KR102594344B1 - 소자핸들러 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 복수의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)가 로딩되어 선형이동시키는 로딩부(100)와; 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제1저면비전검사부와; 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치된 제1가이드레일(680)과; 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제1이송툴(610)과; 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 제2가이드레일(690)과; 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제2저면비전검사부와; 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제2이송툴(630)과; 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 언로딩부(310, 320, 330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러 {Device handler}
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자에 대한 비전검사를 수행하는 소자핸들러에 관한 것이다.
반도체 공정을 마친 반도체소자는, 비전검사 등의 소정의 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하된다.
그리고 출하되는 반도체소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치게 된다.
또한 반도체소자는 최종적으로 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 정상상태 여부, 크랙(crack), 스크래치(scratch) 여부 등과 같은 반도체소자의 외관상태 및 표면에 형성된 마킹의 양호여부를 검사하는 공정을 거치게 된다.
한편 상기와 같은 반도체소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부의 검사가 추가되면서 그 검사시간 및 각 모듈들의 배치에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간 및 장치의 크기에 영향을 미치게 된다.
특히 다수의 소자들이 적재된 트레이의 로딩, 각 소자들에 대한 비전검사를 위한 하나 이상의 모듈, 검사 후 검사결과에 따른 언로딩모듈의 구성 및 배치에 따라서 장치의 크기가 달라진다.
그리고 장치의 크기는 소자검사라인 내에 설치될 수 있는 소자핸들러의 숫자를 제한하거나, 미리 정해진 숫자의 소자핸들러의 설치에 따라서 소자 생산을 위한 설치비용에 영향을 주게 된다.
본 발명의 목적은, 비전검사 등을 위한 모듈들을 효율적으로 배치함으로써 소자에 대한 검사속도를 향상시키는 한편 장치의 크기를 줄여 궁극적으로 소자생산비용을 절감할 수 있는 소자핸들러을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 복수의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)가 로딩되어 선형이동시키는 로딩부(100)와; 상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제1저면비전검사부와; 상기 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치된 제1가이드레일(680)과; 상기 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 상기 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제1이송툴(610)과; 상기 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 제2가이드레일(690)과; 상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제2저면비전검사부와; 상기 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 상기 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제2이송툴(630)과; 상기 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 상기 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 언로딩부(310, 320, 330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.
상기 제1가이드레일(680)과 결합되며 상기 제1이송툴(610)이 상기 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 상기 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 제1상면비전검사부(420)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2가이드레일(690)과 결합되며 상기 제1이송툴(610)이 상기 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 상기 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 제2상면비전검사부(440)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제1저면비전검사부는, 상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와, 상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 포함할 수 있다.
상기 제2저면비전검사부는, 상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대하여 추가 2D 비전검사 및 추가 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하는 추가비전검사부(430)와, 상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 직사각형 소자(1)의 측면에 대한 비전검사를 수행하는 측면검사부(470)를 포함할 수 있다.
상기 추가비전검사부(430) 및 상기 측면검사부(470)는, 상기 로딩부(100)로부터 순차적으로 배치될 수 있다.
상기 측면검사부(470)는, 상기 제2이송툴(630)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 이동되는 소자(1)의 측면에 대한 이미지를 획득하는 한 쌍의 이미지획득부(471)를 포함할 수 있다.
상기 소자(1)는, 평면형상이 직사각형이며, 상기 제2이송툴(630)이 상기 한 쌍의 이미지획득부(471) 사이로 이동될 때 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)는 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제1측면들에 대한 이미지를 획득하고, 상기 제2이송툴(630)은 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)가 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득하도록 상기 소자(1)를 90° 회전시킨 후 상기 로딩부(100) 쪽으로 재이동되면서 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)가 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
상기 제2이송툴(630)은, 하나 이상의 열로 배치된 복수의 픽커들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 다수의 소자들이 적재된 트레이를 로딩하는 로딩부에서, 비전검사를 위한 비전검사모듈을 로딩부의 일측에 위치시키고 비전검사를 위하여 트레이로부터 소자를 픽업한 이송툴이 비전검사모듈로 이동될 때 트레이에 적재되어 있는 소자들의 상면에 대한 검사를 수행하는 상면검사모듈이 이송툴의 이동과 연동되어 소자들에 대한 상면검사하도록 함으로써, 모듈들의 효율적 배치에 따라 소자핸들러의 크기를 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자핸들러는, 모듈들의 효율적 배치에 따라 동일크기를 기준으로, 여유공간을 확보함에 따라서 추가 비전검사를 위한 추가 비전검사모듈의 설치가 가능하여, 해상도 또는 검사내용이 다른 비전검사를 추가로 수행할 수 있는 구성이 가능하여 소자핸들러의 기능을 추가할 수 있는 이점이 있다.
