 입구사이에 걸쳐있고, 액체와 가스가 혼합된 액체로부터 가스를 분리시키기 위한 액체-가스 분리막으로 구성되는 수중처리 가능한 진공처크.
  6. 제5항에 있어서, 상기 액체-가스 분리막에 가스분자는 통과시키고 액체는 통과시키지 않는 복수의 가는 구멍을 갖는 막으로 구성되는 수중처리 가능한 진공처크.
  7. 대상물을 보지하기 위한 헤드, 호울더내에 형성되는 공동, 상기 공동에 연결되고 상기 대상물을 헤드를 향해서 흡착시키기 위하여 상기 헤드상에 형성된 입구, 상기 헤드를 지지하기 위한 홀더, 상기 진공처크를 상기 공기시스템에 연결시키기 위하여 상기 호울더상에 제공되는 연결수단, 상기 공동을 상기 연결 튜브에 연결시키기 위하여 상기 호울더내에 형성되는 마니폴드, 상기 공동과 상기 마니폴드사이에 또는 상기 공동과 상기 입구사이에 걸쳐있고 액체와 가스가 혼합된 액체로부터 가스를 분리시키기 위한 액체-가스 분리막으로 구성되는 진공처크로부터 대상물을 쥐거나 놓기 위하여 상기 진공처크를 배기 또는 가압하기 위한 공기시스템을 포함하는 수중처리 가능한 진공처크 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 공기시스템이 상기 진공처크를 배기하기 위한 흡기기, 상기 진공처크로 압축가스를 보내기 위한 압축가스수단, 상기 진공처크와 상기 흡기기 및 상기 압축가스 수단사이에 연결되고 상기 진공처크를 상기 흡기기로 또는 압축가스 수단으로 절환연결시키기 위한 절환밸브를 포함하는 수중처리 가능한 진공처크 시스템.
  9. 제7항에 있어서, 상기 액체-가스 분리막이 가스분자는 통과시키나 액체는 통과시키지 않는 복수의 가는 구멍을 갖는 막으로 구성되는 수중처리 가능한 진공처크 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880013603A 1987-10-22 1988-10-19 수중처리 가능한 진공 처크 KR920006898B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62-267119 1987-10-22
JP62267119A JPH01281231A (ja) 1987-10-22 1987-10-22 試料保持装置
JP87-267119 1987-10-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR890007377A true KR890007377A (ko) 1989-06-19
KR920006898B1 KR920006898B1 (ko) 1992-08-21

Family

ID=17440333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880013603A KR920006898B1 (ko) 1987-10-22 1988-10-19 수중처리 가능한 진공 처크

