KR20130135583A - 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치 - Google Patents

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KR20130135583A
KR20130135583A KR1020120059287A KR20120059287A KR20130135583A KR 20130135583 A KR20130135583 A KR 20130135583A KR 1020120059287 A KR1020120059287 A KR 1020120059287A KR 20120059287 A KR20120059287 A KR 20120059287A KR 20130135583 A KR20130135583 A KR 20130135583A
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Abstract

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 소자에 대한 외관을 검사하는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관한 것이다.
대상에 광을 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의하여 광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들과; 상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부와; 상기 이미지획득부들 중 적어도 하나와 상기 광분할부 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부의 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하는 비전검사모듈을 개시한다.

Description

비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치 {Vision inspection module and device inspection apparatus having the same}
본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 소자에 대한 외관을 검사하는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관한 것이다.
패키지 공정을 마친 반도체소자는 번인테스트 등의 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하되며, 출하되는 반도체소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치게 된다.
반도체소자는 제품에 대한 신뢰성 향상을 위하여 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 파손여부, 크랙(crack) 유무, 스크래치(scratch) 유무 등 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 양호여부를 검사하는 비전검사과정을 거치게 된다.
그런데 상기와 같은 반도체소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부 등의 표면상태 검사가 추가되면서 그 검사시간에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간에 영향을 미치게 된다.
특히 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 비전검사과정이 비효율적으로 이루어지는 경우 전체적으로 작업효율을 저하시켜 반도체소자의 생산성이 떨어지게 되는 문제점이 있다.
한편 반도체소자에 대한 비전검사에 있어서, 반도체소자의 표면상태, 즉 크랙, 스크래치 등의 유무, 마킹상태의 검사는 반도체소자의 상면 또는 저면에 대한 2차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하는 2차원 비전검사과정에 의하여 수행된다.
그리고 반도체소자의 리드의 이상, 볼의 파손여부, 범프의 이상 등의 검사는 반도체소자의 3차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하는 3차원 비전검사과정에 의하여 수행된다.
한편 비전검사의 대상인 반도체소자 중 메모리소자는 규격화되어 비전검사 또한 대량으로 신속하게 수행할 수 있다.
그러나 규격화된 메모리소자와는 달리, 스마트폰, 태블릿의 CPU, GPU 등 시스템 LSI 등과 같이 규격화가 어려운 반도체 소자의 경우 응용되는 기기에 따라서 그 크기 및 집적도가 달라 비전검사를 위한 장비를 규격화하는데 한계가 있으며 대량으로 검사하는데도 한계가 있다.
또한 소자의 비전검사 중 소자의 표면 상의 패턴, 범프를 검사하는바 패턴, 범프에 따라서 요구되는 DOF(Depth of field)가 달라져, 패턴검사 및 범프검사를 동시에 수행하는데 한계가 있다.
특히 패턴검사 및 범프검사를 하나의 모듈에 의하여 수행하고자 하는 경우 광학계를 가변시켜 DOF를 변환하여야 하는바 장치의 크기가 커짐과 아울러 광확계 가변에 따른 검사시간의 증가에 따라 전체 공정시간을 증가시키는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 복수의 DOF에 대응이 가능하여 검사시 상이한 DOF를 요하는 패턴, 범프 등에 대한 검사를 동시에 수행할 수 있는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 검사대상에 광을 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의하여 광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들과; 상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부와; 상기 이미지획득부들 중 적어도 하나와 상기 광분할부 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부의 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하는 비전검사모듈을 개시한다.
상기 이미지획득부는 상기 검사대상에 대한 이미지를 제1수광경로로 수광하는 제1이미지획득부와, 상기 제1수광경로에서 상기 광분할부에 의하여 분할된 제2수광경로로 수광하는 하나 이상의 제2이미지획득부들을 포함할 수 있다.
상기 제2이미지획득부는 복수개로 설치되며, 상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할할 수 있다.
상기 제2이미지획득부는 복수개로 설치되며, 상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 동시에 광을 분할할 수 있다.
상기 복수의 이미지획득부들은 그 수광축이 서로 평행하도록 설치될 수 있다.
상기 복수의 이미지획득부들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 상기 검사대상에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부를 포함할 수 있다.
