KR20240038804A - 수지 봉지 방법 - Google Patents

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lifting mechanism
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마사히코 후지사와
신이치 아사히
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아픽 야마다 가부시끼가이샤
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Abstract

고정밀도의 수지 봉지품을 제조 가능한 수지 봉지 방법을 제공한다. 제1 승강 기구(10A)와 제2 승강 기구(10B)를 포함하는 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)를 구비한 형체결 장치(1)를 이용하여 전자 부품을 수지 봉지하는 방법으로서, 수지 봉지에 의해 얻어진 수지 봉지품을 측정하여 두께의 최대치와 최소치 간의 차이인 TTV를 측정하는 것(S1), TTV가 보다 작아지도록, 제1 승강 기구(10A)에 대응하는 가동 플라텐(3)의 제1 부위(3A)와 제2 승강 기구(10B)에 대응하는 가동 플라텐(3)의 제2 부위(3B) 간의 높낮이 차이를 결정하는 것(S2), 제1 부위(3A)와 제2 부위(3B)가 높낮이 차이가 되도록 제1 승강 기구(10A) 및 제2 승강 기구(10B)를 구동시키는 것, 및 높낮이 차이를 유지한 상태에서 형체결하는 것을 포함한다.

Description

형체결 장치
본 발명은, 복수의 승강 기구를 구비한 형체결(mold clamping) 장치에 관한 것이다.
수지 봉지(封止)품의 두께의 최대치와 최소치 간의 차이인 TTV(total thickness variation)를 가능한 한 작게 하고 싶다는 요구가 있다. TTV를 작게 하려면, 형체결시에 고정 플라텐과 가동 플라텐 간의 간격을 고정밀도로 조정하여 상형(上型)과 하형(下型)이 평행해지도록 배치해야 한다. 예를 들면, 특허 문헌 1 및 2에는, 복수의 승강 기구를 구비하여 각각의 승강 기구에 대응하는 부위마다 가동 플라텐의 높이를 임의로 조정할 수 있는 형체결 장치가 제안되어 있다.
특허 문헌 1: 일본공개특허 2007-324377호 공보 특허 문헌 2: 일본공개특허 2008-087408호 공보
특허 문헌 1 및 2에 기재된 장치는 모두, 압력 검지 수단에 의한 검출치를 상시 감시하고, 검출치에 기초하여 가압력이 균일해지도록 승강 기구의 서보 모터를 제어한다. 그러나 승강 기구를 구동시키면서 검지한 검출치는, 외란에 의한 오차를 포함하고 있다. 검출치를 서보 모터의 제어에 실시간으로 피드백하는 종래의 방법은, 장치의 설치 환경에 따라서는 외란이 있기 때문에 고정밀도의 수지 봉지품의 제조에 적합하지 않은 경우가 있다. 그래서 본 발명은, 고정밀도의 수지 봉지품을 제조 가능한 수지 봉지 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 형태는, 제1 승강 기구와 제2 승강 기구를 포함하는 복수의 승강 기구를 구비한 형체결 장치를 이용하여 전자 부품을 수지 봉지하는 방법으로서, 수지 봉지에 의해 얻어진 수지 봉지품을 측정하여 두께의 최대치와 최소치 간의 차이인 TTV를 측정하는 것, TTV가 보다 작아지도록 제1 승강 기구에 대응하는 가동 플라텐의 제1 부위와 제2 승강 기구에 대응하는 가동 플라텐의 제2 부위 간의 높낮이 차이를 결정하는 것, 제1 부위와 제2 부위가 결정한 높낮이 차이가 되도록 제1 승강 기구 및 제2 승강 기구를 구동시키는 것, 및 높낮이 차이를 유지한 상태에서 형체결하는 것을 포함한다.
이 형태에 의하면, TTV가 작은 고정밀도의 수지 봉지품을 제조 가능한 수지 봉지 방법을 제공할 수 있다.
상기 형태에서 높낮이 차이를 결정하는 것은, 제1 부위에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제1 두께와 제2 부위에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제2 두께를 비교한다. 제1 두께가 제2 두께보다 제1 차분만큼 클 때, 제1 부위에서 제1 차분만큼 형체결의 이동량이 커지도록 높낮이 차이를 결정해도 좋고, 제2 부위에서 제1 차분만큼 형체결의 이동량이 작아지도록 높낮이 차이를 결정해도 좋다. 혹은, 제1 부위에서 제1 차분의 일부만큼 형체결의 이동량이 커지고 제2 부위에서 제1 차분의 나머지만큼 형체결의 이동량이 작아지도록 높낮이 차이를 결정해도 좋다.
