KR880011891A - 이온빔 조사장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명에 의한 조사장치의 제1실시예를 표시하는 개략 구성도,
제2도는 상기 실시예에 의한 중화기를 표시하는 구성도,
제3도는 이 발명의 제2실시예에 의한 중화기를 표시하는 단면적 구성도.
Claims (5)
- 가속된 이온빔을 시료에 조사하는 이온빔 조사장치에 있어서, 상기 이온빔에 열전자를 공급하는 전자 방출원과, 이 전자방출원에서 방출된 전자를 상기 시료방향으로 드리프트시켜 상기 시료의 표면부에서 이온을 중화시키는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 이온빔 조사장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 전자방출원에서 발생한 전자를 이온빔 궤도로 향하여 인출하는 전자 인출수단과, 인출된 전자의 에너지를 제어하는 전자에너지 수단과, 상기 전자방출원에서 발생한 전자가 외부로 확산하는 것을 방지하는 제1확산수단과 그리고 상기이온빔 궤도에 인출되어 이온빔에 사출된 전자가 상기 이온빔 진행방향과 역방향으로 확산하는 것을 방지하는 제2확산방지수단을 포함한 것을 특징으로 하는 이온빔 조사장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전자방출원, 전자인출수단, 전자에너지 제어수단은 상기 전자에너지에 의하여 감속된 전자가 상기 시료측으로 지향하는 성분을 보유하도록 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이온빔 조사장치.
- 제2항에 있어서, 제어수단에는 상기이온빔의 조사에 의하여 상기 시료에서 방출하는 2차전자를 상기 시료에 정류(停留)시키도록 상기 시료의 주위를 부전위로 포위하는 2차전자 전류수단을 설치한 것을 특징으로 하는 이온빔 조사장치.
- 제1항에 있어서, 전자방출원을 복수개로 분할된 필라멘트로 된 것을 특징으로 하는 이온빔 조사장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (15)
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JP62055303A JPS63224139A (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 | イオンビ−ム照射装置 |
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Family
ID=27463185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019880002397A KR910006161B1 (ko) | 1987-03-12 | 1988-03-08 | 이온빔 조사장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR910006161B1 (ko) |
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1988
- 1988-03-08 KR KR1019880002397A patent/KR910006161B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR910006161B1 (ko) | 1991-08-16 |
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