KR20240020657A - 열 처리로 - Google Patents

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KR20240020657A
KR20240020657A KR1020230075946A KR20230075946A KR20240020657A KR 20240020657 A KR20240020657 A KR 20240020657A KR 1020230075946 A KR1020230075946 A KR 1020230075946A KR 20230075946 A KR20230075946 A KR 20230075946A KR 20240020657 A KR20240020657 A KR 20240020657A
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processing chamber
chamber
valve
discharge
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KR1020230075946A
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Inventor
히로시 시로노
요시히로 마고리
Original Assignee
쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로에 있어서, 구조가 간단하면서도, 노 내 온도를 급속하게 저하시킬 수 있는 열 처리로를 제공하고자 한다.
대기 분위기의 강제 대류로 피처리물(S)을 처리하는 열 처리로(1)로서, 피처리물(S)을 처리하는 처리실(1)과, 처리실(1) 내로 외기를 도입하는 도입 유로(2)와, 처리실(1) 내의 분위기를 배출하는 배출 유로(3)와, 도입 유로(2)를 개폐하는 도입 밸브(21)와, 배출 유로(3)를 개폐하는 배출 밸브(31)와, 열 처리로(10)를 제어하는 제어부(4)를 구비하고 있으며, 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 배출 밸브(31)를 개방하여, 처리실(1) 내의 분위기를 배출하고, 이와 동시에, 도입 밸브(21)를 개방하여, 처리실(1) 내로 외기를 도입한다.

Description

열 처리로 {HEAT TREAT FURNACE}
본 발명은, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로에 관한 것이다.
종래, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로로서, 워크를 연속적으로 가열하는 연속식 열 처리로가 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 개시되어 있다.
일본국 특개2004-143565호 공보 일본국 특개평10-176886호 공보 일본국 특개2002-129242호 공보
여기서, 열 처리로에 있어서 피처리물로의 처리 조건이 변경되고, 노(爐) 내 온도를 저하시킬 필요가 생긴 경우, 노 내의 열원인 전기 히터나 유도 가열 코일, 라디언트 튜브 등의 출력을 내리는 것으로 대응하지만, 노 내의 벽면이나 부품, 열원 그 자체에 축열되어 있던 열이 방출되기 때문에, 노 내의 온도를 저하시키는데 시간이 걸렸다. 그 때문에, 축열되어 있던 열이 방출되는 동안, 노 내에 존재하는 피처리물은 가열되게 되고, 그렇게 가열된 피처리물은 제품으로 사용될 수 없어, 낭비가 발생하였다.
또한, 노 내 온도를 강제적으로 저하시키기 위해, 특허문헌 3은, 노 내 분위기를 구역(zone) 마다 냉각기(cooler)로 순환시키는 구성을 개시하고 있는데, 노 내 분위기의 용량은 크고, 노 내 온도를 저하시키는데 여전히 많은 시간이 소요되어, 보다 급속하게 노 내 온도를 저하시키는 것이 요구되고 있었다.
그래서, 본 발명에서는, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로에 있어서, 구조가 간단하면서도, 노 내 온도를 급속하게 저하시킬 수 있는 열 처리로를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로로서,
피처리물을 처리하는 처리실과,
상기 처리실 내로 외기를 도입하는 도입 유로와,
상기 처리실 내의 분위기를 배출하는 배출 유로와,
상기 도입 유로를 개폐하는 도입 밸브와,
상기 배출 유로를 개폐하는 배출 밸브와,
상기 열 처리로를 제어하는 제어부를 구비하고 있으며,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 배출 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내의 분위기를 배출하고, 이와 함께, 상기 도입 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내로 외기를 도입한다.
