KR890003981A - 할로겐을 함유하는 카본재료 및 그의 침착 방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

할로겐을 함유하는 카본재료 및 그의 침착 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 도전성 및 NF3율 사이의 관계를 보여주는 도표, 제2도는 본 발명에 따른 전도성 및 NF3율 사이의 관계를 보여주는 도표, 제3도는 본 발명에 따른 비커 경도 및 NF3율사이의 관계를 보여주는 도표.

Claims (13)

  1. 주로 카본으로 이루어진 재료를 침착시키는 방법에 있어서, 반응 챔버내에 목적물을 배치하고, 카본 혼합 가스를 상기 반응 챔버속으로 도입하고, 상기 카본 혼합 가스를 분해시켜서 상기 목적물의 표면상에 분해물중 카본 생성물을 침착시키기 위해 상기 반응 챔버로 동력을 입력시키며, 여기서 할로겐 혼합 가스가상기 카본속으로 더이상 도입되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 할로겐 혼합 가스는 불소 혼합 가스인 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 입력은 초단파 동력인 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 초단파의 주파수는 500MHz 보다 더 낮은 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 카본 혼합 가스는 수소 또는 가스 상태의 산화물로 희석되거나 또는 수소 또는 가스 상태의 산화물과 함께 도입됨을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 촉매 가스가 수소 또는 가스 상태의 산화물로 희석되거나 또는 수소 또는 가스 상태의 산화물과 함게 도입됨을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 반응 챔버는 상기 초단파 에너지의 증식 방향에서 실제로 자장에 노출됨을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 피복되는 목적물은 유리, 금속, 세라믹 또는 유기성 수지로 만들어짐을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 입력은 고주파수 전기 전압인 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 카본 침착을 수행하는 방법에 있어서, 피복된 목적물을 반응 챔버내에 배치하고, 카본 혼합 가스 및 할로겐 혼합 가스를 상기 반응 챔버속으로 도입하고, 상기 카본 혼합 가스를 분해하고 상기 목적물의 표면상에 분해물중 카본 생성물을 침착시키기 위해 상기 반응 챔버로 전기 에너지를 입력시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 유리, 금속, 세라믹 또는 유기성 수지로 만들어진 표면상에 형성된 카본 코팅에 있어서, 상기 카본
  12. 제11항에 있어서, 상기 불소의 밀도는 코팅의 두께를 가로질러 불균일함을 특징으로하는 카본 코팅.
  13. 제12항에 있어서, 할로겐 원자를 구성함을 특징으로 하는 카본 코팅.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880010194A 1987-08-10 1988-08-10 할로겐을 함유하는 카본 재료 및 그의 침착방법 KR930001013B1 (ko)

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