KR20240054380A - 형상 계측 장치용 광학계 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 형상 계측 장치용 광학계는, 평행광 조사계와, 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계는, 점광원과, 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정 물체의 일부분의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고, 상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀 부재를 구비한다.
Description
본 발명은 평행광을 피측정 물체 너머에 이미지 센서를 향하여 조사하고, 이미지 센서에 투영된 피측정 물체의 영상에 의해 피측정 물체의 2차원 형상을 계측하는 형상 계측 장치에 사용되는 형상 계측 장치용 광학계에 관한 것이다.
평행광을 피측정 물체 너머에 이미지 센서를 향하여 조사하고, 이미지 센서에 투영된 피측정 물체의 영상에 의해 피측정 물체의 2차원 형상을 계측하는 형상 계측 장치에 사용되는 형상 계측 장치용 광학계는, 예를 들어 특허문헌 1에 개시되어 있다.
이 특허문헌 1에 개시된 형상 계측 장치용 광학계는, 원반상의 피측정 물체의 외주 단부 에지 부분인 피측정부에 대하여, 상기 피측정 물체의 원형면을 따르도록, 또한 상기 피측정 물체의 상기 피측정부가 광속 내에 배치되도록 평행광을 조사하는 평행광 조사계와, 상기 피측정부의 영상을 촬상하는 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계가, 백색 LED를 갖는 점광원과, 상기 점광원으로부터의 광을 입사시켜 평행광을 만들기 위한 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계가, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정부의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비한다.
그런데, 특허문헌 1에 개시된 형상 계측 장치용 광학계에서는, 휘도가 높은 백색 LED가 사용되는 경우에는, 그 지향성 때문에, 핀홀의 통과 후의 광에 휘도 불균일이 발생하고, 그 결과, 피측정 물체의 외주 단부 에지 부분의 윤곽 형상에 왜곡이 생겨 버릴 우려가 있다.
본 발명은 상술한 사정에 비추어 이루어진 발명이며, 그 목적은, 휘도 불균일을 저감시킬 수 있는 형상 계측 장치용 광학계를 제공하는 것이다.
본 발명에 관한 형상 계측 장치용 광학계는, 평행광 조사계와, 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계는, 점광원과, 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정 물체의 일부분의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고, 상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀 부재를 구비한다.
상기 그리고 그 외의 본 발명의 목적, 특징 및 이점은, 이하의 상세한 기재와 첨부 도면으로부터 명확해질 것이다.
도 1은 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 2는 휘도 분포의 연산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 상기 형상 계측 장치용 광학계에 사용되는 변형 형태의 점광원의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 2는 휘도 분포의 연산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 상기 형상 계측 장치용 광학계에 사용되는 변형 형태의 점광원의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 하나 또는 복수의 실시 형태가 설명된다. 그러나, 발명의 범위는, 개시된 실시 형태에 한정되지 않는다. 또한, 각 도면에 있어서 동일한 부호를 붙인 구성은, 동일한 구성인 것을 나타내고, 적절히, 그 설명을 생략한다. 본 명세서에 있어서, 총칭하는 경우에는 첨자를 생략한 참조 부호로 나타내고, 개별의 구성을 가리키는 경우에는 첨자를 붙인 참조 부호로 나타낸다.
도 1은 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계의 구성을 설명하기 위한 모식도이다. 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계 A는, 평행광을 피측정 물체 너머에 이미지 센서를 향하여 조사하고, 이미지 센서에 투영된 피측정 물체 Ob의 영상에 의해 피측정 물체 Ob의 2차원 형상을 계측하는 형상 계측 장치에 사용되는 광학계이며, 예를 들어 도 1에 나타내는 바와 같이, 원반상의 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분인 피측정부에 대하여, 상기 피측정 물체 Ob의 원형면을 따르도록, 또한 상기 피측정 물체 Ob의 상기 피측정부가 광속 내에 배치되도록 평행광을 조사하는 평행광 조사계(1)와, 상기 피측정부의 영상을 촬상하는 촬상 광학계(2)를 구비한다.
피측정 물체 Ob는, 원반상의 부재이면, 임의의 부재여도 되고, 예를 들어 반도체 웨이퍼나 하드 디스크의 기판(알루미늄제 기판이나 유리제 기판) 등이다.
평행광 조사계(1)는, 점광원(11a)과, 콜리메이터 렌즈(12)와, 텔레센트릭 렌즈(13)를 구비한다.