상기 구성에 따르면, 처리실 내 고온의 분위기를 배출하고, 저온(예를들면, 60℃ ~ 150℃)의 외기를 처리실 내로 도입하기 때문에, 처리실 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로에 있어서, 구조가 간단하면서도, 노 내 온도를 급속하게 저하시킬 수 있는 열 처리로를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 열 처리로의 개념도이다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 열 처리로(10)의 개념도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 열 처리로(10)는, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로이다. 열 처리로(10)는, 피처리물(S)을 처리하는 처리실(1)과, 처리실(1) 내로 외기를 도입하는 도입 유로(2)와, 처리실(1) 내의 분위기(공기)를 배출하는 배출 유로(3)를 구비하고 있다. 그리고, 도입 유로(2)에는, 도입 유로(2)를 개폐하는 도입 밸브(21)가 설치되어 있고, 배출 유로(3)에는, 배출 유로(3)를 개폐하는 배출 밸브(31)가 설치되어 있다. 또한, 열 처리로(10)는, 열 처리로(10)의 작동을 제어하는 제어부(4)를 구비하고 있다.
처리실(1)에는, 처리실(1) 내 분위기의 압력을 계측하는 압력계(11)가 설치되어 있다. 또한, 배출 유로(3)에 있어서, 배출 밸브(31)의 상류측에는, 처리실(1) 내 분위기의 노점(露点) 온도를 계측하는 노점 온도계(13)가 설치되어 있다.
도입 밸브(21) 및 배출 밸브(31)는 각각 전기식, 공기식 혹은 유압식 등의 조작기 구동식의 밸브이며, 개도 조절 가능하게 되어 있다.
도입 유로(2)에는, 외기를 처리실(1) 내로 급기하는 급기 팬(22)이 설치되고, 배출 유로(3)에는, 처리실(1) 내의 분위기를 외부로 배기하는 배기 팬(32)이 설치되어 있다. 도입 유로(2)에 있어서, 급기 팬(22)의 하류측의 한쪽 배관(2a)에는 열 교환기(23)가 설치되어 있고, 급기 팬(22)에 의해 급기된 외기는, 열 교환기(23)에 있어서 배기 팬(32)으로부터의 배기에 의해 열 교환(가열)된다. 또한, 급기 팬(22)의 하류측의 다른쪽 배관(2b)에는 열 교환기가 설치되어 있지 않다. 배출 유로(3)에 있어서, 배기 팬(32)의 하류측에는, 분위기의 배출량을 계측하는 유량계(33)가 설치되어 있다. 제어부(4)는, 유량계(33)의 값에 근거하여, 배기 팬(32)의 유량을 제어한다. 또한, 제어부(4)는, 압력계(11)의 값 및 유량계(33)의 값에 근거하여, 도입 밸브(21) 및 배출 밸브(31)의 개도를 조정하고, 또한, 급기 팬(22) 및 배기 팬(32)의 유량을 제어한다.
배관(2a)에는, 열 교환기(23)의 하류측에 혼합 밸브(24)가 설치되어 있고, 배관(2b)에는 혼합 밸브(25)가 설치되어 있다. 혼합 밸브(24) 및 혼합 밸브(25)는 각각 전기식, 공기식 혹은 유압식 등의 조작기 구동식의 밸브이며, 개도 조절 가능하게 되어 있다.
혼합 밸브(24) 및 혼합 밸브(25)의 하류측에서, 배관(2a)과 배관(2b)이 합류하고 있으며, 합류점(2c)의 하류측에 도입 밸브(21)가 배치되어 있다. 혼합 밸브(24)의 개도 및 혼합 밸브(25)의 개도에 따라, 열 교환기(23)에 의해 열 교환된 고온의 외기와, 열 교환기(23)를 통과하지 않는 상온의 외기와의 혼합 비율이 조정되어, 도입되는 외기의 온도가 조정된 후, 혼합된 외기는 도입 밸브(21)를 개재하여 처리실(1) 내로 도입되도록 되어 있다.
합류점(2c)과 도입 밸브(21)와의 사이에는, 처리실(1) 내로 도입되는 외기의 온도를 측정하는 온도계(26)가 설치되어 있다. 제어부(4)는, 노점 온도계(13)의 값 및 온도계(26)의 값에 근거하여, 혼합 밸브(24) 및 혼합 밸브(15)의 개도를 조정한다.
