KR880001689Y1 - 마그네트론용 세라믹 절연체의 구조 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

마그네트론용 세라믹 절연체의 구조

제1도는 종래의 마그네트론의 종단면도.

제2도는 종래의 세라믹 절연체와 그 메탈라이징 상태도.

제3도는 본 고안의 세라믹 절연체와 그 메탈라이징 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

6 : 세라믹 절연체 6-1,6-1' : 환형돌기

7 : 기밀봉착용 금속 13-1 : 불필요한 메탈라이즈층

본 고안은 마그네트론의 배기관조를 구성하는 출력측 세라믹 절연체의 구조 개선에 관한 것이다.

마그네트론의 작용공간은 10-6토르(Torr)이하의 진공도가 유지되어야 하므로, 배기관조의 출력측 세라믹 절연체는 내열금속분말 소결법에 의해 메탈라이즘(Metalliae)되어 출력측 기밀봉착용 금속에 기밀봉착되어 지는데 이때 기밀봉착용 금속에 접하는 세라믹 절연체의 상부 및 하부 단면뿐만 아니라, 그 내주면 까지도 메탈라이징 되는 경우가 종종 있다.

본 고안은 출력측 세라믹 절연체의 구조를 개선하여 상부 및 하부 단면의 내주면이 메탈라징 되는 것을 방지함으로써, 수명 연장과 신뢰성 있는 마그네트론을 제공하는데 그 목적이 있다.

제1도는 종래의 마그네트론의 개략적인 종단면도이다.

동도면에서(1)은 원통형 애노드(Anode), (2)는 애노드(1)의 내벽으로 부터 원통의 중심에 위치한 캐소우드(3)방향으로 돌출된 판상의 베인(Vane), (4)(5)는 애노드(1)의 양단에 위치한 자극편, (6)은 Kovar합금으로 구성된 출력측 기밀봉착용 금속(7)에 의해 지지되고 있는 출력측 세라믹 절연체, (8)은 출력측 세라믹 절연체(6)의 상단에 기밀봉착된 기밀 봉착용 금속(7)에 납땜 접합된 동배기관으로서, 물컵을 뒤집어 놓은 형태의 금속뚜껑(9)에 의해 보호되고 있다.

(10)은 안테나 도선으로서 한쪽끝은 베인(2)에 다른 한쪽끝은 동배기관(8)의 천정에 압접 용접되어 있으며, 베인(2)과 캐소우드(3)사이의 작용 공간에서 발생하는 마이크로파 에너지를 도파관(도면에 명시되어 있지 않음)으로 전달 시킨다.

(11)은 입력측 기밀봉착용 금속, (12)는 입력측 세라믹 절연체로 캐소우드(3)를 지지하고 있다. 제1도와 같은 종래의 마그네트론에서 출력측 세라믹 절연체(6)는 내열금속 분말소결법에 의해 메탈라이즈 되어 출력측 기밀봉착용금속(7)에 기밀봉착되는데, 그 확대한 메탈라이즈된 단면은 제2도와 같다.

출력측 세라믹 절연체 (6)와 출력측 기밀봉착용 금속(7)을 접할할시에 세라믹 절연체(6)의 하부단면에 먼저 20-30㎛의 두께로 몰리브테(Mo)분말을 사용하여 메탈라이즈층(13)을 형성하여 소결한후, 그 위에 4±2㎛의 두께로 니켈(Ni) 도금(14)을 실시한다.

이것은 메탈라이징된 세라믹 절연체(6)의 하부단면을 산화로 부터 보호하고 아울러 Ag-Cu 합금으로 구성된 땝납재(15)의 유동성을 좋게 하는데 그 목적이 있다.

상술한 종래의 메탈라이징에서는 세라믹 절연체(6)와 기밀봉착용 금속(7)의 기밀봉착시 메탈 라이즈층(13)을 형성하고 있는 세라믹 절연체(6)의 하부 단면외에 그 내주면에도 불필요한 메탈라이즈층(13-1)이 불규칙하게 형성되는 경우가 종종 있다.

이러한 불필요한 메탈라이즈층(13-1)에는 안테나도선(10)과 자신과의 큰마이크로파 전압치에 의해 마이크로파 전기장이 집중 될뿐 아니라, 특히 돌출이 심한 불필요한 메탈라이즈층(13-1)이 국부가 열하여 세라믹 절연체(6)에 균열을 유발 시키거나 혹은 열응력을 받게 하여 기계적 강도를 약화시키는 등의 단점이 있다.

본 고안에서는 이와같은 단점을 없애기 위하여 종래의 세라믹 절연체(6)의 상부 및 하부 단면에 제3도와 같이 일정한 높이와 폭을 갖는 환형돌기(6-1)(6-1')를 형성하였는데, 이때 환형돌기(6-1)(6-1')의 외경은 기밀봉착용 금속(7)의 내경 보다 조금 작거나 일치 하도록 하며, 돌출부(6-1')의 높이는 메탈라이즈층(13)+니켈도금층(14)+납땜층(15)의 두께를 넘도록 예를들어 1㎜ 정도로 해준다.

본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다. 세라믹 절연체(6)의 상부 및 하부단면에 환형돌기(6-1)(6-1')을 형성함으로써, 메탈라이즈층(13)은 환형돌기(6-1)(6-1')의 외주면에 접한채 세라믹 절연체(6)의 상부 및 하부단면에 만 형성되고 그 내주면에는 불필요한 메탈라이즈층(13-1)이 흘러들지 않아, 마이크로파 전기장이 세라믹 절연체 (6)의 상부 및 하부단면의 내주면의 어느 한곳에 집중하여 국부가 열을 일으키던 종래의 단점을 제거할수 있으며, 세라믹 절연체(6)의 균열이나 열응력을 배제할 수 있어 긴 수명을 갖는 신뢰성 있는 마그네트론을 제공할수 있는 장점이 있다.

Claims (1)

1. 입출구에 세라믹 절연체가 설치되는 마그네트론에 있어서, 출력측 기밀봉착용 금속(7)에 접착되는 세라믹 절연체(6)의 상하단에 환형돌기(6-1)(6-1')를 돌출 성형되게하여 불필요한 메탈라이즈층(13-1)이 형성되는 것을 방지하게한 마그네트론용 세라믹 절연체의 구조.