상기 광분할부 및 상기 검사대상 사이에는 대물광학계가 추가로 설치될 수 있다.
상기 대물광학계는 검사대상에 대한 배율조절이 가능하게 구성될 수 있다.
상기 대물광학계는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈들을 포함하며, 상기 복수의 대물렌즈는 복수의 이미지획득부들의 수광경로 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상에 대한 배율이 조절될 수 있다.
또한 본 발명에 따른 검사대상에 광을 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의하여 광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들과; 상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부를 포함하며, 상기 각 이미지획득부들의 DOF는 적어도 일부가 서로 다른 것을 특징으로 하는 비전검사모듈을 개시한다.
본 발명은 또한 본 발명은 또한 트레이에 복수의 검사대상들을 적재하여 검사대상을 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부의 일측에 설치되어 상기 로딩부로부터 적어도 하나의 검사대상을 픽업하여 비전검사 후 로딩부의 트레이에 재적재하는 제1픽업툴과; 상기 비전검사모듈을 포함하며, 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부와; 상기 제1비전검사부의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이에 적재하는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.
상기 로딩부에서 트레이의 이동경로 상에 설치되어 트레이에 적재된 검사대상의 상면을 검사하는 제2비전검사부를 추가로 포함할 수 있다.
상기 언로딩부는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치는 복수의 DOF에 대응이 가능하여 검사시 상이한 DOF를 요하는 패턴, 범프 등에 대한 검사를 동시에 수행할 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치는 복수의 DOF에 대응이 가능하여 다양한 형태의 검사대상에 대한 검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 비전검사모듈을 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 비전검사모듈의 검사대상 및 DOF를 보여주는 측면도이다.
도 3은 도 1의 비전검사모듈이 설치된 소자검사장치를 보여주는 개념도이다.
이하 본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 도 1에 도시된 바와 같이, 검사대상(1)에 광을 조사하는 광원부(30)와; 광원부(30)에 의하여 광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부(11, 12)들과; 각 이미지획득부(11, 12)가 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 이미지획득부(11, 12)들의 수에 대응하여 검사대상(1)의 상을 분할하는 광분할부(20)와; 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 하나와 광분할부(52) 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부(11, 12)의 초점을 조절하는 초점조절부(41, 42)를 포함한다.
여기서 검사대상(1)은 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등 표면에 대한 검사가 필요한 대상이면 어떠한 대상도 가능하다.
특히 본 모듈에 의하여 검사대상(1)의 검사는 2차원 또는 3차원 비전검사가 될 수 있다.
상기 광원부(30)는 검사대상(1)의 표면에 수직을 이루어 광을 조사하거나, 경사를 이루어 광을 조사하는 등 검사대상(1)에 대한 광의 조사각도는 설계 및 디자인에 따라서 다양하게 설정될 수 있다.
이때 상기 이미지획득부(11, 12) 또한 그 수광축, 즉 이미지획득부(11, 12)를 구성하는 광학축(R1, R2)이 검사대상(1)의 표면에 경사를 이루어 설치될 수 있다.
상기 광원부(30)는 검사대상(1)에 대한 비전검사에 적합한 광, 예를 들면 백색광, 단색레이저광, 자외선, 적외선 등을 조사하도록 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 광원부(30)의 구체적인 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 검사대상(1)을 향하는 광경로(21) 상에 설치되는 빔스플릿터(51)에 의하여 검사대상(1)으로 광을 조사하는 제1광원(31)과, 링형상의 광원으로서 검사대상(1)에 직접 광을 조사하는 제2광원(32)을 포함할 수 있다.
이때 상기 광원부(30)를 구성하는 제1광원(31), 제2광원(32)은 제어부(미도시)에 의하여 비전검사에 적합한 광량으로 검사대상(1)에 광을 조사하도록 제어될 수 있다.
상기 제1광원(31) 및 제2광원(32)은 광원의 종류에 따라서 LED, 레이저 등 다양한 형태의 광원으로 구성될 수 있으며, 한국등록특허 제1108672호에 도시된 예와 같이 구성될 수 있다.