또한 비전검사 및 상면검사가 순차적으로 이루어짐으로써 소자에 대한 검사효율을 높여 소자핸들러의 검사속도를 향상시키게 되고, 궁극적으로 소자핸들러의 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명의 제1실시예에 따른 소자핸들러의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1에서 측면검사부의 일 예를 보여주는 개념도이다.
도 3은, 도 1에서 측면검사부의 다른 예를 보여주는 개념도이다.
이하, 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)가 로딩되어 선형이동시키는 로딩부(100)와; 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제1저면비전검사부와; 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치된 제1가이드레일(680)과; 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제1이송툴(610)와; 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 언로딩부(310, 320, 330)를 포함한다.
여기서 소자(1)는, SD램, 플래쉬램, CPU, WLCSP 등 반도체 공정을 마친 반도체 소자들이면 모두 그 대상이 될 수 있다.
상기 트레이(2)는, 복수의 소자(1)들이 8×10 등 행렬을 이루어 적재되어 이송되는 구성으로서, 메모리소자 등 규격화됨이 일반적이다.
상기 로딩부(100)는, 검사대상인 소자(1)를 담아 비전검사를 수행할 수 있도록 로딩하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다
예로서, 상기 로딩부(100)는, 트레이(2)에 형성된 안착홈에 안착된 상태로 다수개의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)을 이송한다.
상기 로딩부(100)는 다양한 구성이 가능하며, 도 1 및 한국 공개특허공보 제10-2008-0092671호에 도시된 바와 같이, 다수개의 소자(1)들이 적재되는 트레이(2)의 이동을 안내하는 가이드부(미도시)와, 트레이(2)가 가이드부를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1저면비전검사부는, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 2D 비전검사 및 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나의 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 제1저면비전검사부는, 소자(1)의 저면 등에 대한 외관을 카메라, 스캐너 등을 이용하여 이미지를 획득하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 제1저면비전검사부에 의하여 획득된 이미지는, 프로그램 등을 이용하여 이미지 분석 후 불량여부 등의 비점검사에 활용된다.
한편 상기 제1저면비전검사부는, 비전검사의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 특히 2D 비전검사 및 3D 비전검사를 모두 수행하도록 구성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 제1저면비전검사부는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 포함할 수 있다.
상기 3D 비전검사부(410)는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양하게 구성될 수 있다.
예를 들면, 상기 3D 비전검사부(410)는, 3D 비전검사를 위하여 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제1이미지획득부와, 제1이미지획득부의 이미지획득을 위하여 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 광을 조사하는 제1광원부를 포함할 수 있다.
그리고 상기 2D 비전검사부(460)는, 2D 비전검사를 위하여 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제2이미지획득부와, 제2이미지획득부의 이미지획득을 위하여 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 광을 조사하는 제2광원부를 포함할 수 있다.
한편 상기 제1저면비전검사부는, 2D 비전검사부(460) 및 3D 비전검사부(720)의 구성 및 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
먼저, 상기 제1저면비전검사부는, 한국 공개특허공보 제10-2010-0122140호에 그 실시예 및 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다
여기서 상기 3D 비전검사부(410)의 제1광원부는, 다양한 구성이 가능하며 레이저와 같은 단색광, 백색광 등이 사용될 수 있다.
특히 측정대상인 3차원형상이 미세한 경우 레이저광의 경우 난반사가 커 그 측정이 곤란한바 난반사가 적은 백색광의 사용이 바람직하다.