이 형태에 의하면, 두께의 차분에 기초한 간단하고 쉬운 순서로 TTV가 보다 작아지는 높낮이 차이를 결정할 수 있다. 제1 부위에 대응하는 위치가 제2 부위에 대응하는 위치보다 두꺼울 때, 제1 부위에 대응하는 위치를 얇게 하여 차분을 해소해도 좋고, 제2 부위에 대응하는 위치를 두껍게 하여 차분을 해소해도 좋다. 그것들을 조합하여 차분을 해소해도 좋다.
상기 형태에서 TTV를 측정하는 것, 높낮이 차이를 결정하는 것, 구동시키는 것, 및 높낮이 차이를 유지한 상태에서 형체결하는 것을 소정의 조건에 합치될 때까지 반복해도 좋다.
이 형태에 의하면, TTV가 극히 작은 고정밀도의 수지 봉지품을 제조할 수 있다. 소정의 조건에 합치되는 것은, 점점 감소되는 TTV의 변화량이 문턱값 이하가 되는 것이어도 좋고, TTV가 문턱값 이하가 되는 것이어도 좋고, TTV와는 관계없이 시험 횟수가 규정 횟수에 도달하는 것이어도 좋다.
상기 형태에서 형체결 장치에 제1 금형이 장착된 상태에서 소정의 조건에 합치되는 높낮이 차이를 결정하는 것, 소정의 조건에 합치되는 높낮이 차이를 기억시키는 것, 및 제1 금형을 형체결 장치에 다시 장착할 때, 기억된 높낮이 차이를 독출하는 것을 더 포함해도 좋다.
이 형태에 의하면, 제1 승강 장치와 제2 승강 장치를 포함하는 복수의 승강 장치가, 금형 교환시에 소정의 조건에 합치된 높낮이 차이를 재현한다. 시험을 반복하여 금형 교환시마다 조정편을 삽입하여 금형을 조정하거나 시험을 반복하여 가동 플라텐의 높낮이 차이를 결정할 필요가 없기 때문에, 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.
상기 형태에서 형체결 장치는, 해당 장치에 고유의 장치 ID를 가지며 제1 금형은 해당 금형에 고유의 금형 ID를 가지고 있어도 좋다. 제1 금형을 형체결 장치에 다시 장착할 때, 장치 ID와 금형 ID의 조합을 대조함으로써, 해당 조합에 결부된 높낮이 차이를 독출해도 좋다.
이 형태에 의하면, 장치 ID와 금형 ID의 조합에 결부된 높낮이 차이를 금형 교환시에 자동으로 독출하기 때문에, 조작 패널 등을 조작하여 수동으로 독출하는 경우와 비교하여 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다. 작업자의 조작에 기인하는 인위적 과오를 미리 막을 수 있다.
상기 형태에서 형체결 장치는, 제1 승강 기구와 제2 승강 기구를 포함하는 4개의 승강 기구를 구비하고 있어도 좋다.
이 형태에 의하면, 복수의 승강 기구를 조합하여 가동 플라텐을 다양한 방향으로 경사시킬 수 있다. 예를 들면, 정면에서 보아 왼쪽 앞 및 왼쪽 뒤의 승강 기구를 다른 승강 기구보다 크게 상승시켜 가동 플라텐을 왼쪽 상방으로 경사시키거나 왼쪽 앞 및 오른쪽 앞의 승강 기구를 다른 승강 기구보다 크게 상승시켜 가동 플라텐을 앞쪽 상방으로 경사시키거나 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 고정밀도의 수지 봉지품을 제조 가능한 수지 봉지 방법을 제공할 수 있다.
[도 1] 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법에 이용되는 수지 봉지 장치의 일례를 도시한 단면도이다.
[도 2] 도 1에 도시된 가동 플라텐을 개략적으로 도시한 평면도이다.
[도 3] 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법의 일례를 설명하는 흐름도이다.