상기 이미지획득부(11, 12)는 광원부(30)에 의하여 광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하기 위한 구성으로서, 디지털카메라와 같이 소정의 촬영영역을 가지는 카메라, 측정대상의 상대이동에 의하여 이미지를 획득하는 라인스캐너 등이 사용될 수 있다. 여기서 상기 이미지획득부(11, 12)는 검사대상(1)이 고정된 상태에서 이미지를 획득하거나, 검사대상(1)에 대한 상대이동, 특히 검사대상(1)이 이동되는 상태, 예를 들면 검사대상(1)의 표면에 평행한 방향으로 검사대상(1)에 대한 상대이동과 함께 이미지를 획득할 수 있다.
상기 이미지획득부(12)는 프레임(미도시)에 고정되어 설치되거나 이동가능하게 설치되는 등 다양한 방식에 의하여 설치될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 모듈은 복수의 이미지획득부(11, 12)들이 설치됨을 특징으로 한다.
즉, 상기 복수개의 이미지획득부(11, 12)은 각각 상이한 DOF들에 대응되거나, 상이한 해상도에 대응되거나, 광원부(30)에 의하여 조사되는 광특성들에 대응되는 등 다양한 비전검사조건들에 하에서 하나의 모듈에 의하여 비전검사가 가능함을 특징으로 한다.
이때 상기 각 이미지획득부(11, 12)들은 동일한 해상도를 가지거나, 적외선 등의 선택된 광만을 수광하도록 필터를 구비하는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 이미지획득부(11, 12)들이 복수개로 설치된 예로서, 복수의 이미지획득부(11, 12)들은 검사대상(1)에 대한 이미지를 제1수광경로(21)로 수광하는 제1이미지획득부(11)와, 제1수광경로(21)에서 광분할부(52)에 의하여 분할된 제2수광경로(22)로 수광하는 하나 이상의 제2이미지획득부(12)들을 포함할 수 있다.
상기 제1이미지획득부(11) 및 제2이미지획득부(12)는 앞서 설명한 이미지획득부와 실질적으로 동일한 구성인바 자세한 설명은 생략한다.
여기서 상기 제2이미지획득부(12)는 주 광경로인 제1수광경로(21)로부터 광을 분할하여 전달될 필요가 있다.
이에 상기 제2이미지획득부(12)가 복수개로 설치될 때, 광분할부(52)는 제1수광경로(21)에서 제2이미지획득부(12)의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 제2이미지획득부(12)가 복수개로 설치될 때, 광분할부(52)는 제1수광경로(21)에서 제2이미지획득부(12)의 수에 대응하여 동시에 광을 분할하도록 구성될 수 있다.
한편 상기 이미지획득부(11, 12)가 복수개로 설치되는 경우 각 이미지획득부(11, 12)들이 도 1에 도시된 바와 같이, 그 수광축(R1, R2)이 서로 평행하도록 설치될 수 있다.
상기 광분할부(52)는 각 이미지획득부(11, 12)가 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 이미지획득부(11, 12)들의 수에 대응하여 검사대상(1)의 상을 분할하는 구성으로서 반투명 거울, 프리즘 등 하나의 광을 두 개 이상으로 분할할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 초점조절부(41, 42)는 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 하나와 광분할부(51) 사이의 광경로(21, 22) 상에 설치되어 해당 이미지획득부(11, 12)의 초점을 조절하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 초점조절부(41, 42)는 하나 이상의 렌즈(미도시)와, 렌즈 및 이미지획득부(11) 중 적어도 어느 하나를 수광축을 따라서 상대 선형이동시키는 선형구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 초점조절부(41, 42)는 복수의 이미지획득부(11, 12)들 전부 또는 그 일부에 설치될 수 있다.
한편 상기 초점조절부(41, 42)가 신속하게 해당 이미지획득부(11, 12) 각각에 대한 초점을 조절할 수 있도록, 복수의 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 검사대상(1)에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부(43)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 레이저광조사부(43)는 검사대상(1)의 표면에 레이저광을 조사하고 검사대상의 표면에 조사된 레이저광을 기준으로 각 이미지획득부(11, 12)의 초점을 맞추는데 활용될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 이미지획득부(11, 12)로부터 검사대상(1)에 사이에는 렌즈, 반사경, 반투명거울 중 적어도 어느 하나를 포함하는 광학계에 의하여 광경로(21, 22)가 형성된다.