그리고, 상기 3D 비전검사부(410)의 제1광원부는, 소자(1)의 표면에 슬릿형태로 조사함이 바람직하며, 광원으로부터 광을 전달하는 광파이버와, 상기 광파이버와 연결되어 슬릿형상의 광을 소자(1)의 표면에 조사하는 슬릿부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1가이드레일(680)은, 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치되어 후술하는 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부를 지지함과 아울러 그 이동을 가이드하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 제1가이드레일(680)은, 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부(420)의 선형이동을 구동하기 위한 선형구동모듈이 설치되며, 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부(420)가 서로 연동되어 이동될 수 있도록 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부(420)가 모두 결합되어 지지되는 지지부재(681)가 이동가능하게 결합될 수 있다.
상기 선형구동모듈은, 지지부재(681) 등을 제1가이드레일(680)을 따라서 선형이동시키기 위한 구성으로, 회전모터, 벨트 및 풀리의 구성, 스크류잭 구성 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 지지부재(681)는, 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부(420)가 서로 연동되어 이동될 수 있도록 제1이송툴(610) 및 제1상면비전검사부(420)가 모두 결합되는 구성으로서, 제1가이드레일(680)을 따라서 선형이동가능하게 이동될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 제1이송툴(610)은, 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제1이송툴(610)은, 소자(1)를 픽업하기 위한 하나 이상의 픽업툴(미도시)들을 포함하며, 픽업툴은 검사속도 등을 높이기 위하여 일렬 또는 복렬 등 복수개로 설치됨이 바람직하다.
상기 픽업툴은, 진공압에 의하여 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 제1가이드레일(680)에는, 제1가이드레일(680)과 결합되며 제1이송툴(610)이 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 제1상면비전검사부(420)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 제1상면비전검사부(420)는, 제1가이드레일(680)과 결합되며 제1이송툴(610)이 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 제1상면비전검사부(420)는, 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 이미지를 획득하고 획득된 소자(1)에 대한 이미지, 특히 제1저면비전검사부에 의하여 획득되는 저면에 대응하여 소자(1)의 상면에 대한 이미지를 분석하여 그 상태를 검사할 수 있도록 구성될 수 있다.
특히, 상기 제1상면비전검사부(420)는, 문자, 표식 등 소자(1)의 상면에 표시된 마킹을 검사하는데 활용될 수 있다.
한편, 상기 제1상면비전검사부(420)는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 제1저면비전검사부에서 검사를 마친 후 트레이(2)에 재적된 소자(1)들에 대한 비전검사를 수행하는 것이 가장 효율적이다.
그리고 상기 제1상면비전검사부(420)는, 검사조건에 따라서 하나의 소자(1), 또는 2개 이상의 소자(1)에 대한 이미지를 획득하도록 구성될 수 있다.
이때 상기 제1상면비전검사부(420)는, 검사 및 이동효율을 위하여 제1이송툴(610)의 이동과 연동되어 이동될 수 있다.
상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)와 유사한 구성을 가지며, 소자(1)의 검사결과의 수에 따라서 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급이 부여되도록 구성됨이 바람직하다.
그리고 상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(미도시)와, 트레이(2)가 가이드부를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하는 언로딩트레이부들이 평행하게 복수개로 설치될 수 있다.
한편 상기 트레이(2)는, 로딩부(100) 및 언로딩부(310, 320, 330)들 사이에서 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 언로딩부(310, 320, 330)에 소자(1)가 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(200)를 추가적으로 포함할 수 있다.
이때 상기 빈트레이부(200)는, 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(미도시)와, 트레이(2)가 가이드부를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 언로딩부(310, 320, 330)에는, 각 언로딩트레이부 사이에서 각 언로딩트레이부의 분류등급에 따라서 소자(1)를 이송하기 위한 소팅툴(620)이 별도로 설치될 수 있다.
상기 소팅툴(620)은, 앞서 설명한 제1이송툴(610)과 동일하거나 유사한 구성을 가지며 복렬구조 또는 일렬구조를 가질 수 있다.
