KR860000323A - 감광성 물품 및 그의 제조방법 - Google Patents

감광성 물품 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

감광성 물품 및 그의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 감광성 물품에 대한 횡단면도임, 제2도는 선택적 금속층을 갖는 본 발명의 감광성 물품에 대한 횡단면도임, 제3도는 기재에 형성된 금속 전극패턴의 확대 평면도임, 제4a도는 보호 중합체 층을 갖는 전극포함 지지체를 나타내는 것으로서 제3도의 4a-4a선을 따라 절단한 전극패턴의 횡단면도임, 제4b도는 보호 중합체가 제거된 제4a도의 전극에 대한 횡단면도임, 제5도는 본 발명의 방법에 의해 기재에 형성된 소수성 중합체 물질에서의 상에 대한 평면도임.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10,20a,20b,40…물품, 12,22,42…지지물질, 14…감광성층, 24…전극패턴, 26…금속전극물질, 28,28a…중합체물질, 44…소수성상물질.

Claims (58)

  1. 화학광선에 노출시켜 중합 N-아실-디아제핀을 형성하기 위한 중합피리디늄 일리드에 있어서, 중합체골격을 구성하고 상기 골격의 일부로서 또는 그로부터 매달리는 하기 구조식의 피리디늄일리드 부분을 갖는 중합피리디늄 일리드.
    상기에서 X는또는 -SO2이고 R1은 알킬, 아릴알카릴 또는 아랄킬이다.
  2. 제1항에 있어서, X가또는 -SO2- 인 것을 특징으로 하는 중합체.
  3. 제1항에 있어서, 하기 구조식을 갖는 다수의 반복단위체로 구성된 중합체.
    상기에서 L은 유기연결기이고 m은 1 또는 2의 정수임.
  4. 제3항에 있어서, X가또는 -SO2-인것을 특징으로 하는 중합체.
  5. 제3항에 있어서, m이 1이고 X가인 것을 특징으로 하는 중합체.
  6. 제1항에 있어서, 중합체가 하기 구조식을 갖는 다수의 반복단위체로 구성되는 것을 특징으로 하는 중합체.
    상기에서, L은 유기연결기이고, m은 1 또는 2의 정수이고, R2는 수소, 할로 또는 저급알킬임.
  7. 제6항에 있어서, L이 또는 -Ar-R3-의 2가 라디칼(상기 각 라디칼에서 R은 수소, 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬이고, R3은 2가 알킬렌 라디칼임)인 것을 특징으로 하는 중합체.
  8. 제7항에 있어서, X가이고, m이 2이며, L이(R3는 1,2-에틸렌임)의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 중합체.
  9. 제8항에 있어서, R이 메틸인것을 특징으로 하는 중합체.
  10. 제6항에 있어서, 에틸렌처럼 불포화된 공중합성 단량체로부터 반복단위체를 갖는 것을 특징으로 하는 중합체.
  11. 제10항에 있어서, 에틸렌처럼 불포화된 공중합성 단량체로부터의 반복단위체가 하기 구조식을 갖는 것을 특징으로 하는 중합체.
  12. 중합체골격을 구성하고 골격의 일부로서 또는 그로부터 매달린 하기 구조식의 N-아실-디아제핀 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 중합 N-아실디아제핀.
    상기에서 X는또는 -SO2이고 R1은 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬임.
  13. 제12항에 있어서, X가또는 -SO2- 인 것을 특징으로 하는 중합체.
  14. 제12항에 있어서, 하기 구조식을 갖는 다수의 반복단위체로 구성됨을 특징으로 하는 중합체.
    상기에서, L은 유기연결기이고, m은 1 또는 2의 정수임.
  15. 제14항에 있어서, X가또는 -SO2- 인 것을 특징으로 하는 중합체.
  16. 제14항에 있어서, m이 1이고 X가인 것을 특징으로 하는 중합체.
  17. 제12항에 있어서, 하기 구조식을 갖는 다수의 반복 단위체로 구성된 것을 특징으로 하는 중합체.
    상기에서 L이 유기연결기이고, m이 1 또는 2의 정수이며, R2가 수소, 할로 또는 저급알킬임.
  18. 제17항에 있어서, L이 구조식 또는 -Ar-R3-(각 라디칼에서 R은 수소, 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬이고, R3은 2가 알킬렌라디칼임)의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 중합체.
  19. 제18항에 있어서, X가이고, m이 2이며, L이 구조식(여기서 R3는 1,2-에틸렌임)의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 중합체.
  20. 제19항에 있어서, R이 메틸인 것을 특징으로 하는 중합체.