점광원(11a)은, LED(111)(발광 다이오드)(111)와, 확산 부재(112)(예를 들어 광파이버(112a))와, 핀홀 부재(113)를 구비한다.
LED(111)는, 광을 사출하는 광원이다.
확산 부재(112)는, LED(111)로부터의 광을 확산하여 사출하는 부재이며, 도 1에 나타내는 예에서는, 그 일례로서의 광파이버(112a)이다. 광파이버(112a)는, LED(111)로부터의 광을, 그 코어 내에서 반사를 반복하여 전파하여, 사출한다. 이 반사의 반복에 의해 LED(111)로부터의 광이 확산된다. 상기 광파이버가 직선 형상인 경우에 비하여 보다 많이 반사할 수 있다는 점에서, 광파이버(112a)는, 구부러진 형상인 것이 바람직하고, 도 1에 나타내는 예에서는, 광파이버(112a)는, 권회된 형상(코일 형상)이다. 권회된 광파이버(112a)에 있어서의 코일 형상의 직경 및 권수는, 필요한 광의 확산에 따라 적합하게 설정되고, 일례에서는, 반경 약 50mm이며 권수 3 이상이다. 광파이버(112a)는, 예를 들어 유리제여도 되고, 혹은, 예를 들어 수지제여도 되고, 그 재질은, 특별히 한정되지 않는다.
핀홀 부재(113)는, LED(111)로부터 사출되는 백색광을 차광하는 판상의 부재이며, 상기 판상의 부재에는, 확산 부재(112)(이 예에서는 광파이버(112a))로부터의 광이 입사되는, 관통 개구의 핀홀이 형성되어 있다. 상기 핀홀의 직경은, 작을수록 바람직하지만, 너무 작으면 형상 계측에 충분한 광량이 얻어지지 않기 때문에, 바람직하게는, 1㎛ 내지 1mm의 범위 내이고, 보다 바람직하게는, 10㎛ 내지 800㎛의 범위 내이다.
광파이버(112a)의 직경은, 핀홀의 직경과 동일한 것이 바람직하고, 따라서, 바람직하게는, 1㎛ 내지 1mm의 범위 내이고, 보다 바람직하게는, 10㎛ 내지 800㎛의 범위 내이다.
이러한 구성의 점광원(11a)에서는, LED(111)로부터의 백색광은, 광파이버(112a)에 입사되고, 광파이버(112a)의 코어 내에서 반사를 반복하여 전파되어 광파이버(112a)로부터 사출되어, 핀홀 부재(113)의 핀홀에 입사된다.
콜리메이터 렌즈(12)는, 점광원(11a)으로부터의 광을 평행광(평행 광속)으로 하여 사출하는 광학계(단일 렌즈 및 렌즈군을 포함함)이다. 콜리메이터 렌즈(12)와 핀홀 부재(113)는, 핀홀 부재(113)의 핀홀이 콜리메이터 렌즈(12)의 초점 위치에 위치하도록, 배치된다.
텔레센트릭 렌즈(13)는, 콜리메이터 렌즈(12)로부터의 광이 피측정 물체 Ob 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 광학계이다. 도 1에 나타내는 예에서는, 텔레센트릭 렌즈(13)는, 양측 텔레센트릭 구조의 광학계이며, 제1 렌즈(렌즈군을 포함함)(131)의 후방측 초점과 제2 렌즈(렌즈군을 포함함)(133)의 전방측 초점을 일치시켜 2개의 렌즈(131, 133)를 배열하고, 이 초점 위치에 가변의 조리개(개구 조리개)(132)를 구비하여 구성되어 있다. 이 텔레센트릭 렌즈(13)는, 물체측(피측정 물체 Ob측), 상측(촬상 광학계(2) 측) 모두 주광선이 광축 AX에 대하여 평행하며, 피측정 물체 Ob 통과 후의 광 중 평행광(평행에 극히 가까운 광을 포함함)만을 통과시킨다. 콜리메이터 렌즈(12)와 제1 렌즈(131)의 간격 거리는, 예를 들어 200mm 정도로 설정되어 있고, 피측정 물체 Ob는, 이 콜리메이터 렌즈(12)로부터 제1 렌즈(131)로의 평행 광속 내에 배치된다. 피측정 물체의 외주 단부 에지 부분인 피측정부의 형상을 적합하게 계측할 수 있도록, 피측정 물체 Ob는, 그의 표리 각 면이 광축 AX와 평행하게 되도록 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 피측정 물체 Ob 통과 후의 광 중 평행광(평행에 극히 가까운 광을 포함함)만을 통과시키도록 하기 위해, 텔레센트릭 렌즈(13)는, 상술한 양측 텔레센트릭 구조의 광학계 대신에, 물체측(피측정 물체 Ob측)만 주광선이 광축에 대하여 평행하게 되는 물체측 텔레센트릭 구조의 광학계여도 된다. 이 물체측 텔레센트릭 구조의 경우, 조리개의 후방측의 제2 렌즈로서는 일반의 결상 렌즈가 사용된다.