한편 상기 언로딩부(310, 320, 330)는, 로딩부(100)에서 로딩되는 트레이(2)에 다시 적재된 상태로 언로딩되는 실시예를 들어 설명하였으나, 소자(1)가 담기는 포켓이 형성된 캐리어테이프에 적재시켜 언로딩하는, 소위 테이프 엔 릴 모듈을 포함하는 등 소자(1)를 담아 언로딩할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기와 같은 구성을 가지는 소자핸들러는, 다수의 소자(1)들이 적재된 트레이(2)를 로딩하는 로딩부(100)에서, 비전검사를 위한 비전검사모듈(제1저면비전검사부)을 로딩부(100)의 일측에 위치시키고 비전검사를 위하여 트레이(2)로부터 소자(1)를 픽업한 제1이송툴(610)이 비전검사모듈로 이동될 때 트레이(2)에 적재되어 있는 소자(1)들의 상면에 대한 검사를 수행하는 상면검사모듈(제1상면비전검사부(420))이 제1이송툴(610)의 이동과 연동되어 소자(1)들에 대한 상면검사하도록 함으로써, 모듈들의 효율적 배치에 따라 소자핸들러의 크기를 줄일 수 있는 이점이 있다.
한편 본 발명에 따른 소자핸들러는, 상기와 같은 제1저면비전검사부 및 제1상면비전검사부(420)의 배치에 따라서 공간적 여유가 있는바, 제1저면비전검사부 및 제1상면비전검사부(420)와 다른 종류의 비전검사를 수행하는 추가 비전검사모듈의 설치 등 소자핸들러에 추가 기능을 부여하기 위한 모듈들이 추가로 설치될 수 있다.
예로서, 본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 로딩부(100)의 트레이(2)의 이송방향을 기준으로, 제1가이드레일(680)의 후방에서 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 제2가이드레일(690)과; 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제2저면비전검사부와; 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제2이송툴(630)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2가이드레일(690)은, 로딩부(100)의 트레이(2)의 이송방향을 기준으로, 제1가이드레일(680)의 후방에서 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 구성으로서 제1가이드레일(680)과 유사하게 구성될 수 있다.
상기 제2저면비전검사부는, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 2D 비전검사 및 3D비전검사 중 적어도 하나의 추가 비전검사를 수행하는 구성으로서 제1저면비전검사부와 유사한 구성을 가질 수 있으며, 비전검사의 종류 및 방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제2저면비전검사부는, 미세크랙, 미세스크레치, 버어(Burr) 등의 검사 등 해상도 등을 달리하여 2D 비전검사 및 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하도록 구성될 수 있다.
구체적인 예로서, 상기 제2저면비전검사부는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대하여 추가 2D 비전검사 및 추가 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하는 추가비전검사부(430)와, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 직사각형 소자(1)의 측면에 대한 비전검사를 수행하는 측면검사부(470)를 포함할 수 있다.
상기 추가비전검사부(430)는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대하여 추가 2D 비전검사 및 추가 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하는 구성으로서 비전검사방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 측면검사부(470)는, 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 직사각형 소자(1)의 측면에 대한 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 측면검사부(470)는, 제2이송툴(630)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 이동되는 소자(1)의 측면에 대한 이미지를 획득하는 한 쌍의 이미지획득부(471)를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 이미지획득부(471)는, 제2이송툴(630)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 제2이송툴(630)에 의하여 픽업된 하나 이상의 소자(1)에 대한 측면 이미지를 획득하는 구성으로서, 카메라, 스캐너 등 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)의 획득방식은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 평면형상이 직사각형이고, 제2이송툴(630)이 한 쌍의 이미지획득부(471) 사이로 이동될 때 한 쌍의 이미지획득부(471)는 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제1측면들에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
그리고, 도 2(a) 또는 도 3(a)에 도시된 바와 같이, 제2이송툴(630)이 한 쌍의 이미지획득부(471) 사이로 이동될 때 한 쌍의 이미지획득부(471)는 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제1측면들에 대한 이미지를 획득한 후, 도 2(b) 및 도 3(b)에 도시된 바와 같이 제2이송툴(630)은 한 쌍의 이미지획득부(471)가 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득하도록 소자(1)를 90° 회전시킨 후 도 2(c) 및 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 쪽으로 재이동되면서 한 쌍의 이미지획득부(471)가 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
다시 말하면, 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)는, 도 2(a) 또는 도 3(a)에 도시된 바와 같이, 소자(1)를 픽업한 제2이송툴(630)이 제1방향(예를 들면 로딩부(100)로부터 멀어지는 방향)으로 이동되면서 제1측면들에 대한 이미지를 1차로 획득하고, 도 2(b) 및 도 3(b)에 도시된 바와 같이 제2이송툴(630)에 의하여 90° 회전된 후, 도 2(c) 및 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 소자(1)를 픽업한 제2이송툴(630)이 제2방향(예를 들면 로딩부(100) 쪽으로 향하는 방향)으로 이동되면서 제2측면들에 대한 이미지를 2차로 획득할 수 있다.