  21. 제17항에 있어서, 에틸렌처럼 불포하된 공중합성 단량체로부터의 반복단위체를 갖는 중합체.
  22. 화학광선에 노출시켜 중합 N-아실-디아제핀을 형성하는 감광성 중합피리디늄 일리드의 층을 갖는 지지체로 구성되고, 상기 중합피리디늄 일리드가 중합체 골격을 구성하고 상기 골격의 일부로서 또는 그로부터 매달리며, 피리디늄 일리드 부분이 다음 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
    상기에서 X는(여기서 R1은 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬임)또는 -SO2-이다.
  23. 제22항에 있어서, 상기 감광성 중합피리디늄 일리드의 층과 지지체 사이에 물리적 또는 화학적 수단에 의해 부식될 수 있는 물질층이 존재함을 특징으로 하는 감광성 물품.
  24. 제23항에 있어서, 상기 부식성 물질층이 금속층인 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  25. 제24항에 있어서, 상기 금속층이 은, 구리,인듐 주석산화물 또는 철-및-니켈합금인 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  26. 제25항에 있어서, 지지체가 절연체판으로 구성되고, 금속층은 구리로 구성됨을 특징으로 하는 감광성 물품.
  27. 제22항에 있어서, 상기 감광성 중합일리드의 층이 하기 구조식을 갖는 다수의 반복단위체로 구성됨을 특징으로 하는 감광성 물품.
    상기에서, L은 유기 연결기이고, m은 1 또는 2의 정수이며, R2는 수소, 할로 또는 저급알킬이다.
  28. 제27항에 있어서, 상기 반복단위체중 L이 하기 구조의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
    또는 Ar-R3-
    상기에서 R은 수소, 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬이고; R3는 2가 알킬렌라디칼임.
  29. 제28항에 있어서, 반복단위체중 X가이고, m이 2이며 L이(여기서, R3는 1,2 에틸렌임)의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  30. 제29항에 있어서, 반복단위체중 R이 메틸인 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  31. 제27항에 있어서, 감광성 중합일리드의 층이 에틸렌처럼 불포화된 공중합성 단량체로부터 반복단위체를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  32. 제27항에 있어서, 감광성 중합일리드의 층이 수용성 용매로부터 지지체에 이용되는 것을 특징으로 하는 감광성 물품.
  33. 비수용성 또는 수소성보호 N-아실-디아제핀 중합체의 층을 갖는 기체로 구성되고, 상기 N-아실-디아제핀 중합체가 골격의 일부로서 또는 그로부터 매달린 것을 갖는 중합체 골격으로 구성되고, N-아실-디아제핀 부분이 다음 구조를 갖는것을 특징으로 하는 물품.
    상기에서, X는(여기서 R1은 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄칼임)또는 -SO2-이다.
  34. 제33항에 있어서, N-아실-디아제핀 부분중 X-가또는 SO2- 인 것을 특징으로 하는 물품.
  35. 제33항에 있어서, 상기 보호성 N-아실-디아제핀 중합체가 하기 구조를 갖는 다수의 반복단위체로 구성됨을 특징으로 하는 물품.
    상기에서, L은 유기연결기이고 m은 1 또는 2의 정수임.
  36. 제35항에 있어서, 상기 반복 단위체중 m이 2이고, X가인 것을 특징으로 하는 물품.
  37. 제33항에 있어서, 상기 보호성 N-아실-디아제핀 중합체가 하기 구조의 다수의 반복 단위체로 구성됨을 특징으로 하는 물품.
    상기에서, L은 유기연결기이고, m은 1 또는 2의 정수이며, R2는 수소, 할로 또는 저급알킬임.
  38. 제37항에 있어서, L이 다음 구조의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 물품.
    또는 -Ar-R3-
    상기에서, R은 수소, 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬이고, R3는 2가 알킬렌라디칼임.
  39. 제37항에 있어서, 반복 단위체중 X가이고, L이의 2가 라디칼이고, m이 2인 것을 특징으로 하는 물품.
  40. 제37항에 있어서, 보호성 N-아실-디아제핀 중합체가 에틸렌처럼 불포화된 공중합성 단량체로부터의 반복단위체를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품.
  41. 제33항에 있어서, 기재가 시이트 형태인 것을 특징으로 하는 물품.
  42. 제41항에 있어서, 보호성 N-아실-디아제핀 중합체가 시이트의 선결된 부분에 존재하나 그외의 부분에는 존재하지 않아 시이트위에 보호성 N-아실-디아제핀 중합체의 패턴을 제공하는 것을 특징으로 하는 물품.