촬상 광학계(2)는, 텔레센트릭 렌즈(13)를 통과한 광에 의한, 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분인 피측정부의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비한다. 상기 이미지 센서는, 예를 들어 2차원 CCD 이미지 센서나 2차원 CMOS 이미지 센서 등이다.
상기 구성의 평행광 조사계(1)는, 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분의 영상을 보다 양호하게 촬상 광학계(2)의 이미지 센서에 형성하기 위해, 피측정 물체 Ob를 배치하지 않는 경우에 상기 이미지 센서에 조사된 광의 휘도 분포가 25％ 이하가 되도록, 상기 평행광을 조사하는 것이 바람직하고, 상기 휘도 분포가 20％ 이하가 되도록, 상기 평행광을 조사하는 것이 보다 바람직하다. 형상 계측 측정 장치는, 휘도 분포가 없는 것으로 하여 최적화되어 있기 때문에, 휘도 분포는 작을수록 좋다. 단, 더욱 개선하기 위해서는, 핀홀 직경이나 파이버 직경을 작게 하여, 보다 이상적인 점광원에 근사하게 하는 것이 유효하지만, 직경을 작게 하면 입사되는 광량이 줄어 버리기 때문에 측정에 적합하지 않다. 필요한 광량을 얻기 위해 전압을 상승시키면 LED(111)의 수명이 짧아지는 등의 단점이 발생할 우려가 있다.
이러한 구성의 형상 계측 장치용 광학계 A를 구비한 형상 계측 장치는, 촬상 광학계(2)의 상기 이미지 센서로부터 출력되는, 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분의 영상을 촬상한 화상(화상 데이터)을, 예를 들어 에지를 추출하는 에지 추출 처리 등의 소정의 화상 처리를 실시함으로써, 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분에 있어서의 외측 윤곽을 추출함으로써, 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분의 형상을 계측할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계 A는, 점광원(11a)을 구비함으로써, 콜리메이터 렌즈(12)를 거쳐, 가능한 한 완전에 가까운 평행한 광을 피측정 물체 너머에 조사할 수 있음과 함께, 텔레센트릭 렌즈(13)에 의해, 피측정 물체 통과 후의 광 중 평행광(평행에 극히 가까운 광을 포함함)만을 통과시킬 수 있으므로, 광축 방향을 따르는 깊이 길이가 긴 피측정 물체 Ob여도, 촬상 광학계(2)의 상기 이미지 센서에 있어서 윤곽의 흐림의 정도가 작은 양호한 피측정 물체 Ob의 외주 단부 에지 부분의 영상을 얻을 수 있다. 따라서, 피측정 물체 Ob가 광축 방향을 따르는 깊이 길이가 긴, 예를 들어 반도체 웨이퍼여도, 촬상 광학계(2)의 상기 이미지 센서에 있어서 윤곽의 흐림의 정도가 작아, 양호한 반도체 웨이퍼의 외주 단부 에지 부분의 영상을 포착할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계 A는, LED(111)로부터의 광을 확산 부재(112), 상술한 예에서는 광파이버(112a)로 확산하고 나서 핀홀에 입사시키므로, 휘도 불균일을 저감시킬 수 있다.
본 실시 형태에 따르면, 상기 확산 부재가 광파이버인 형상 계측 장치용 광학계 A를 제공할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계 A는, 광파이버(112a)가 구부러진 형상이므로, 광파이버가 직선 형상인 경우에 비하여 보다 많이 반사되어 코어 내를 광이 전파되기 때문에, 보다 적합하게 광을 확산할 수 있어, 휘도 불균일을 보다 저감시킬 수 있다.
