KR860002418A - 내산화성 탄소체 및 이것의 제조방법 - Google Patents
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내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (19)
- 탄소체를 약 1500℃의 온도로 가열하고, 탄소체를 가스상 보론 옥사이드와 접촉시켜 탄소체의 표면을 에칭시킴으로써 탄소체의 원래 부피의 약 50%까지 공극 부피를 갖는 예정 깊이의 간극을 형성하고, 탄소체의 간극을 실리콘 또는 실리콘 합금으로 충진시켜 상기 공급 부피를 메우는 단계로 구성되는, 내산화성 탄소체를 제조하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 탄소체는 진공 챔버에서 가열되고 에칭되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 탄소체를 가스상 보론 옥사이드와 반응시켜 탄소체의 표면 및 표면 아래에 보론 카바이드 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금을 상기 보론 카바이드와 반응시켜 실리콘 카바이드 및 실리콘 보라이드로 구성된 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 간극을 실리콘 및 크롬, 알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 바나듐, 컬럼븀, 탄탈륨, 텅그스텐 또는 몰리브덴으로 부터 선택된 적어도 하나의 원소의 합금으로 충전시키는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 합금제는 치환 반응에 의해 도입되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 액체 상태의 보론 옥사이드를 기화시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 할라이드와 산화공급원 가스의 가스상 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 트리클로라이드 및 스팀의 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 트리클로라이드, 이산화탄소 및 수소의 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금을 실리콘 또는 실리콘 합금의 융점보다 더 높은 온도에서 증착되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금이 이것의 융점보다 더 낮은 온도에서 증착된 후, 액체 실리콘 또는 액체 실리콘 합금을 간극속으로 도입시키기 위해 온도를 상승시키는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 금속 또는 반금속 또는 금속 합금 또는 반금속 합금의 상부 피복은 충진된 탄소체상에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제13항에 있어서, 상기 상부 피복은 실리콘 카바이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서, 실리콘 카바이드 상부 피복의 증착전에, 붕소를 함유한 내부층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 탄소체의 예정 깊이까지에 에칭되고 충진된 표면층을 함유한 탄소체로 구성되며, 상기 표면층은 실리콘 카바이드 및 실리콘 보라이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
- 제16항에 있어서, 상기층은 카바이드 또는 보라이드로서 크롬, 알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 바나듐, 컬럼븀, 탄탈륨, 텅그스텐 및 몰리브덴으로 부터 선택된 하나 또는 하나 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
- 제16항에 있어서, 실리콘 카바이드로 구성된 상부 피복이 포함되는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
- 제18항에 있어서, 붕소를 함유한 내부층이 상기 실리콘 카바이드 상부 피복과 나머지의 내산화성 탄소체 사이에 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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