KR860002418A - 내산화성 탄소체 및 이것의 제조방법 - Google Patents

내산화성 탄소체 및 이것의 제조방법 Download PDF

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KR860002418A KR1019850006933A KR850006933A KR860002418A KR 860002418 A KR860002418 A KR 860002418A KR 1019850006933 A KR1019850006933 A KR 1019850006933A KR 850006933 A KR850006933 A KR 850006933A KR 860002418 A KR860002418 A KR 860002418A
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에이. 홀즐 로버트
이. 베난데르 로버트
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제임스 에이치. 애거
에어 프러덕츠앤드 케미칼스 인코오포레이티드
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Abstract

내용 없음

Description

내산화성 탄소체 및 이것의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (19)

  1. 탄소체를 약 1500℃의 온도로 가열하고, 탄소체를 가스상 보론 옥사이드와 접촉시켜 탄소체의 표면을 에칭시킴으로써 탄소체의 원래 부피의 약 50%까지 공극 부피를 갖는 예정 깊이의 간극을 형성하고, 탄소체의 간극을 실리콘 또는 실리콘 합금으로 충진시켜 상기 공급 부피를 메우는 단계로 구성되는, 내산화성 탄소체를 제조하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 탄소체는 진공 챔버에서 가열되고 에칭되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 탄소체를 가스상 보론 옥사이드와 반응시켜 탄소체의 표면 및 표면 아래에 보론 카바이드 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금을 상기 보론 카바이드와 반응시켜 실리콘 카바이드 및 실리콘 보라이드로 구성된 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 간극을 실리콘 및 크롬, 알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 바나듐, 컬럼븀, 탄탈륨, 텅그스텐 또는 몰리브덴으로 부터 선택된 적어도 하나의 원소의 합금으로 충전시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 합금제는 치환 반응에 의해 도입되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 액체 상태의 보론 옥사이드를 기화시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 할라이드와 산화공급원 가스의 가스상 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 트리클로라이드 및 스팀의 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 보론 옥사이드는 보론 트리클로라이드, 이산화탄소 및 수소의 혼합물에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금을 실리콘 또는 실리콘 합금의 융점보다 더 높은 온도에서 증착되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 또는 실리콘 합금이 이것의 융점보다 더 낮은 온도에서 증착된 후, 액체 실리콘 또는 액체 실리콘 합금을 간극속으로 도입시키기 위해 온도를 상승시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 금속 또는 반금속 또는 금속 합금 또는 반금속 합금의 상부 피복은 충진된 탄소체상에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 상부 피복은 실리콘 카바이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 실리콘 카바이드 상부 피복의 증착전에, 붕소를 함유한 내부층을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 탄소체의 예정 깊이까지에 에칭되고 충진된 표면층을 함유한 탄소체로 구성되며, 상기 표면층은 실리콘 카바이드 및 실리콘 보라이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
  17. 제16항에 있어서, 상기층은 카바이드 또는 보라이드로서 크롬, 알루미늄, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 바나듐, 컬럼븀, 탄탈륨, 텅그스텐 및 몰리브덴으로 부터 선택된 하나 또는 하나 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
  18. 제16항에 있어서, 실리콘 카바이드로 구성된 상부 피복이 포함되는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
  19. 제18항에 있어서, 붕소를 함유한 내부층이 상기 실리콘 카바이드 상부 피복과 나머지의 내산화성 탄소체 사이에 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 내산화성 탄소체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019850006933A 1984-09-24 1985-09-23 내산화성 탄소체 및 이것의 제조방법 KR890002249B1 (ko)

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