다음으로, 실시예 및 비교예에 대하여 설명한다. 도 2는 휘도 분포의 연산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
실시예에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계의 점광원(11a)에는, LED(111)가 사용되고, 확산 부재(112)에, 반경 50mm이며 코일 형상으로 3회 권회된 광파이버가 사용되고, 핀홀 부재(113)에, φ400㎛의 핀홀을 형성한 판상의 부재가 사용되었다. 상기 면 발광형 LED는, InGaN계 청색 LED와, 그 표면에 도포된 YAG:Ce 형광체의 황색 형광체를 구비하여 구성되어 있다. 콜리메이터 렌즈(12)에는, 초점 거리 f: 50mm의 콜리메이터 렌즈가 사용되고, 텔레센트릭 렌즈(13)에는, 광학 배율 2배의 물체측 텔레센트릭 렌즈가 사용되었다. 촬상 광학계(2)의 이미지 센서에는, 2차원 CMOS 이미지 센서가 사용되었다. 상기 물체측 텔레센트릭 렌즈는, 워킹 디스턴스(렌즈 선단으로부터 피측정 물체까지의 거리): 약 110mm이다.
한편, 비교예에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계는, 상술한 실시예에 있어서의 형상 계측 장치용 광학계로부터, 확산 부재(112)(상술한 예에서는 코일 형상의 광파이버(112a))를 제외한 구성이다.
실시예의 형상 계측 장치용 광학계에 있어서의 휘도 분포는, 11％이며, 비교예의 형상 계측 장치용 광학계에 있어서의 휘도 분포는, 26％였다. 따라서, 실시예의 형상 계측 장치용 광학계는, 비교예의 형상 계측 장치용 광학계에 비하여, 휘도 불균일이 개선되어 있다.
상기 휘도 분포 BD는, 예를 들어 도 2에 나타내는 바와 같이, 피측정 물체 Ob를 형상 계측 장치용 광학계에 배치하지 않는 경우에 있어서, 촬상 광학계(2)의 상기 이미지 센서에 조사된 광에 의한 화상 P에 있어서의 대각선 LN에서의 최대 휘도 Bmax 및 최소 휘도 Bmin을 사용하여 다음 식 1로부터 구하였다.
식 1; BD=(1-Bmin/Bmax)×100[％]
또한, 상술한 실시 형태에서는, 확산 부재(112)는, 광파이버(112a)였지만, 확산 부재(112)는, 적분구여도 된다. 이에 의하면, 확산 부재가 적분구인 형상 계측 장치용 광학계를 제공할 수 있다.
도 3은 상기 형상 계측 장치용 광학계에 사용되는 변형 형태의 점광원의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
이러한 변형 형태의 형상 계측 장치용 광학계 A는, 상술한 구성에 있어서, 점광원(11a) 대신에, 도 3에 나타내는 점광원(11b)을 구비한다. 이 도 3에 나타내는 점광원(11b)은, 백색 LED(111)와, 적분구(112b)와, 핀홀 부재(113)를 구비한다. 이들 백색 LED(111) 및 핀홀 부재(113)는, 각각, 도 1을 사용하여 설명한 상술한 백색 LED(111) 및 핀홀 부재(113)와 마찬가지이므로, 그 설명을 생략한다.
적분구(12b)는, 중공의 구체 부재이며, 백색 LED(111)로부터의 광이 입사되는 입사 개구와, 상기 구체 부재의 내부에서 확산 반사된 광을 핀홀 부재(113)의 핀홀에 사출하는 사출 개구를 구비한다. 상기 구체 부재의 내면(내벽면)에는, 효율적으로 확산 반사시키기 위해, 예를 들어 산화마그네슘이나 산화바륨이나 산화아연 등이 도포된다.
이러한 구성의 점광원(11b)에서는, 백색 LED(111)로부터의 백색광은, 그 입사 개구를 통해 적분구(12b)에 입사되고, 적분구 내에서 확산 반사되어, 적분구(112b)로부터 그 사출 개구를 통해 핀홀 부재(113)의 핀홀에 입사된다.
또한, LED(111)는, 적분구 내에 배치되어, 상기 입사 개구가 생략되어도 된다. 이 경우, LED(111)로부터의 광이 상기 사출 개구에 직접 도달하지 않도록, LED(111)와 상기 사출 개구 사이에는, 차광판이 마련된다.
본 명세서는, 상기와 같이 다양한 양태의 기술을 개시하고 있지만, 그 중 주된 기술을 이하에 정리한다.
