KR830009504A - 주사전자 현미경용 대물렌즈 - Google Patents

주사전자 현미경용 대물렌즈 Download PDF

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KR830009504A
KR830009504A KR1019820000138A KR820000138A KR830009504A KR 830009504 A KR830009504 A KR 830009504A KR 1019820000138 A KR1019820000138 A KR 1019820000138A KR 820000138 A KR820000138 A KR 820000138A KR 830009504 A KR830009504 A KR 830009504A
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magnetic
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세이이찌 나까가와
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가세이 다다오
니혼덴시 가부시끼 가이샤
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    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
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    • H01J37/141—Electromagnetic lenses
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Abstract

내용 없음

Description

주사전자 현미경용 대물렌즈
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 대물렌즈의 도시도.
제3도는 제2도에 도시된 대물렌즈에서의 축방향 자장분포도.
제4도는 작동거리와 구면 및 색수차계수의 관계를 도시한 그래프도.

Claims (3)

  1. 주사전자현미경내에 사용하기 위한 자기 대물렌즈에 있어서,
    구멍직경 D1를 가진 하부작극편과,
    D1보다 큰 구멍직경 D2를 가진 상부자극편과,
    D1보다 더 큰 구멍직경 D3를 가진 외측자극편과,
    상기 하부자극편과 상기 상부자기편 사이에 자장을 발생하기 위한 제1여자코일과,
    상기 하부자극편과 상기 외측자극편 사이에 자장을 발생시키기 위한 제2여자코일을 포함함을 특징으로 하는 주사전자 현미경용 대물렌즈.
  2. 주사전자 현미경내에 사용하기 위한 자기대물렌즈에 있어서,
    구멍직경 D1을 가진 하부자극편과,
    D1보다 큰 구멍직경 D2를 가진 상부자극편과,
    D1보다 더 큰 구멍직경 D3를 가진 외측자극편과,
    상기 하부자극편과 상기 상부자극편 사이에 배치된 보조자극편과,
    상기 하부자극편과 상기 상부자극편 사이에 자장을 발생시키기 위한 제1여자코일과,
    상기 하부자극편과 상기 외측자극편 사이에 자장을 발생시키기 위한 제2여자코일을 포함함을 특징으로 하는 주사전자 현미경용 대물렌즈.
  3. 주사전자 현미경내에 사용하기 위한 자기대물렌즈에 있어서,
    렌즈축 둘레에 권취된 제1여자코일과,
    요우크의 두 환상종단부들이 직경 D1을 가진 하부자극편과 D1보다 큰 직경 D2를 가진 상부자극편으로서 사용되어지며, 상기 하부자극편과 상기 상부자극편간 자장발생용의 상기 제1여자코일을 수용하는 요우크와,
    상기 요우크 둘레에 권취된 제2여자코일과,
    외측요우크의 종단부가 D1보다 더 큰 직경 D3를 가진 외측자극편으로서 사용되며, 상기 하부자극편과 상기 자극편간 자장발생용의 상기 제2여자코일을 상기 요우크와 더블어 수용하는 외측요우크를 포함함을 특징으로 하는 주사전자 현미경용 대물렌즈.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR8200138A 1981-01-14 1982-01-14 Magnetic objective lens for use in a scaning electron microscope KR900003907B1 (en)

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