[도 4] 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법의 다른 일례를 설명하는 흐름도이다.
첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해 설명하기로 한다. 각 도면에서 동일한 참조 부호를 붙인 것은, 동일 또는 마찬가지의 구성을 가진다. 본 발명의 일실시 형태는, 제1 승강 기구(10A)와 제2 승강 기구(10B)를 포함하는 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)를 구비한 형체결 장치(1)를 이용하여 반도체 칩 등의 전자 부품을 수지 봉지하는 방법이다. 수지 봉지는, 압축 성형이어도 좋고, 트랜스퍼 성형이어도 좋다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은, 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법에 이용되는 수지 봉지 장치(100)의 일례를 도시하는 단면도로서, 후술하는 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)의 축부(11)의 중심을 통과하는 평면에서 절단한 단면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 수지 봉지 장치(100)는 형체결 장치(1)와 형체결 장치(1)에 착탈 가능하게 장착된 금형(30)을 구비하고 있다.
형체결 장치(1)는, 상하로 연장되는 원기둥 형상의 타이 바(4), 타이 바(4)의 단부에 고정된 고정 플라텐(「고정반」이라고도 한다)(2), 타이 바(4)를 따라 상하로 이동하는 가동 플라텐(「가동반」이라고도 한다)(3), 가동 플라텐(3)을 상하로 이동시키는 구동 기구(10) 등을 구비하고 있다. 금형(30)은, 상형(32)과 하형(33)으로 구성되어 있다. 도시한 예에서는, 고정 플라텐(2)에 상형(32)이 장착되고, 가동 플라텐(3)에 하형(33)이 장착되어 있다.
구동 기구(10)는, 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)를 포함하는 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)로 구성되어 있다. 도시한 예에서는, 고정 플라텐(2)이 위쪽에 배치되고, 가동 플라텐(3)이 아래쪽에 배치되어 있지만, 고정 플라텐(2)를 아래쪽에 배치하고 가동 플라텐(3)을 위쪽에 배치해도 좋다. 각각의 승강 기구(10A, 10B,…)는, 예를 들면, 볼 나사(11, 12, 13, 14), 모터(15), 미도시된 전달 기구 등으로 구성되어 있다.
전달 기구는, 도시되지 않았으나, 예를 들면, 감속기, 벨트, 풀리 등으로 구성되어 있다. 볼 나사는, 축부(11), 너트(12), 링(13), 체결 나사(14) 등으로 구성되어 있다. 축부(11)는, 타이 바(4)의 연장 방향에 평행하게 연장되고, 전달 기구를 통해 서보 제어의 모터(15)에 의해 회전 구동된다. 축부(11)가 회전하면, 너트(12)가 상하 방향으로 직선 운동한다. 링(13)의 하단부는, 복수가 체결 나사(14)에 의해 너트(12)에 고정되어 있다. 링(13)의 상단부는, 복수의 체결 나사(21)에 의해 가동 플라텐(3)에 고정되어 있다. 링(13)과 가동 플라텐(3) 사이를 프리섕크 구조로 연결해도 좋다.
형체결 장치(1)는, 제1 승강 기구(10A)에 대응하는 제1 부위(3A)(도 2에 도시)가 제2 승강 기구(10B)에 대응하는 제2 부위(3B)(도 2에 도시)보다 높은 위치 또는 낮은 위치가 되도록 높낮이 차이(β)를 두고 가동 플라텐(3)을 이동시킬 수 있다. 가동 플라텐(3)을 상하로 이동시키기 위해 협력하는 상기 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)를 총칭하여 구동 기구(10)로 칭한다.
도 2는, 도 1에 도시된 가동 플라텐(3)을 개략적으로 도시한 평면도이다. 도시한 예에서는, 형체결 장치(1)의 구동 기구(10)가 4개의 승강 기구(10A, 10B, 10C, 10D)를 포함하고 있다. 3개 이하의 승강 기구로 구동 기구(10)을 구성해도 좋고, 5개 이상의 승강 기구로 구동 기구(10)을 구성해도 좋다. 각각의 승강 기구(10A, 10B, 10C, 10D)는, 해당 승강 기구의 직상(直上)에 위치한 대응하는 부위(3A, 3B, 3C, 3D)를 압압한다.