특히 상기 광경로(21, 22) 중 광분할부(51) 및 검사대상(1) 사이에는 배율조절 등을 위하여 대물광학계(60)가 추가로 설치될 수 있다.
그리고 상기 대물광학계(60)는 검사대상(1)에 대한 배율조절이 가능하게 구성될 수 있다.
일예로서, 상기 대물광학계(60)는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈(61, 62, 63)들을 포함하며, 복수의 대물렌즈(61, 62, 63)들은 복수의 이미지획득부(11, 12)들의 수광경로(21) 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상(1)에 대한 배율이 조절될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 다음과 같이 활용될 수 있다.
먼저 반도체집적회로 등과 같은 검사대상(1)은 회로패턴, 표면으로부터 소정 높이로 돌출된 돌출부위(예 범프), 오목하게 패인 요홈부 등 검사대상(1)의 표면 상의 상대 위치에 따라서 각 부위의 높이가 달라지는 등 다양한 프로파일을 가질 수 있다.
이에 비전검사에 대한 신뢰성 향상을 위해서는 회로패턴은 물론 범프 등에 대한 비전검사를 요하나, 종래의 비전검사모듈은 회로패턴 검사를 위한 DOF와 범프 검사를 위한 DOF가 달라 회로패턴 및 범프를 동시에 검사하는 것이 불가능하다.
다시 말하면, 검사대상(1)의 표면에는 도 2에 도시된 바와 같이, 비전검사를 위한 부위의 검사높이가 복수개로 이루어질 수 있는바, 이미지획득부의 DOF로 인하여 모든 검사높이들에 대한 검사가 불가능하다.
그러나 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 복수의 이미지획득부(11,12) 및 각 이미지획득부(11, 12)에 대한 초점조절, 즉 DOF의 조절을 위한 초점조절부(41, 42)를 구비함으로써 각 이미지획득부(11, 12)의 DOF를 조절(DOF1, DOF2)하여 하나는 회로패턴에 대한 비전검사용으로, 다른 하나는 범프에 대한 비전검사용으로 사용될 수 있다.
여기서 상기 복수의 이미지획득부(11, 12) 중 적어도 어느 하나는 초점이 고정된 상태, 즉 초점조절부(41, 42)가 설치되지 않을 수 있다.
더 나아가 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 검사대상(1)에 특화되어 초점조절부(41, 42)가 설치되지 않고 각 이미지획득부(11, 12)에 대한 초점이 고정된 상태, 즉 각 검사높이에 적합한 고정된 DOF1, DOF2로 구성될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 비전검사모듈은 검사대상에 대한 비전검사를 수행하는 모듈로서 다양한 장치에 적용될 수 있다.
일예로서, 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 소자에 대한 비전검사를 수행하는 소자검사장치에 적용될 수 있다.
여기서 소자는 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등이 될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)이 적용된 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자검사장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이(2)에 복수의 검사대상(1)들을 적재하여 검사대상(1)을 로딩하는 로딩부(400)와; 로딩부(400)의 일측에 설치되어 로딩부(400)로부터 적어도 하나의 검사대상(1)을 픽업하여 비전검사 후 로딩부(400)의 트레이(2)에 재적재하는 제1픽업툴(600)과; 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)을 포함하며, 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(1)의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부(101)와; 제1비전검사부(101)의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이(2)에 적재하는 언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 트레이(2)는 검사대상(1)이 안착되어 이송하는 구성으로서, 검사대상(1)이 안착되는 안착홈(2a)이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 로딩부(400)는 검사대상인 검사대상(1)를 제1비전검사부(101)로 공급하기 위한 구성으로서, 트레이(2)에 형성된 안착홈(2a)에 안착된 상태로 다수개의 검사대상(1)들을 이송하여 제1비전검사부(101)가 검사할 수 있도록 구성된다.
상기 로딩부(400)는 다양한 구성이 가능하며, 도 3에 도시된 바와 같이, 다수개의 검사대상(1)들이 적재되는 트레이(2)의 이동을 안내하는 가이드부(410)와, 트레이(2)가 가이드부(410)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1픽업툴(600)은 지지브라켓(630)에 설치되는 다수개의 픽커들로 구성되며, 지지브라켓(630)는 본체(10)에 설치된 이송툴가이드(601)를 따라서 이동가능하게 설치된다.