여기서 상기 제2이송툴(630)은, 하나 이상의 열로 배치된 복수의 픽커들을 포함할 수 있다.
이때, 상기 이미지획득부(471)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 각 열의 픽커들을 기준으로 서로 대향되어 한 쌍씩 설치될 수 있다.
한편 상기 추가비전검사부(430) 및 측면검사부(470)는, 로딩부(100)로부터 순차적으로 배치될 수 있다.
제2이송툴(630)은, 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 로딩부(100)로부터 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 구성으로서, 앞서 설명한 제1이송툴(610)과 동일하거나 유사한 구성을 가질 수 있다.
한편 상기 제2가이드레일(690)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 제1상면비전검사부(420)와 유사한 검사를 수행하는 후속상면비전검사부(미도시), 즉 제2상면비전검사부(440)가 추가로 설치될 수 있다.
즉, 상기 제2저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(440)는, 제1저면비전검사부 및 제1상면비전검사부(420)의 결합 및 이동과 동일하거나 유사하게 설치될 수 있다.
달리 설명하면, 상기 제1저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(420)의 조합의 구성은, 도 5에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향으로 복수개의 열(도 5의 경우 2열로 배치)로 배치될 수 있다.
이때 상기 제1저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(420)는, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직인 방향으로 배치될 수 있다.
그리고 상기 제2상면비전검사부(420)가 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직인 방향으로 선형이동될 수 있도록 하나 이상의 가이드레일(680, 690)이 설치될 수 있다.
한편 상기 제2가이드레일(690)은, 제2이송툴(690) 및 제2상면비전검사부(420)의 선형이동을 가이드하기 위한 구성으로서, 제1가이드레일(680)과 유사한 구성을 가질 수 있다.
더 나아가, 상기 제2가이드레일(690)은, 제1가이드레일(680)과 하나를 이룰 수 있으며, 이때 제1저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(420)는 제1가이드레일(680)의 전방측에, 제2저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(440)는, 제1가이드레일(680)의 전방측에 배치될 수 있다.
상기 제2저면비전검사부는, 제1상면비전검사부(420)와 유사한 검사를 수행하는 구성으로서, 제1상면비전검사부(420)와 유사한 구성을 가질 수 있으며, 2D 비전검사 및 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나의 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편, 상기 소자핸들러는, 제1저면비전검사부 및 제2상면비전검사부(420)의 조합의 구성에 더하여, 도 4에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송경로 상에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제3상면비전검사부(450)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제3상면비전검사부(450)는, 로딩부(100) 및 언로딩부(310, 320, 330)들 사이에서 트레이이송장치(미도시)에 의하여 트레이(2)의 이송시 그 간섭을 회피하기 위하여, 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송경로에 대하여 수직을 이루는 수평방향으로 선형이동되도록 설치될 수 있다.
즉, 상기 제3상면비전검사부(450)는, 로딩부(100)의 끝단 부분에 설치되어 트레이이송장치(미도시)에 의하여 트레이(2)의 이송시 그 간섭을 회피하기 위하여, 로딩부(100)의 일측, 즉 도면에서 우측으로 이동되도록 설치될 수 있다.
한편 상기 제3상면비전검사부(450)는, 앞서 설명한 제1상면비전검사부(420) 또는 제2상면비전검사부(440)와 유사한 구성으로서, 2D 비전검사 및 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나의 비전검사를 수행하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
100 : 로딩부
300 : 언로딩부
610 : 제1이송툴 630 : 제2이송툴

Claims (9)

  1. 복수의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)가 로딩되어 선형이동시키는 로딩부(100)와;
    상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제1저면비전검사부와;
    상기 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치된 제1가이드레일(680)과;
    상기 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 상기 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제1이송툴(610)과;
    상기 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 제2가이드레일(690)과;
    상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제2저면비전검사부와;
    상기 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 상기 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제2이송툴(630)과;
    상기 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 상기 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 언로딩부(310, 320, 330)를 포함하며,
    상기 제1저면비전검사부는,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업되어 이송되는 소자(1)의 저면에 대한 3D 비전검사를 수행하는 3D 비전검사부(410)와,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 2D 비전검사를 수행하는 2D 비전검사부(460)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  2. 복수의 소자(1)들이 담긴 트레이(2)가 로딩되어 선형이동시키는 로딩부(100)와;
    상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제1저면비전검사부와;
    상기 로딩부(100)에서의 트레이(2) 이동방향과 수직으로 배치된 제1가이드레일(680)과;
    상기 제1가이드레일(680)을 따라서 이동되도록 상기 제1가이드레일(680)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제1저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제1이송툴(610)과;
    상기 제1가이드레일(680)과 평행하게 배치된 제2가이드레일(690)과;
    상기 로딩부(100) 내의 트레이(2)의 이송방향과 수직을 이루어 상기 로딩부(100)의 일측에 설치되어 소자(1)에 대한 비전검사를 수행하는 제2저면비전검사부와;
    상기 제2가이드레일(690)을 따라서 이동되도록 상기 제2가이드레일(690)과 결합되며 비전검사를 수행하기 위하여 상기 로딩부(100)로부터 상기 제2저면비전검사부로 소자를 픽업하여 이송하는 제2이송툴(630)과;
    상기 로딩부(100)에서 비전검사를 마친 소자(1)들이 담긴 트레이(2)들을 전달받아 상기 비전검사결과에 따라서 해당 트레이(2)에 소자(1)들을 분류하는 언로딩부(310, 320, 330)를 포함하며,
    상기 제2저면비전검사부는,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대하여 추가 2D 비전검사 및 추가 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하는 추가비전검사부(430)와,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 직사각형 소자(1)의 측면에 대한 비전검사를 수행하는 측면검사부(470)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1가이드레일(680)과 결합되며 상기 제1이송툴(610)이 상기 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 상기 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 제1상면비전검사부(420)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제2가이드레일(690)과 결합되며 상기 제1이송툴(610)이 상기 제1저면비전검사부로 이동되었을 때 상기 로딩부(100)의 트레이(2)에 담긴 소자(1)들의 상면을 검사하는 제2상면비전검사부(440)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2저면비전검사부는,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대하여 추가 2D 비전검사 및 추가 3D 비전검사 중 적어도 어느 하나를 수행하는 추가비전검사부(430)와,
    상기 제1이송툴(610)에 의하여 픽업된 직사각형 소자(1)의 측면에 대한 비전검사를 수행하는 측면검사부(470)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  6. 청구항 2 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 추가비전검사부(430) 및 상기 측면검사부(470)는, 상기 로딩부(100)로부터 순차적으로 배치된 소자핸들러.
  7. 청구항 2 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 측면검사부(470)는,
    상기 제2이송툴(630)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이동경로를 사이에 두고 서로 대향되게 배치되어 이동되는 소자(1)의 측면에 대한 이미지를 획득하는 한 쌍의 이미지획득부(471)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 소자(1)는, 평면형상이 직사각형이며,
    상기 제2이송툴(630)이 상기 한 쌍의 이미지획득부(471) 사이로 이동될 때 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)는 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제1측면들에 대한 이미지를 획득하고,
    상기 제2이송툴(630)은 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)가 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득하도록 상기 소자(1)를 90° 회전시킨 후 상기 로딩부(100) 쪽으로 재이동되면서 상기 한 쌍의 이미지획득부(471)가 상기 소자(1)의 측면 중 서로 대향되는 제2측면들에 대한 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  9. 청구항 2 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 제2이송툴(630)은,
    하나 이상의 열로 배치된 복수의 픽커들을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
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