복수의 승강 기구를 조합하여 가동 플라텐을 다양한 방향으로 경사시킬 수 있다. 예를 들면, 작업자가 조작하는 수지 봉지 장치(100)의 정면에서 보아 왼쪽 앞 및 왼쪽 뒤의 승강 기구를 다른 승강 기구보다 크게 상승시켜 가동 플라텐을 왼쪽 상방으로 경사시키거나 왼쪽 앞 및 오른쪽 앞의 승강 기구를 다른 승강 기구보다 크게 상승시켜 가동 플라텐을 앞쪽 상방으로 경사시키거나 할 수 있다.
도시한 예에서는, 제1 내지 제4 승강 기구(10A, 10B, 10C, 10D) 중 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)가 정면에서 보아 좌우로 나열되어 있지만, 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)가 앞뒤로 나열되어 있어도 좋고, 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)가 경사지게(즉, 대략 직사각형의 가동 플라텐(3)의 대각선상에) 나열되어 있어도 좋다. 다시 말하면, 본 발명에서 말하는 가동 플라텐(3)의 제1 부위(3A)와 제2 부위(3B) 간의 높낮이 차이(β)는, 도시된 가동 플라텐(3) 내의 좌우 높낮이 차이로 한정되지 않으며, 미도시된 앞뒤의 높낮이 차이여도 좋고, 미도시된 대각의 높낮이 차이여도 좋다.
도 3은, 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법의 일례를 설명하는 흐름도이다. 이 수지 봉지 방법에서는, 수지 봉지에 의해 얻어진 수지 봉지품을 측정하여 두께의 최대치와 최소치 간의 차이인 TTV를 측정한다(순서 S11). 이어서, TTV가 보다 작아지도록, 제1 부위(3A)와 제2 부위(3B) 간의 높낮이 차이(β)를 결정한다(순서 S12).
순서 S12에 대해 상세히 설명하면, 제1 부위(3A)에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제1 두께와, 제2 부위(3B)에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제2 두께를 비교한다. 수지 봉지품에서, 가동 플라텐(3)의 제1 부위(3A)에 대응하는 위치란, 예를 들면, 제1 부위(3A)의 직상의 위치이며, 제2 부위(3B)에 대응하는 수지 봉지품의 위치란, 예를 들면, 제2 부위(3B)의 직상의 위치이다.
도 1에 도시된 예와는 반대로, 고정 플라텐(2)이 아래쪽이 되고, 가동 플라텐(3)이 위쪽이 되는 경우, 제1 부위(3A)에 대응하는 위치가 제1 부위(3A)의 직하(直下)의 위치가 되고, 제2 부위(3B)에 대응하는 위치가 제2 부위(3B)의 직하의 위치가 되어도 좋다.
예를 들면, 제1 두께(t1)가 제2 두께(t2)보다 제1 차분(t1－t2)만큼 클 때, 제1 두께(t1)를 얇게 하여 제1 차분(t1－t2)을 해소해도 좋고, 제2 두께(t2)를 두껍게 하여 제1 차분(t1－t2)을 해소해도 좋다. 제1 두께(t1)를 얇게 하고 제2 두께(t2)를 두껍게 하여 제1 차분(t1－t2)을 해소해도 좋다.
제1 두께(t1)를 얇게 하려면, 예를 들면, 제1 부위(3A)에서 제1 차분(t1－t2)만큼 제1 승강 기구(10A)에 의한 형체결의 이동량이 커지도록 형체결 장치(1)에 입력하여 높낮이 차이(β)를 결정한다. 형체결 장치(1)로의 입력 방법은, 작업자에 의한 조작 패널 등의 수동 입력이어도 좋고, 측정 장치 등과의 통신에 의한 자동 입력이어도 좋다.
제2 두께(t2)를 두껍게 하려면, 예를 들면, 제2 부위(3B)에서 제1 차분(t1－t2)만큼 제2 승강 기구(10B)에 의한 형체결의 이동량이 작아지도록 입력하여 높낮이 차이(β)를 결정한다. 혹은, 제1 부위(3A)에서 제1 차분(t1－t2)의 일부인 x만큼 형체결의 이동량이 커지고 제2 부위(3B)에서 제1 차분(t1－t2)의 나머지인 (t1－t2－x)만큼 형체결의 이동량이 작아지도록 높낮이 차이(β)를 결정해도 좋다. 두께(t1, t2)의 차분에 기초한 간단하고 쉬운 순서로 TTV가 보다 작아지는 높낮이 차이를 결정할 수 있다.