상기 픽커(미도시)들은 검사대상(1)를 픽업하여 이송하기 위한 장치로서 다양한 구성이 가능하며, 1×8, 2×8 등 다양한 배치로 구성될 수 있으며, 각 픽커는 상하이동(Z방향 이동)과 함께 진공압을 발생시켜 검사대상(1)를 흡착하여 픽업하는 흡착헤드를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 언로딩부(300)는 로딩부(400)와 유사한 구성을 가지며, 검사대상(1)의 검사결과의 수에 따라서 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급이 부여되도록 복수개로도 구성이 가능하다.
즉, 상기 언로딩부(300)는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이(2)에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상(1)을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 각 언로딩부(300)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(310)와, 트레이(2)가 가이드부(310)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
한편 트레이(2)는 로딩부(400) 및 언로딩부(300)들 사이에서 서로 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 언로딩부(300)에 검사대상(1)이 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(200)를 추가적으로 포함할 수 있다.
이때 빈트레이부(200)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(210)와, 트레이(2)가 가이드부(210)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 언로딩부(300)에는 각 언로딩부(300) 사이에서 각 언로딩부(300)의 분류등급에 따라서 검사대상(1)를 이송하기 위한 제2픽업툴(620)이 별도로 설치될 수 있다.
상기 제1비전검사부(101)는 도 1에 도시된 비전검사모듈(100)을 포함하며, 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(1)의 저면에 대한 비전검사, 특히 3차원 비전검사를 수행한다.
한편 본 발명에 따른 소자검사장치는 로딩부(400)에서 트레이(2)의 이동경로 상에 설치되어 트레이(2)에 적재된 검사대상(1)의 상면을 검사하는 제2비전검사부(500)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2비전검사부(500)는 검사대상(1)와의 상대이동, 즉 X축방향이동, Y축방향이동, X-Y방향이동, 회전이동 등에 의하여 비전검사를 수행하게 되므로, 모듈화된 2차원비전검사부(530)의 X축방향 및 Y축방향의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(510, 540)를 포함할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
11, 12 : 이미지획득부(제1이미지획득부, 제2이미지획득부)
41, 42 : 초점조절부
51 : 광분할부

Claims (13)

  1. 검사대상에 광을 조사하는 광원부와;
    상기 광원부에 의하여 광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들과;
    상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부와;
    상기 이미지획득부들 중 적어도 하나와 상기 광분할부 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부의 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하는 비전검사모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이미지획득부는
    상기 검사대상에 대한 이미지를 제1수광경로로 수광하는 제1이미지획득부와, 상기 제1수광경로에서 상기 광분할부에 의하여 분할된 제2수광경로로 수광하는 하나 이상의 제2이미지획득부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2이미지획득부는 복수개로 설치되며,
    상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 제2이미지획득부는 복수개로 설치되며,
    상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 동시에 광을 분할하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 이미지획득부들은 그 수광축이 서로 평행하도록 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 이미지획득부들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 상기 검사대상에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 광분할부 및 상기 검사대상 사이에는 대물광학계가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 대물광학계는 검사대상에 대한 배율조절이 가능한 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 대물광학계는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈들을 포함하며,
    상기 복수의 대물렌즈는 복수의 이미지획득부들의 수광경로 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상에 대한 배율이 조절되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  10. 검사대상에 광을 조사하는 광원부와;
    상기 광원부에 의하여 광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 2개 이상의 이미지획득부들과;
    상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부를 포함하며,
    상기 각 이미지획득부들의 DOF는 적어도 일부가 서로 다른 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  11. 트레이에 복수의 검사대상들을 적재하여 검사대상을 로딩하는 로딩부와;
    상기 로딩부의 일측에 설치되어 상기 로딩부로부터 적어도 하나의 검사대상을 픽업하여 비전검사 후 로딩부의 트레이에 재적재하는 제1픽업툴과;
    청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 따른 비전검사모듈을 포함하며, 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부와;
    상기 제1비전검사부의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이에 적재하는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  12. 청구항 10에 따라서,
    상기 로딩부에서 트레이의 이동경로 상에 설치되어 트레이에 적재된 검사대상의 상면을 검사하는 제2비전검사부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  13. 청구항 10에 있어서,
    상기 언로딩부는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
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