KR880008414A - 실리콘 단결정 성장(Pulling-up)장치 - Google Patents

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KR880008414A
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스이쯔 마쯔오
가즈오 이또
다쯔오 노자와
마사유끼 사이또
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히요시 준이찌
도시바 세라믹스 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음.

Description

실리콘 단결정 성장(Pulling-up)장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 열절연 실린더의 한 실시예를 구비한 실리콘 단결정 성장 장치에 대한 수직 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 제1열절연실린더에 대한 한 실시예의 횡단면도.
제3도는 본 발명에 따른 제1열절연 실린더에 대한 실시예의 횡단면도.

Claims (6)

  1. 용융 실리콘 물질이 담기는 석영제 도가니; 상기 도가니 내의 실리콘 물질을 가열시키기 위해 상기 도가니를 둘러싸도록 배치된 탄소제 환상 가열기; 얇은 실린더 형상으로 권취한 탄소섬유를 성형시켜 제조되고 상기 도가니와 가열기 사이에서 도가니를 둘러싸도록 배치된 가스차폐 실린더가 포함되는 실리콘 단결정성장장치.
  2. 용융 실리콘 물질이 담기는 석영제 도가니; 상기 도가니 내의 실리콘 물질을 가열시키기 위해 상기 도가니를 둘러싸도록 배치된 탄소제 환상 가열기; 얇은 실린더 형상으로 권치한 탄소섬유를 성형시켜 제조되고 상기 도가니와 가열기 사이에서 도가니를 둘러싸도록 배치된 가스차폐 실린더; 상기 가열기를 둘러싸도록 배치된 열절연 물질로 만든 실린더형 열절연 실린더가 포함되는 실리콘 단결정 성장장치.
  3. 제2항에 있어서, 측면 모서리에서 서로 연결되어 실린더 형상으로 조립된 다수의 판상부재로 상기 열절연 실린더가 구성되는 실리콘 단결정 성장장치.
  4. 제2항에 있어서, 그 원주면에서 서로 접촉되어 실린더 형상으로 조립되는 다수의 관상부재로 상기 열절연 실린더가 구성되는 실리콘 단결정 성장장치.
  5. 제2항에 있어서, 실린더 형상으로 귄취한 탄소 섬유를 성형시켜서 제조된 복합 탄소재로 상기 열절연 실린더가 구성되는 실리콘 단결정 성장장치.
  6. 제2항에 있어서, 탄소섬유로 제조된 직물로 다중층의 실린더형으로 귄취한 실린더형 부재와 이 실린더형 부재의 내측표면과 밀착시킨 권취 탄소섬유로 제조한 하나 이상의 실린더형 복합 탄소재로 상기 열절연 실린더가 구성되는 실리콘 단결정 성장장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870015147A 1986-12-26 1987-12-26 실리콘 단결정 성장(Pull-up)장치 KR910009131B1 (ko)

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