이와 같이 하여 높낮이 차이(β)가 결정되면, 형체결 장치(1)는, 제1 부위(3A)와 제2 부위(3B)가 결정한 높낮이 차이(β)가 되도록 제1 및 제2 승강 기구(10A, 10B)를 구동시킨다(순서 S13). 또한 높낮이 차이(β)를 유지한 상태에서 형체결한다(순서 S14). 수지 봉지에 의해 얻어진 수지 봉지품을 금형(30)으로부터 꺼내 TTV를 측정하여(순서 S11), 수지 봉지품의 평탄도를 평가한다.
소정의 조건에 합치될 때까지(순서 S15：No), 순서 S11∼S14를 반복해도 좋다. 소정의 조건에 합치되는 것은, 점점 감소되는 TTV의 변화량이 문턱값 이하가 되어 안정되는 것이어도 좋고, TTV가 품질적으로 허용할 수 있는 문턱값 이하가 되는 것이어도 좋고, TTV와는 관계없이 시험 횟수가 미리 결정해 둔 규정 횟수에 도달하는 것이어도 좋다.
소정의 조건에 합치되면(순서 S15：Yes), 도 3에 도시된 순서가 종료된다.
도 4는, 본 발명의 일실시 형태의 수지 봉지 방법의 다른 일례를 설명하는 흐름도이다. 도 4에 도시된 순서는, 도 3에 도시된 순서에 추가하여, 금형 교환을 절감하기 위한 순서를 더 포함하고 있다. 도 4에 도시된 순서에서는, 우선, 형체결 장치(1)에 금형(30)(「제1 금형」의 일례)이 장착된 상태에서 도 3에 도시된 순서 S11∼S14를 반복하여 소정의 조건에 합치되는 높낮이 차이(β)를 결정한다(순서 S21).
결정한 소정의 조건에 합치되는 높낮이 차이(β)를 기억시킨다(순서 S22). 형체결 장치(1)에 내장된 기억부에 기억시켜도 좋고, 형체결 장치(1)와 통신 가능한 외부 장치에 기억시켜도 좋고, 형체결 장치(1)로부터 분리하여 휴대 가능한 기억 매체에 기억시켜도 좋다. 형체결 장치(1)가 해당 장치에 고유의 장치 ID를 가지며, 금형(30)이 해당 금형에 고유의 금형 ID를 가지고 있는 경우, 장치 ID와 금형 ID의 조합에 결부된 높낮이 차이(β)를 기억시켜도 좋다.
그리고, 금형(30)을 형체결 장치(1)에 다시 장착할 때, 기억되어 있던 높낮이 차이(β)를 독출하여 소정의 조건에 합치된 높낮이 차이를 재현한다(순서 S23). 이 때, 장치 ID와 금형 ID의 조합을 대조함으로써, 해당 조합에 결부된 높낮이 차이(β)를 독출해도 좋다. 금형 교환이 절감되어 도 4에 도시된 순서가 종료된다.
도 3에 도시된 순서 S11∼S14의 수지 봉지 방법은, 형체결 장치(1)의 운전중에 검지한 검출치를 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)의 제어에 실시간으로 피드백하는 것이 아니라, 형체결 장치(1)의 운전 후에 수지 봉지품을 측정한 측정치를 피드백하여 복수의 승강 기구(10A, 10B,…)의 설정에 반영한다. 따라서, 가동 플라텐(3)내의 높낮이 차이(β)의 조정에서, 외란에 의한 오차가 포함되기 어렵다. 도 3에 도시된 순서 S11∼S14의 수지 봉지 방법에 의하면, 어떠한 설치 장소에서도 TTV가 작은 고정밀도의 수지 봉지품을 제조할 수 있다.
또한 도 4에 도시된 순서 S21∼S23의 수지 봉지 방법에 의하면, 시험을 반복하여 금형 교환시마다 조정편을 삽입하여 금형을 조정하거나 시험을 반복하여 가동 플라텐의 높낮이 차이를 결정할 필요가 없다.