일 양태에 관한 형상 계측 장치용 광학계는, 원반상의 피측정 물체의 외주 단부 에지 부분인 피측정부에 대하여, 상기 피측정 물체의 원형면을 따르도록, 또한 상기 피측정 물체의 상기 피측정부가 광속 내에 배치되도록 평행광을 조사하는 평행광 조사계와, 상기 피측정부의 영상을 촬상하는 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계는, 점광원과, 상기 점광원으로부터의 광을 평행광으로 하여 사출하는 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정부의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고, 상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀 부재를 구비한다. 바람직하게는, 상술한 형상 계측 장치용 광학계에 있어서, 상기 평행광 조사계는, 상기 피측정 물체를 배치하지 않는 경우에 상기 이미지 센서에 조사된 광의 휘도 분포가 25％ 이하(더욱 바람직하게는 20％ 이하)가 되도록, 상기 평행광을 조사한다.
이러한 형상 계측 장치용 광학계는, 백색 LED로부터의 광을 확산 부재로 확산하고 나서 핀홀에 입사시키므로, 휘도 불균일을 저감시킬 수 있다.
다른 일 양태에서는, 상술한 형상 계측 장치용 광학계에 있어서, 상기 확산 부재는, 광파이버이다.
이에 의하면, 상기 확산 부재가 광파이버인 형상 계측 장치용 광학계를 제공할 수 있다.
다른 일 양태에서는, 상술한 형상 계측 장치용 광학계에 있어서, 상기 광파이버는, 구부러진 형상이다. 바람직하게는, 상술한 형상 계측 장치용 광학계에 있어서, 상기 광파이버는, 권회된 형상이다.
이러한 형상 계측 장치용 광학계는, 상기 광파이버가 구부러진 형상이므로, 상기 광파이버가 직선 형상인 경우에 비하여 보다 많이 반사되어 코어 내를 광이 전파되기 때문에, 보다 적합하게 광을 확산할 수 있어, 휘도 불균일을 보다 저감시킬 수 있다.
다른 일 양태에서는, 상술한 형상 계측 장치용 광학계에 있어서, 상기 확산 부재는, 적분구이다.
이에 의하면, 상기 확산 부재가 적분구인 형상 계측 장치용 광학계를 제공할 수 있다.
이 출원은, 2021년 9월 27일에 출원된 일본 특허 출원 제2021-157114호를 기초로 하는 것이며, 그 내용은, 본원에 포함되는 것이다.
본 발명을 표현하기 위해, 상술에 있어서 도면을 참조하면서 실시 형태를 통하여 본 발명을 적절하게 또한 충분히 설명했지만, 당업자라면 상술한 실시 형태를 변경 및/또는 개량하는 것은 용이하게 할 수 있는 것이라고 인식해야 한다. 따라서, 당업자가 실시하는 변경 형태 또는 개량 형태가, 청구 범위에 기재된 청구항의 권리 범위를 이탈하는 레벨의 것이 아닌 한, 당해 변경 형태 또는 당해 개량 형태는, 당해 청구항의 권리 범위에 포괄된다고 해석된다.
본 발명에 따르면, 평행광을 피측정 물체 너머에 이미지 센서를 향하여 조사하고, 이미지 센서에 투영된 피측정 물체의 영상에 의해 피측정 물체의 2차원 형상을 계측하는 형상 계측 장치에 사용되는 형상 계측 장치용 광학계를 제공할 수 있다.
Claims (4)
- 원반상의 피측정 물체의 외주 단부 에지 부분인 피측정부에 대하여, 상기 피측정 물체의 원형면을 따르도록, 또한 상기 피측정 물체의 상기 피측정부가 광속 내에 배치되도록 평행광을 조사하는 평행광 조사계와,
상기 피측정부의 영상을 촬상하는 촬상 광학계를 구비하고,
상기 평행광 조사계는, 점광원과, 상기 점광원으로부터의 광을 평행광으로 하여 사출하는 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고,
상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정부의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고,
상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀 부재를 구비하는,
형상 계측 장치용 광학계. - 제1항에 있어서,
상기 확산 부재는, 광파이버인,
형상 계측 장치용 광학계. - 제2항에 있어서,
상기 광파이버는, 구부러진 형상인,
형상 계측 장치용 광학계. - 제1항에 있어서,
상기 확산 부재는, 적분구인,
형상 계측 장치용 광학계.
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