  43. 제42항에 있어서, 보호성 N-아실-디아제핀 중합체가 존재하는 선결된 부분에서 보호성 N-아실-디아제핀 중합체와 시이트 사이에 금속층이 존재하는 것을 특징으로 하는 물품.
  44. 감광성 중합일리드의 중합체를 갖는 지지체로 구성된 물품을 화학광선에 도입하고, 화학광선이 중합체 일리드를 비수용성 또는 소수성 N-아실-디아제핀 보호성 중합체로 변화시키는데 충분한 것을 특징으로 하는 비수용성 또는 소수성 보호중합체의 층을 갖는 물품을 제조하는 방법.
  45. 제44항에 있어서, 감광성 중합체 일리드가 골격의 일부로서 또는 골격에 매달린 것을 갖는 중합체 골격을 구성하고, 피리디늄 일리드 부분이 다음 구조를 갖는것을 특징으로 하는 방법.
    상기에서, X는(여기서 R1은 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬임)또는 -SO2-이다.
  46. 제45항에 있어서, 피리디늄 일리드 부분중 X가또는 -SO2- 인 것을 특징으로 하는 방법.
  47. 제44항에 있어서, 감광성 중합피리디늄 일리드가 하기 구조를 갖는 다수의 반복 단위체로 구성됨을 특징으로 하는 방법.
    상기에서, L은 유기연결기이고, m은 1 또는 2이 정수임.
  48. 제47항에 있어서, 감광성 중합피리디늄 일리드가 하기 구조를 갖는 다수의 반복 단위체로 구성됨을 특징으로 하는 방법.
    상기에서, L은 유기 연결기이고, m은 1 또는 2의 정수이고, R2는 수소, 할로 또는 저급알킬임.
  49. 제48항에 있어서, 상기 반복 단위체중 L이 하기 구조의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 방법.
    또는 -Ar-R3-
    상기에서, R은 수소 알킬, 아릴, 알카릴 또는 아랄킬이고; R3는 2가 알킬렌 라디칼이다.
  50. 제48항에 있어서, 상기 반복 단위체중 R이 수소 또는 메틸이고, X가이고, m이 2이며, L이(R3는 1,2-에틸렌임)의 2가 라디칼인 것을 특징으로 하는 방법.
  51. 제48항에 있어서, 감광성 중합피리디늄 일리드가 에틸렌처럼 불포화된 공중합성 단량체로 부터의 반복단위체를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  52. 제44항에 있어서, 지지체와 감광성 중합체 일리드 사이에 물리적 또는 화학적 수단에 의해 부식될 수 있는 물질의 층이 존재하는 것을 특징으로 하는 방법.
  53. 제44항에 있어서, 감광성 중합일리드 층의 선결된 부분이 상기 화학광선에 노출되는 반면, 그 이외의 부분은 화학광선의 노출로부터 보호되어 감광성 중합일리드의 층은 선택적으로 노출하고 상기 선택적 노출부분에 비수용성 또는 소수성 N-아실-디아제핀 보호성 중합체를 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  54. 제53항에 있어서, 상기 화학광선의 노출로부터 보호된 감광성 중합일리드 층의 부분이 지지체로부터 제거되어 지지체에 상기 비수용성 또는 소수성 N-아실-디아제핀 보호성 중합체의 선결된 패턴을 제공하는 것을 특징으로 하는 방법.
  55. 금속층위에 감광성 중합일리드층을 갖는 지지체로 구성되는 감광성 물품을 화학광선에 선택적으로 노출시키고, 상기 선택적 노출이 감광성층의 선결된 부분을 화학광선에 노출시키면서 그 이외의 부분을 화학광선으로 부터 보호함으로써 실시되고, 화학광선이 노출부분에서의 감광성 중합일리드를 비수용성 또는 소수성 N-아실-디아제핀 보호성 중합체로 변화시키기에 충분하고, 상기 비노출 부분으로 부터 상기 감광성 중합일리드를 제거하는 단계로 구성되는 광저항체를 제조하는 방법.
  56. 제55항에 있어서, 비노출 부분으로부터 화학적 또는 물리적 수단에 의해 금속을 제거함으로써 금속위에 비수용성 또는 소수성 N-아연-디아제핀 보호성 중합체를 갖는 금속의 선결된 부분으로 구성된 선결된 패턴을 상기 지지체 위에 제공하는 것을 특징으로 하는 방법.
  57. 제56항에 있어서, 비수용성 또는 소수성 N-아연-디아제핀 보호성 중합체가 내성을 갖는 화학적 부식용액에 의해 금속이 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.
  58. 제55항에 있어서, 금속층을 갖는 지지체가 금속-피복절연판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
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