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4858975A (ko)
EP (1) EP0312924B1 (ko)
JP (1) JPH01281231A (ko)
KR (1) KR920006898B1 (ko)
DE (1) DE3880423T2 (ko)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2656598B1 (fr) * 1989-12-29 1992-03-27 Commissariat Energie Atomique Dispositif de chargement et de dechargement d'objets plats dans une cassette de rangement.
JPH03273663A (ja) * 1990-03-23 1991-12-04 Canon Inc 基板保持装置
EP0554592B1 (en) * 1992-02-04 1995-12-13 House Food Industrial Co., Ltd. A suction-type robot hand
DE4404189C1 (de) * 1994-02-10 1995-05-11 Deutsche Aerospace Spannvorrichtung für rotationssymmetrische Hohlladungen
US5622400A (en) * 1995-06-07 1997-04-22 Karl Suss America, Inc. Apparatus and method for handling semiconductor wafers
US6342434B1 (en) * 1995-12-04 2002-01-29 Hitachi, Ltd. Methods of processing semiconductor wafer, and producing IC card, and carrier
KR100192959B1 (ko) * 1995-12-30 1999-06-15 윤종용 웨이퍼의 이동장치
US5783754A (en) * 1996-02-28 1998-07-21 Integrated Device Technology, Inc. Apparatus and method for measuring the gripping strength of a vacuum wand
US6074609A (en) * 1996-04-24 2000-06-13 Glaxo Wellcome Inc. Systems for arraying beads
JP3679871B2 (ja) * 1996-09-04 2005-08-03 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置及び搬送ロボット
US6151973A (en) * 1999-01-29 2000-11-28 Glaxo Wellcome Inc. Bead picking apparatus and method
US6494021B1 (en) * 1999-02-18 2002-12-17 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Contact lens transfer and material removal system
US6471917B1 (en) 2000-04-11 2002-10-29 Affymax, Inc. System and method for single or multiple bead distribution with an adjustable capillary
DE50113136D1 (de) * 2000-06-08 2007-11-29 Bosch Gmbh Robert Greifvorrichtung zum Erfassen von Gegenständen und Verfahren zum Betreiben derselben
US6312031B1 (en) * 2000-06-10 2001-11-06 Charles L. Norton, Jr. Device for retrieving an object in a fluid and method therefor
JP3787520B2 (ja) * 2000-12-28 2006-06-21 キヤノン株式会社 構造体の製造方法およびその製造装置
US6592325B2 (en) * 2001-06-25 2003-07-15 Industrial Technology Research Institute Air-suspended die sorter
US6561744B2 (en) * 2001-08-10 2003-05-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Wafer blade for wafer pick-up from a water tank and method for using
US20030062734A1 (en) * 2001-10-02 2003-04-03 Faris Sadeg M. Device and method for handling fragile objects, and manufacturing method thereof
US6736408B2 (en) * 2002-01-25 2004-05-18 Applied Materials Inc. Rotary vacuum-chuck with venturi formed at base of rotating shaft
KR20040001423A (ko) * 2002-06-28 2004-01-07 삼성전자주식회사 웨이퍼 이송장치의 로봇 암 청소장치
KR101446724B1 (ko) * 2007-04-23 2014-10-07 한미반도체 주식회사 반도체 패키지용 흡착 패드
ITBO20070385A1 (it) * 2007-05-31 2008-12-01 Sacmi Unita' per la presa di manufatti ceramici od assimilabili.
US8122776B2 (en) * 2008-06-13 2012-02-28 Fox Michael A Handheld vacuum test fixture and method of monitoring vacuum cup differential pressure
EP2296168A1 (en) * 2009-09-09 2011-03-16 Kulicke & Soffa Die Bonding GmbH Tool for picking a planar object from a supply station
JP6377480B2 (ja) * 2014-09-30 2018-08-22 Hoya株式会社 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及びインプリントモールドの製造方法
CN106298618A (zh) * 2015-06-26 2017-01-04 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 晶片传输装置
CN106891183A (zh) * 2015-12-18 2017-06-27 有研半导体材料有限公司 一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法
CN105836462B (zh) * 2016-05-13 2018-01-26 安正时尚集团股份有限公司 自动装卸料装置
CN114044382A (zh) * 2021-11-09 2022-02-15 深圳市捷创自动化设备有限公司 一种用于电动车电池的自动配对系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2812061A (en) * 1953-11-24 1957-11-05 William T Pfister Automatic, pneumatic (pressure-vacuo), object sorting machine
GB1054966A (ko) * 1964-04-24
US3999795A (en) * 1975-12-17 1976-12-28 American Chain & Cable Company, Inc. Vacuum pad system
US4603897A (en) * 1983-05-20 1986-08-05 Poconics International, Inc. Vacuum pickup apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
EP0312924B1 (en) 1993-04-21
JPH01281231A (ja) 1989-11-13
US4858975A (en) 1989-08-22
EP0312924A3 (en) 1990-08-08
DE3880423T2 (de) 1993-08-05
EP0312924A2 (en) 1989-04-26
KR920006898B1 (ko) 1992-08-21
JPH0378340B2 (ko) 1991-12-13
DE3880423D1 (de) 1993-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890007377A (ko) 수중처리 가능한 진공처크
EP0273267B1 (en) Method of separating a particular component from its liquid solution
CA2171142A1 (en) Planar Solid-State Membrane Module
ATE261759T1 (de) Anordnung zur entfernung von wasserdampf aus unter druck befindlichen kohlenwasserstoff enthaltenden gasen oder gasgemischen
HUT63785A (en) Membrane for isolating virus from solutions
ES8608914A1 (es) Procedimiento para producir una membrana tensa compuesta de un sustrato microporoso, una capa intermedia y una pelicula polimerizada, particularmente de poliuretano.
ES363672A1 (es) Perfeccionamientos en la construccion de intercambiadores gas-liquido.
IL97624A0 (en) Selective separation of gases by means of high pressure facilitated membranes
JP3999423B2 (ja) 液体膜による炭酸ガス分離・除湿方法およびその装置
EP0390392A3 (en) Separation of gas mixtures
ATE45589T1 (de) Membrantrennverfahren und vorrichting zur abtrennung von fluessigkeiten aus fermentationssuspensionen.
IT1183143B (it) Metodo per impregnare legno e apparato per l' attuazione del metodo
ES2001144A6 (es) Procedimiento para separar por pervaporacion mezclas de liquidos vapores o vapores y gases
JP2002186838A (ja) 浸漬型膜分離装置
JPS63130107A (ja) 自動脱気装置
JPH0699018A (ja) 膜式極性ガス分離装置
CN220276695U (zh) 透析装置
SU1581354A1 (ru) Составна жидка мембрана дл разделени газовых смесей
JP2507597Y2 (ja) 溶存酸素除去装置
JPS55121806A (en) Deaerator
JPH0365213A (ja) 窒素濃縮装置
JPH078760A (ja) 浸透気化装置
JPH10117767A (ja) 浸透式薬剤添加型細胞培養容器
JP2023091427A (ja) 分離膜モジュール、分離膜システム及び液体処理方法
JP2000117278A (ja) 膜式生物処理方法、および膜式生物処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19970812

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee