KR20240025364A

KR20240025364A - 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법

Info

Publication number: KR20240025364A
Application number: KR1020220103517A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2022-08-18
Filing date: 2022-08-18
Publication date: 2024-02-27
Also published as: WO2024039231A1

Abstract

본 발명은 비전검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법에 관한 것이다.
본 발명은, 평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈로서, 픽커(631)의 이동경로에 설치되어 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득부(480)과; 상기 저면이미지획득부(480)에 인접하여 설치되어 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 저면이미지획득부(480)을 거친 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 하나 이상의 측면이미지획득부(470)를 포함하며; 상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 상기 픽커(631)를 회전시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈을 개시한다.

Description

비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법 {Vision inspection module, vision inspection system having the same, and vision inspection method}

본 발명은 비전검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법에 관한 것이다.

반도체 공정을 마친 반도체소자는, 비전검사 등의 소정의 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하된다.

그리고 출하되는 반도체소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치게 된다.

또한 반도체소자는 최종적으로 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 정상상태 여부, 크랙(crack), 스크래치(scratch) 여부 등과 같은 반도체소자의 외관상태 및 표면에 형성된 마킹의 양호여부를 검사하는 공정을 거치게 된다.

한편 상기와 같은 반도체소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부의 검사가 추가되면서 그 검사시간 및 각 모듈들의 배치에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간 및 장치의 크기에 영향을 미치게 된다.

특히 다수의 소자들이 적재된 트레이의 로딩, 각 소자들에 대한 비전검사를 위한 하나 이상의 모듈, 검사 후 검사결과에 따른 언로딩모듈의 구성 및 배치에 따라서 장치의 크기가 달라진다.

그리고 장치의 크기는 소자검사라인 내에 설치될 수 있는 소자핸들러의 숫자를 제한하거나, 미리 정해진 숫자의 소자핸들러의 설치에 따라서 소자 생산을 위한 설치비용에 영향을 주게 된다.

이러한 문제점을 해결하고, 특허문헌 1과 같은 기술이 제안되었으며, 특허문헌 1에 따른 소자핸들러는, 비전검사 등을 위한 모듈들을 효율적으로 배치함으로써 소자에 대한 검사속도를 향상시키는 한편 장치의 크기를 줄여 궁극적으로 소자생산비용을 절감할 수 있다.

한편 특허문헌 1에 따른 소자핸들러는, 직사각형 소자를 중심으로 측면을 검사하는 한 쌍의 이미지획득부를 포함하는 측면검사부를 통하여, 소자 측면에 대한 비전검사를 수행한다.

그리고 특허문헌 2에 따른 측면검사부에 의한 소자의 측면검사시 도 5와 같은 상태로 소자가 픽업될 수 있다.

그런데 도 4와 같이 소자가 픽업되어 있는 경우, 측면검사부에 의한 비전검사시 이미지획득부에 대한 측면 상의 거리가 달라져 비전검사가 부정확하거나 불가능한 문제점이 있다.

이러한 문제점은 특허문헌 2의 경우에도 마찬가지로 발생된다.

(특허문헌 1) KR 10-2017-0140964 A

(특허문헌 2) KR 10-2019-0106098 A

본 발명의 목적은, 다각형 평면 형상을 가지는 소자에 대한 측면을 검사함에 있어서 소자의 측면이 이미지획득부의 광축과 수직을 이루도록 함으로써 정확하고 안정적인 비전검사를 수행할 수 있는 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법을 제공하는데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈로서, 픽커(631)의 이동경로에 설치되어 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득부(480)과; 상기 저면이미지획득부(480)에 인접하여 설치되어 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 저면이미지획득부(480)을 거친 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 하나 이상의 측면이미지획득부(470)를 포함하며; 상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 상기 픽커(631)를 회전시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈을 개시한다.

상기 측면이미지획득부(470)는, 소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 한 쌍으로 설치된 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)를 포함할 수 있다.

상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가지며, 상기 저면이미지획득부(480)를 거친 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 이동되어 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 1차 비전검사가 수행되고, 1차 비전검사가 수행된 소자(1)는 픽커(631)가 90˚회전된 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 다시 이동되어 상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 2차 비전검사가 수행될 수 있다.

상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)는, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 획득하는 카메라(510)와, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 상기 카메라(510)로 광을 가이드하는 광학계(550)와, 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하는 광학거리조절수단을 포함하는 이미지획득모듈을 포함할 수 있다.

상기 광학거리조절수단은, 상기 광학계(550)의 길이를 가변시켜 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

상기 광학거리조절수단은, 상기 이미지획득모듈을 이동시켜 소자(1)의 측면에 대한 상기 이미지획득모듈 사이의 거리를 조절하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

본 발명은 또한 복수의 소자(1)들이 적재된 트레이(2)가 로딩되는 로딩부(100)와; 상기 로딩부(100)부의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 상기와 같은 구성을 가지는 비전검사모듈(1000)과; 상기 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 소자(1)를 픽업하여 상기 비전검사모듈(1000)로 이송하며, 비전검사를 마친 소자(1)를 트레이(2)로 이송하여 적재하는 제1이송툴(630)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템을 개시한다.

상기 소자검사시스템은, 상기 비전검사를 마친 소자(1)들이 적재된 트레이(2)들을 언로딩하는 언로딩부(300)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1이송툴(630)은, 본체부(21)와, 상기 본체부(21)에 결합되어 상기 소자(1)의 제1평면의 이면(이하, 제2평면)을 흡착고정하며 하나 이상의 열로 배치되는 복수의 픽커(631)들을 포함할 수 있다.

상기 제1이송툴(630)은, 상기 픽커(631)를 상기 제1평면의 법선방향에 평행한 중심축에 대해 회전시키는 픽커회전구동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1이송툴(630)은, 일렬로 배치된 복수의 픽커(631)들에 의해 픽업된 복수의 소자(1)들이 상기 한 쌍의 제1반사부재(122) 사이에 순차적으로 위치되도록 상기 본체부(21)를 선형이동시키는 선형이동구동부를 추가로 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 소자검사시스템은, 소자(1)의 저면에 대한 2D검사를 수행하는 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와, 상기 제2이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 3D 비전검사부(410) 및 상기 2D 비전검사부(460)는, 상기 비전검사모듈(1000)의 전방에 배치될 수 있다.

본 발명은 또한, 평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사방법으로서, 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득단계(S10)과; 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 측면이미지획득단계(S30)를 포함하며; 상기 측면이미지획득단계(S30)의 수행 전에 상기 저면이미지획득단계(S10)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면 이미지 측정을 위한 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 정렬단계(S20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법을 개시한다.

상기 측면이미지획득단계(S30)는, 소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되는 한 쌍의 대향변에 대한 측면이미지를 획득할 수 있다.

상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가지며, 상기 측면이미지획득단계(S30)는, 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 비전검사를 수행하는 1차 비전검사단계(S31)와; 상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 1차 비전검사단계(S31) 후에 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 소자회전단계(S32)와; 상기 소자회전단계(S32) 후에 상기 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사를 수행하는 2차 비전검사단계(S33)를 포함할 수 있다.

상기 2차 비전검사단계(S33)는, 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하며 상기 비전검사를 수행할 수 있다.

상기 2차 비전검사단계(S33)는, 상기 광학계(550)의 길이를 가변시켜 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

상기 2차 비전검사단계(S33)는, 상기 카메라(510)를 포함하는 이미지획득모듈을 이동시켜 소자(1)의 측면에 대한 상기 이미지획득모듈 사이의 거리를 조절하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

본 발명에 따른 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법은, 소자에 대한 저면 이미지를 획득하고 비전검사대상인 측면이 측면비전검사부를 구성하는 이미지획득부의 광축에 수직을 이루도록 회전시킴으로써, 정확하고 안정적인 비전검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.

보다 구체적으로, 본 발명에 따른 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법은, 비전검사의 수행을 위하여 픽업된 소자의 저면 이미지를 획득한 후, 획득된 이미지의 분석에 의하여 비전검사대상인 측면이 측면비전검사부를 구성하는 이미지획득부의 광축에 수직을 이루도록 소자를 픽업하는 픽커를 회전시킴으로써, 정확하고 안정적인 비전검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 소자핸들러의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1의 소자핸들러 중 비전검사부의 일 예의 작동을 보여주는 개념도이다.
도 3은, 도 2에서 비전검사부의 변형예의 작동을 보여주는 개념도이다.
도 4는, 도 2의 비전검사부의 구성을 보여주는 측면도이다.
도 5는, 도 2의 비전검사부에 대한 소자의 정렬상태를 보여주는 개념도이다.
도 6은, 도 1에서 소자핸들러 중 비전검사부의 다른 예를 보여주는 개념도이다.
도 7은, 도 1에서 소자핸들러 중 비전검사부를 구성하는 이미지획득모듈의 일예를 보여주는 정면도이다.
도 8a 및 도 8b는, 도 1의 소자핸들러 중 비전검사부의 다른 변형례의 작동을 보여주는 개념도들이다.
도 9a 및 도 9b는, 도 1의 소자핸들러 중 비전검사부의 또 다른 변형례의 작동을 보여주는 개념도들이다.

이하, 본 발명에 따른 비전검사모듈, 그를 포함하는 소자검사시스템 및 비전검사방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 일 실시예에 따른 소자검사시스템은, 복수의 소자(1)들이 적재된 트레이(2)가 로딩되는 로딩부(100)와; 로딩부(100)부의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈(1000)과; 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 소자(1)를 픽업하여 비전검사모듈(1000)로 이송하며, 비전검사를 마친 소자(1)들을 트레이(2)로 이송하여 적재하는 제1이송툴(630)을 포함한다.

여기서 소자(1)는, 평면형상이 다각형, 특히 직사각형을 이루며 메모리, SD램, 플래쉬램, CPU, GPU 등 반도체 공정을 마친 반도체소자들이면 모두 그 대상이 될 수 있다.

상기 트레이(2)는, 하나 이상의 소자(1)들이 n×m 행렬의 기판배열(n, m은 2 이상의 자연수)을 이루어 적재되는 구성으로서, 메모리소자 등 적재되는 소자의 종류 또는 공정단계에 따라 규격화됨이 일반적이다.

상기 트레이(2)에는 소자(1)가 안착되기 위한 안착홈(미도시)가 상면에 형성될 수 있다.

상기 로딩부(100)는, 비전검사를 수행하기 위하여 검사대상인 소자(1)가 적재된 트레이(2)를 로딩하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다

예로서, 상기 로딩부(100)는, 도 1 및 한국 공개특허공보 제10-2008-0092671호에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 적재되는 트레이(2)의 이동을 안내하는 가이드부(미도시)와, 트레이(2)를 가이드부를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 비전검사모듈(1000)은, 로딩부(100)부의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하기 위해 소자(1)의 이미지를 카메라, 스캐너 등을 이용하여 이미지를 획득하는 구성으로, 검사대상이 되는 소자(1)의 종류, 검사의 종류 및 시스템의 구성에 따라 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 비전검사모듈(1000)은, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 내에서 트레이(2)의 이송방향이 Y축 방향인 경우, 비전검사모듈(1000)은 Y축 방향과 수직을 이루는 X축 방향 일측에 설치될 수 있다.

한편, 상기 비전검사모듈(1000)은, 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈로서 다양한 구성이 가능하다.

일 실시예로서, 상기 비전검사모듈(1000)는, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 제1이송툴(630)의 픽커(631)의 이동경로에 설치되어 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득부(480)과; 상기 저면이미지획득부(480)에 인접하여 설치되어 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 저면이미지획득부(480)을 거친 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 하나 이상의 측면이미지획득부(470)를 포함할 수 있다.

상기 저면이미지획득부(480)는, 픽커(631)의 이동경로에 설치되어 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 저면이미지획득부(480)는, 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 것을 고려하여 카메라, 스캐너로 구성될 수 있다.

그리고 상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 소자(1)의 저면 이미지는 후술하는 소자(1)의 회전정렬은 물론 소자(1)의 저면에 대한 상태, 특히 2D 검사를 수행하는데 활용될 수 있다.

한편, 상기 저면이미지획득부(480)는, 한국 공개특허공보 제10-2010-0122140호의 그 실시예, 특허문헌 2와 같이 구성될 수 있다

상기 측면이미지획득부(470)는, 상기 저면이미지획득부(480)에 인접하여 설치되어 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 저면이미지획득부(480)을 거친 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 측면이미지획득부(470)는, 특허문헌 1의 측면검사부, 특허문헌 2의 비전검사모듈이 될 수 있다.

특히, 상기 측면이미지획득부(470)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 한 쌍으로 설치된 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)를 포함할 수 있다.

상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)는, 소자(1)의 이동방향, 즉 X축방향과 수직을 이루는 Y축방향으로 간격을 두고 배치되며, 소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 한 쌍으로 설치되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)는, 카메라 및 광학계를 포함할 수 있으며, 특허문헌 2와 같이, 광학계의 구성에 따라서 하나의 카메라로 구성될 수 있다.

상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)에 의하여 상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가질 때, 상기 저면이미지획득부(480)를 거친 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 이동되어 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 1차 비전검사가 수행되고, 1차 비전검사가 수행된 소자(1)는 픽커(631)가 90˚회전(도 2(b))된 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 다시 이동되어 상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 2차 비전검사가 수행될 수 있다.

한편, 상기 픽커(631)가 복렬로 배치되어 도 3과 같이 이송되는 경우, 상기 측면이미지획득부(470)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 해당열에 대응되어 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)가 쌍을 이루어 배치될 수 있다.

상기와 같은 구성에 의하여, X축방향으로 배치된 복수의 픽커(631)들에 의하여 픽업된 소자(1)들이 X축방향으로 열을 이루고 각 열을 이루는 소자(1)들이 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472) 쌍의 사이로 이동하면서 소자(1)의 측면에 대한 이미지를 획득할 수 있다.

그리고 각 열의 소자(1)들이 제1방향, 예를 들면 -X축방향으로 이동되어 모든 소자(1)의 측면에 대한 이미지가 획득된 후 픽커(631)는 90°회전한 후 반대방향, 즉 +X축방향으로 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472) 쌍의 사이로 이동하면서 소자(1)의 측면에 대한 이미지를 획득할 수 있다.

한편, 상기 1차 비전검사 및 2차 비전검사 수행시 픽커(631)에 픽업된 소자(1)는, 측면이미지획득부(470)의 광축, 즉 Y축과 측면이 수직을 이룰 필요가 있다.

그러나 픽커(631)에 픽업된 소자(1)는, 픽업상태에 따라서 도 5에 도시된 바와 같이, Y축과 수직이 아닌 상태로 픽커(631)에 픽업될 수 있으며, 이 경우 측면이미지획득부(470)의 광축 방향의 측정거리가 달라져 FOV를 벗어나는 부분에 대한 이미지의 해상도가 비전검사에 적합하지 못한 상태가 될 수 있다.

여기서 측정거리를, 피사체의 표면으로부터 카메라와 같은 촬상장치에 이르는 광학적 거리로서, 측정거리가 FOV 범위 밖인 경우 선명도가 떨어져 비전검사가 부정확해지거나 불가능해지는 문제점이 있다.

이에, 상기 측면이미지획득부(470)에 의한 측면 이미지 획득 전에 측면이미지획득부(470)의 광축, 즉 Y축과 소자(1)의 측면이 이루는 각도가 수직을 이루도록, 즉 회전정렬이 필요하다.

따라서, 본 발명은, 상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 상기 픽커(631)를 회전시키는 제어부를 포함한다.

상기 제어부는, 상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 상기 픽커(631)를 회전시키는 구성으로서, 물리적 구성보다는 회로적 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

구체적으로, 상기 제어부는, 도 5에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 저면 이미지를 분석하여 측면이미지획득부(470)의 광축, 즉 Y축과 소자(1)의 측면이 이루는 각도 오차, 즉 90˚에 대한 각도 편차를 계산하고, 계산된 각도 편차를 기준으로 픽커(631)를 회전시킴으로써 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 제어할 수 있다.

여기서 상기 제어부는, 후술하는 픽커회전구동부를 회전시켜 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 계산된 각도 편차를 기준으로 픽커(631)를 회전시킬 수 있다.

한편, 상기 제어부는, 저면 이미지분석 및 픽커(631)의 회전제어는 물론 소자검사시스템의 전반적 제어를 수행할 수도 있음은 물론이다.

그리고 상기 비전검사모듈 및 제어부는 하나의 모듈을 구성하여, 소자검사시스템의 구체적 구성과 무관하게 독립적 모듈로서, 비전검사를 요하는 다양한 소자검사시스템에 적용될 수 있음은 물론이다.

상기 제1이송툴(630)은, 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 소자(1)를 픽업하여 비전검사모듈(1000)로 이송하며, 비전검사를 마친 소자(1)를 트레이(2)로 이송하여 적재하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제1이송툴(630)은, 특허문헌 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본체부와, 본체부에 결합되어 소자(1)의 제1평면의 이면(이하, 제2평면)을 흡착고정하며 하나 이상의 열로 배치되는 복수의 픽커(631)들을 포함할 수 있다.

상기 복수의 픽커(631)들은, 검사속도 등을 높이기 위하여 일렬 또는 복렬 등 복수개로 설치됨이 바람직하다.

상기 픽커(631)는, 진공압에 의하여 제2평면을 흡착고정하여 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 제1이송툴(630)은, 픽커(631)를 제1평면의 법선방향(-Z축방향)에 평행한 중심축(c)에 대해 회전시키는 픽커회전구동부를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1이송툴(630)은, 일렬로 배치된 복수의 픽커(631)들에 의해 픽업된 복수의 소자(1)들이 저면이미지획득부(480) 및 측면이미지획득부(470)를 포함하는 비전검사모듈(1000)로의 이동경로를 따라서 이동될 수 있도록 복수의 픽커(631)들이 결합된 본체부를 선형이동시키는 선형이동구동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1이송툴(630)은, 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향(도면기준 Y축방향)과 수직방향(도면기준 X축방향)으로 배치되는 제1가이드레일(40)을 따라서 이동되도록 제1가이드레일(40)과 결합될 수 있다.

상기 제1가이드레일(40)은, 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치되어 제1이송툴(630)을 지지함과 아울러 그 이동을 가이드하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

그리고 상기 소자검사시스템은, 비전검사를 마친 소자(1)들이 적재된 트레이(2)들을 언로딩하는 언로딩부(300)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 언로딩부(300)는, 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 분류하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 언로딩부(300)는, 로딩부(100)와 유사한 구성을 가지며, 소자(1)의 비전검사결과에 따라서 양품(G)의 소자(1)들이 언로딩되는 제1언로딩부(310), 불량1 또는 이상1(R1)으로 판단된 소자(1)들이 언로딩되는 제2언로딩부(320), 불량2 또는 이상2(R2)로 판단된 소자(1)들이 언로딩되는 제3언로딩부(330)를 포함할 수 있다.

그리고 상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(미도시)와, 가이드부를 따라서 트레이(2)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하는 언로딩트레이부들이 평행하게 복수개로 설치될 수 있다.

한편 트레이(2)는 로딩부(100) 및 언로딩부(310, 320, 330)들 사이에서 서로 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 상기 언로딩부(310, 320, 330)에 반도체소자(1)가 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(미도시)를 추가적으로 포함할 수 있다.

한편, 상기 언로딩부(310, 320, 330)에는, 각 언로딩트레이부 사이에서 각 언로딩트레이부의 분류등급에 따라서 소자(1)를 이송하기 위한 소팅툴(620)이 별도로 설치될 수 있다.

상기 소팅툴(620)은, 앞서 설명한 제1이송툴(630)과 동일하거나 유사한 구성을 가지며 복렬구조 또는 일렬구조를 가질 수 있으며, 제1가이드레일(40)과 평행하게 배치되는 제2가이드레일(60)을 따라 이동가능하게 설치될 수 있다.

한편, 상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)에서 로딩되는 트레이(2)에 소자(1)가 다시 적재된 후 언로딩되는 실시예를 들어 설명하였으나, 소자(1)가 담기는 포켓이 형성된 캐리어테이프에 적재시켜 언로딩하는, 소위 테이프 엔 릴 모듈을 포함하는 등 소자(1)를 담아 언로딩할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기와 같은 본 발명에 따른 소자검사시스템은, 소자 측면에 대한 비전검사를 수행함에 있어서, 소자 측면 검사를 위한 이미지획득부의 광축과 소자 측면에 대한 각도차를 보정함으로써 소자 측면에 대한 선명한 이미지의 획득이 가능하여 비전검사에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 기술적 요지는, 소자 측면에 대한 비전검사를 수행함에 있어서, 소자 측면 검사를 위한 이미지획득부의 광축과 소자 측면에 대한 각도차를 보정함에 있으며, 그 구현을 위한 물리적 구성과 무관하게 비전검사방법으로 구현될 수 있다.

즉, 본 발명에 따른 비전검사방법은, 평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사방법으로서, 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득단계(S10)과; 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 측면이미지획득단계(S30)를 포함하며; 상기 측면이미지획득단계(S30)의 수행 전에 상기 저면이미지획득단계(S10)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면 이미지 측정을 위한 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 정렬단계(S20)를 포함할 수 있다.

상기 저면이미지획득단계(S10)는, 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.

그리고 상기 저면이미지획득단계(S10)는, 소자(1)의 저면에 대한 2D검사 내지 3D검사, 특히 2D검사를 병행하여 수행할 수 있다.

상기 측면이미지획득단계(S30)는, 저면이미지획득단계(S10)과; 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.

예로서, 상기 측면이미지획득단계(S30)는, 소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되는 한 쌍의 대향변에 대한 측면이미지를 획득할 수 있다.

더 나아가 상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가질 때, 상기 측면이미지획득단계(S30)는, 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 비전검사를 수행하는 1차 비전검사단계(S31)와; 상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 1차 비전검사단계(S31) 후에 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 소자회전단계(S32)와; 상기 소자회전단계(S32) 후에 상기 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사를 수행하는 2차 비전검사단계(S33)를 포함할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 비전검사방법은, 상기 측면이미지획득단계(S30)의 수행 전에 상기 저면이미지획득단계(S10)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면 이미지 측정을 위한 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 정렬단계(S20)를 추가로 포함함을 특징으로 한다.

상기 정렬단계(S20)는, 상기 측면이미지획득단계(S30)의 수행 전에 상기 저면이미지획득단계(S10)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면 이미지 측정을 위한 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.

한편, 앞서 설명한 비전검사모듈(1000)은, 평면형상이 직사각형 형상을 가지는 소자(1)의 저면 및 4개의 측면에 대한 비전검사, 소위 5D 비전검사(5면 비전검사)를 수행하는 비전모듈로서 기능한다.

이에 비전검사특성에 따라서 상기 비전검사모듈(1000)에 의한 비전검사에 더하여, 소자(1)에 대한 비전검사내용에 따라서 상기 비전검사모듈(1000)에 의한 비전검사 전 및/또는 후에 추가 비전검사를 수행할 수 있다.

예를 들면, 본 발명에 따른 소자검사시스템은, 소자(1)의 저면에 대한 2D검사를 수행하는 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와, 제2이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 포함할 수 있다.

상기 3D 비전검사부(410)는, 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양하게 구성될 수 있다.

예를 들면, 상기 3D 비전검사부(410)는, 3D 비전검사를 위하여 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제1이미지획득부와, 제1이미지획득부의 이미지획득을 위하여 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 광을 조사하는 제1광원부를 포함할 수 있다.

그리고 상기 2D 비전검사부(460)는, 2D 비전검사를 위하여 제2이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제2이미지획득부와, 제2이미지획득부의 이미지획득을 위하여 제2이송툴(610)에 송하여 픽업된 소자(1)의 저면에 광을 조사하는 제2광원부를 포함할 수 있다.

한편, 상기 2D 비전검사부(460) 및 3D 비전검사부(410)는, 다양한 구성 및 배치를 가질 수 있다.

한국 공개특허공보 제10-2010-0122140호에 그 실시예 및 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.

여기서 상기 3D 비전검사부(410)의 제1광원부는, 다양한 구성이 가능하며 레이저와 같은 단색광, 백색광 등이 사용될 수 있다.

특히 측정대상인 3차원형상이 미세한 경우 레이저광의 경우 난반사가 커 그 측정이 곤란한바 난반사가 적은 백색광의 사용이 바람직하다.

그리고 상기 3D 비전검사부(410)의 제1광원부는, 소자(1)의 표면에 슬릿형태로 조사함이 바람직하며, 광원으로부터 광을 전달하는 광파이버와, 상기 광파이버와 연결되어 슬릿형상의 광을 소자(1)의 표면에 조사하는 슬릿부를 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 2D 비전검사부(460) 및 3D 비전검사부(410)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 비전검사모듈(1000)와 평행하게 배치될 수 있다.

특히 상기 2D 비전검사부(460) 및 3D 비전검사부(410)는, 비전검사모듈(1000)의 전방 측에 설치되어 비전검사모듈(1000)에 의한 5D 비전검사의 수행 전에 수행도록 할 수 있다.

한편, 비전검사대상인 소자(1)의 평면 형상이 직사각형 형상을 이루는 경우 장변 및 단변의 길이가 달라져서, 도 2 및 도 3과 같이 소자(1)를 회전시켜 비전검사의 수행시 소자(1) 측면에 대한 광학계의 초점의 보정이 필요하다.

구체적으로, 직사각형 형상의 소자(1)의 측면에 대한 이미지 획득에 있어서, 도 6, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 장변 측에서 단변 측으로 회전 또는 단변 측에서 장변 측으로 회전된다.

이때, 직사각형 형상의 소자(1)의 단변이 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)와 이루는 제1측정거리(D1)는, 소자(1)의 장변이 이루는 제2측정거리(D2)보다 작게 되며, 이에 따라서 소자(1)의 측면으로부터 카메라(510)에 이르는 거리가 달라진다.

이에 본 발명에 따른 비전검사모듈은, 도 6 내지 도 9b에 도시된 바와 같이, 비전검사대상인 소자(1)에 대한 광학거리(L)가 조정이 가능하도록 구성될 수 있다.

구체적으로, 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 획득하는 카메라(510)와, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 상기 카메라(510)로 광을 가이드하는 광학계(550)와, 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하는 광학거리조절수단을 포함할 수 있다.

상기 카메라(510)는, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 획득하는 구성으로서, 촬상소자로 이루어진 카메라로 구성될 수 있다.

상기 광학계(550)는, 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 상기 카메라(510)로 광을 가이드하는 구성으로서, 하나 이상의 렌즈, 반사경 등을 포함하여 구성될 수 있다.

예로서, 상기 광학계(550)는, 상기 카메라(510)가 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면을 정면으로 향하는 경우, 하나 이상의 렌즈로 구성될 수 있다.

다른 예로서, 상기 광학계(550)는, 상기 카메라(510)가 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면과 수직을 향하는 경우, 하나 이상의 렌즈에 더하여 광경로(L)을 수직으로 전환시키기 위한 반사부재(551)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 광학계(550)는, 주변광의 간섭을 배제하기 위하여 경통(552) 등을 포함할 수 있다.

또한, 상기 광학계(550)는, 상기 카메라(510)가 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면에 대한 이미지 획득이 원활하도록 상기 카메라(510)가 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면에 대하여 광을 조사하는 광조사부(520)를 포함할 수 있다.

상기 광조사부(520)는, 상기 카메라(510)가 소자(1)의 장변 또는 단변의 측면에 광을 조사하는 구성으로서, 비전검사의 종류 및 내용에 따라서 가시광선, 특정 파장의 단일광 등을 조사하는 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 광학거리조절수단은, 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하는 구성으로서, 광학거리(L)의 조절방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 광학거리조절수단은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 렌즈, 거울등으로 이루어진 광학계(550)의 길이를 가변시켜 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

구체적으로, 상기 광학거리조절수단은, 상기 카메라(510) 및 상기 반사부재(551) 사이의 거리, 경통의 길이를 가변시킴으로써, 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

또한, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(510)를 이동시킴으로써 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

이때 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학계(550)의 광학거리(L)의 거리가 가변된다.

다른 예로서, 상기 광학거리조절수단은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472) 각각을 하나의 이미지획득모듈로 하고, 상기 이미지획득모듈을 이동시켜 소자(1)의 측면에 대한 이미지획득모듈 사이의 거리를 조절하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

이때, 상기 광학거리조절수단은, 상기 이미지획득모듈을 소자(1)의 측면에 대하여 측정거리가 증가하거나 감소하도록 선형이동시키는 선형이동부(560)을 포함할 수 있다.

상기 선형이동부(560)는, 상기 이미지획득모듈을 소자(1)의 측면에 대하여 측정거리가 증가하거나 감소하도록 선형이동시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

소자(1)의 회전에 의하여 이미지 획득 대상이 소자(1)의 단변에서 장변으로 변경되는 경우 제1측정거리(D1)에서 제2측정거리(D2)로 증가하거나, 반대로 소자(1)의 장변에서 단변으로 변경되는 경우 제2측정거리(D2)에서 제1측정거리(D1)로 감소할 때, 상기 광학거리조절수단에 의하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시킬 수 있다.

한편, 직사각형 형상의 소자(1)는, 측면이미지획득부(470)를 지나면서 한 쌍의 제1측면에 대한 1차 비전검사 후, 90°의 회전 후 다시 측면이미지획득부(470)를 지나면서 한 쌍의 제2측면에 대한 2차 비전검사를 수행한다.

이때 1차 비전검사 후 90°회전 후, 각 소자(1)의 회전정밀도에 따라서 각 소자(1)의 회전이 적절히 이루어졌는지 검사할 필요가 있다.

이에 상기 저면이미지획득부(480)는, 소자(1)의 이동방향을 기준으로 상기 측면이미지획득부(470)의 전방 및 후방에 각각 설치되어 전방에 설치된 저면이미지획득부(480)에 의하여 1차 비전검사 전의 각 소자의 회전상태(도 5 참조)를 검사하고, 1차 비전 검사 및 90°의 회전 후 후방에 설치된 후방이미지획득부(미도시)에 의하여 각 소자의 회전상태(도 5참조)를 검사할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

1 : 소자
470 : 측면이미지검사부 480 : 저면이미지검사부

Claims

평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈로서,
픽커(631)의 이동경로에 설치되어 픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득부(480)과;
상기 저면이미지획득부(480)에 인접하여 설치되어 소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 저면이미지획득부(480)을 거친 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 하나 이상의 측면이미지획득부(470)를 포함하며;
상기 저면이미지획득부(480)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면이미지획득부(470)의 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 상기 픽커(631)를 회전시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
청구항 1에 있어서,
상기 측면이미지획득부(470)는,
소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 한 쌍으로 설치된 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
청구항 2에 있어서,
상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가지며,
상기 저면이미지획득부(480)를 거친 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 이동되어 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 1차 비전검사가 수행되고,
1차 비전검사가 수행된 소자(1)는 픽커(631)가 90˚회전된 후 상기 제1측면이미지획득부(471) 및 상기 제2측면이미지획득부(472)로 다시 이동되어 상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 2차 비전검사가 수행되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
청구항 3에 있어서,
상기 제1측면이미지획득부(471) 및 제2측면이미지획득부(472)는,
소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 획득하는 카메라(510)와,
소자(1)의 장변 또는 단변의 측면의 이미지를 상기 카메라(510)로 광을 가이드하는 광학계(550)와,
소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하는 광학거리조절수단을 포함하는 이미지획득모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
청구항 4에 있어서,
상기 광학거리조절수단은,
상기 광학계(550)의 길이를 가변시켜 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
청구항 4에 있어서,
상기 광학거리조절수단은, 상기 이미지획득모듈을 이동시켜 소자(1)의 측면에 대한 상기 이미지획득모듈 사이의 거리를 조절하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
복수의 소자(1)들이 적재된 트레이(2)가 로딩되는 로딩부(100)와;
상기 로딩부(100)부의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 따른 비전검사모듈(1000)과;
상기 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 소자(1)를 픽업하여 상기 비전검사모듈(1000)로 이송하며, 비전검사를 마친 소자(1)를 트레이(2)로 이송하여 적재하는 제1이송툴(630)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 7에 있어서,
상기 소자검사시스템은,
상기 비전검사를 마친 소자(1)들이 적재된 트레이(2)들을 언로딩하는 언로딩부(300)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 7에 있어서,
상기 제1이송툴(630)은,
본체부(21)와, 상기 본체부(21)에 결합되어 상기 소자(1)의 제1평면의 이면(이하, 제2평면)을 흡착고정하며 하나 이상의 열로 배치되는 복수의 픽커(631)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 9에 있어서,
상기 제1이송툴(630)은, 상기 픽커(631)를 상기 제1평면의 법선방향에 평행한 중심축에 대해 회전시키는 픽커회전구동부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 10에 있어서,
상기 제1이송툴(630)은, 일렬로 배치된 복수의 픽커(631)들에 의해 픽업된 복수의 소자(1)들이 상기 한 쌍의 제1반사부재(122) 사이에 순차적으로 위치되도록 상기 본체부(21)를 선형이동시키는 선형이동구동부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 10에 있어서,
소자(1)의 저면에 대한 2D검사를 수행하는 제2이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와,
상기 제2이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
청구항 12에 있어서,
상기 3D 비전검사부(410) 및 상기 2D 비전검사부(460)는, 상기 비전검사모듈(1000)의 전방에 배치된 것을 특징으로 하는 소자검사시스템.
평면형상이 다각형 형상을 가지며 픽커(631)에 의하여 픽업된 상태로 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사방법으로서,
픽커(631)에 픽업된 소자(1) 저면의 저면 이미지를 획득하는 저면이미지획득단계(S10)과;
소자측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 소자(1) 측면의 측면 이미지를 획득하는 측면이미지획득단계(S30)를 포함하며;
상기 측면이미지획득단계(S30)의 수행 전에 상기 저면이미지획득단계(S10)에 의하여 획득된 저면 이미지를 분석하여 상기 측면 이미지 측정을 위한 광축에 대한 소자(1)의 측면이 수직을 이루도록 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 정렬단계(S20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
청구항 14에 있어서,
상기 측면이미지획득단계(S30)는,
소자(1)를 픽업한 픽커(631)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되는 한 쌍의 대향변에 대한 측면이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
청구항 15에 있어서,
상기 소자(1)는 평면형상이 직사각형 형상을 가지며,
상기 측면이미지획득단계(S30)는,
상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 한 쌍의 제1측면에 대한 비전검사를 수행하는 1차 비전검사단계(S31)와;
상기 제1측면과 수직을 이루며 서로 대향되는 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사의 수행을 위하여 상기 1차 비전검사단계(S31) 후에 소자(1)를 픽업하는 픽커(631)를 회전시키는 소자회전단계(S32)와;
상기 소자회전단계(S32) 후에 상기 한 쌍의 제2측면에 대한 비전검사를 수행하는 2차 비전검사단계(S33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
청구항 16에 있어서,
상기 2차 비전검사단계(S33)는,
소자(1)의 장변 또는 단변로부터 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지하며 상기 비전검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
청구항 17에 있어서,
상기 2차 비전검사단계(S33)는,
상기 광학계(550)의 길이를 가변시켜 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
청구항 4에 있어서,
상기 2차 비전검사단계(S33)는,
상기 카메라(510)를 포함하는 이미지획득모듈을 이동시켜 소자(1)의 측면에 대한 상기 이미지획득모듈 사이의 거리를 조절하여 소자(1)의 장변 또는 단변로부터 상기 카메라(510)에 이르는 광학거리(L)를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.