장치 ID와 금형 ID의 조합에 결부된 높낮이 차이를 금형 교환시에 자동으로 독출하기 때문에, 조작 패널 등을 조작하여 수동으로 독출하는 경우와 비교하여 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다. 작업자의 조작에 기인하는 인위적 과오를 미리 막을 수 있다.
이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로서, 본 발명을 한정하여 해석하기 위한 것은 아니다. 실시 형태가 구비하는 각 요소 및 그 배치, 재료, 조건, 형상 및 사이즈 등은 예시한 것으로 한정되지는 않으며 적절히 변경할 수 있다. 또, 다른 실시 형태에서 나타낸 구성들을 영역적으로 치환하거나 또는 조합할 수 있다.
1…형체결 장치, 2…고정 플라텐, 3…가동 플라텐, 3A, 3B, 3C, 3D…제1 내지 제4 부위, 4…타이 바, 10…구동 기구, 10A, 10B, 10C, 10D…제1 내지 제4 승강 기구, 11…축부, 12…너트, 13…링, 14…체결 나사, 15…모터, 20…연결 구조, 21…체결 나사, 30…금형, 32…상형, 33…하형, 100…수지 봉지 장치,β…높낮이 차이.

Claims (6)

  1. 제1 승강 기구와 제2 승강 기구를 포함하는 복수의 승강 기구를 구비한 형체결 장치를 이용하여 전자 부품을 수지 봉지하는 방법으로서,
    수지 봉지에 의해 얻어진 수지 봉지품을 측정하여 두께의 최대치와 최소치 간의 차이인 TTV를 측정하는 것,
    상기 TTV가 보다 작아지도록 상기 제1 승강 기구에 대응하는 가동 플라텐의 제1 부위와 상기 제2 승강 기구에 대응하는 상기 가동 플라텐의 제2 부위 간의 높낮이 차이를 결정하는 것,
    상기 제1 부위와 상기 제2 부위가 상기 높낮이 차이가 되도록 상기 제1 승강 기구 및 상기 제2 승강 기구를 구동시키는 것, 및
    상기 높낮이 차이를 유지한 상태에서 형체결하는 것을 포함하는, 수지 봉지 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 높낮이 차이를 결정하는 것은,
    상기 제1 부위에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제1 두께와, 상기 제2 부위에 대응하는 위치에서 수지 봉지된 수지 봉지품의 제2 두께를 비교하고, 상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 제1 차분만큼 클 때,
    상기 제1 부위에서 상기 제1 차분만큼 형체결의 이동량이 커지도록 상기 높낮이 차이를 결정하거나,
    상기 제2 부위에서 상기 제1 차분만큼 형체결의 이동량이 작아지도록 상기 높낮이 차이를 결정하거나, 또는
    상기 제1 부위에서 상기 제1 차분의 일부만큼 형체결의 이동량이 커지고 상기 제2 부위에서 상기 제1 차분의 나머지만큼 형체결의 이동량이 작아지도록 상기 높낮이 차이를 결정하는, 수지 봉지 방법.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 TTV를 측정하는 것, 상기 높낮이 차이를 결정하는 것, 상기 구동시키는 것, 및 상기 높낮이 차이를 유지한 상태에서 형체결하는 것을 소정의 조건에 합치될 때까지 반복하는, 수지 봉지 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 형체결 장치에 제1 금형이 장착된 상태에서 상기 소정의 조건에 합치되는 상기 높낮이 차이를 결정하는 것,
    상기 소정의 조건에 합치되는 상기 높낮이 차이를 기억시키는 것, 및
    상기 제1 금형을 상기 형체결 장치에 다시 장착할 때, 기억된 상기 높낮이 차이를 독출하는 것을 더 포함하는, 수지 봉지 방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 형체결 장치는 해당 장치에 고유의 장치 ID를 가지며, 상기 제1 금형은 해당 금형에 고유의 금형 ID를 가지며,
    상기 제1 금형을 상기 형체결 장치에 다시 장착할 때, 상기 장치 ID와 상기 금형 ID의 조합을 대조함으로써, 해당 조합에 결부된 상기 높낮이 차이를 독출하는, 수지 봉지 방법.
  6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 형체결 장치는, 상기 제1 승강 기구와 상기 제2 승강 기구를 포함하는 4개의 승강 기구를 구비하고 있는, 수지 봉지 방법.
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