열 처리로(10)는 나아가, 처리실(1) 내의 분위기를 순환시키는 순환 유닛(5)을 구비하고 있다. 순환 유닛(5)은, 처리실(1) 내와 연통하는 순환 유로(51)와, 순환 유로(51) 내에 설치되어, 처리실(1) 내의 분위기를, 순환 유로(51)를 개재하여 순환시키는 순환 팬(52)과, 순환 유로(51) 내에 설치되어, 순환 유로(51) 내를 흐르는 분위기를 가열하는 히터(53)를 구비하고 있다. 순환 유로(51)에 있어서, 히터(53)의 하류측으로서, 순환 팬(52)의 상류측에는, 처리실(1) 내의 온도를 계측하는 온도계(12)가 설치되어 있다. 제어부(4)는, 온도계(12)의 값에 근거하여, 도입 밸브(21) 및 배출 밸브(31)의 개도를 조정하고, 또한, 급기 팬(22) 및 배기 팬(32)의 유량을 제어한다. 제어부(4)는 나아가, 온도계(12)의 값에 근거하여, 히터(53)의 출력을 조정한다.
열 처리로(10)는, 다음과 같이 작동하도록 되어 있다.
피처리물(S)의 처리 조건이 변경되고, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 필요가 생기면, 제어부(4)는, 배출 밸브(31)를 개방하여, 처리실(1) 내의 분위기를 외부로 배출하고, 이와 동시에, 도입 밸브(21)를 개방하여, 처리실(1) 내로 외기를 도입한다. 또한, 도입 밸브(21)의 개방은, 배출 밸브(31)의 개방과 동시에 실시해도 되고, 또한, 배출 밸브(31)의 개방으로부터, 일정 시간 경과 후에 실시해도 된다. 여기서, 급기 팬(22) 및 배기 팬(32)은, 사전에 작동시켜 둔다.
이 때, 제어부(4)는, 처리실(1) 내 압력의 변동을 억제하기 위해, 압력계(11)의 계측 결과에 근거하여, 도입 밸브(21) 및/또는 배출 밸브(31)의 개도나, 급기 팬(22) 및/또는 배기 팬(32)의 유량을 조정한다.
또한, 제어부(4)는, 피처리물(S) 처리 조건의 하나인 처리 온도를 목표 온도로 하고, 온도계(12)의 계측 결과에 근거하여, 도입 밸브(21) 및/또는 배출 밸브(31)의 개도나, 급기 팬(22) 및/또는 배기 팬(32)의 유량을 조정한다.
제어부(4)는 또한, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때, 처리실(1) 내에서 결로가 발생하지 않도록, 노점 온도계(13)의 계측 결과에 근거하여, 처리실(1) 내로 도입되는 외기를 열 교환기(23)에 의해 소정 온도까지 가열한 후, 처리실(1) 내로 도입한다.
여기서, 처리실(1) 내로 도입되는 외기의 온도 제어는, 혼합 밸브(24) 및 혼합 밸브(25)의 개도를 조정하고, 열 교환기(23)를 통과하는 외기의 유량과 열 교환기(23)를 통과하지 않는 외기의 유량과의 혼합 비율을 변경함으로써 실시된다.
이와 같이, 처리실(1) 내의 분위기를 외부로 방출하고, 저온의 외기를 처리실(1) 내로 도입함으로써, 처리실(1) 내의 온도를 급냉해, 목표 온도로 조정한다. 또한, 본 실시 형태의 열 처리로(10)는, 노 내에 있어서 대기 분위기에서 피처리물(S)을 열 처리하는 노이므로, 외기(대기)를 그대로 노 내에 도입하더라도 문제는 없다.
상기 구성의 열 처리로(10)에 따르면, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.
(1) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 배출 밸브(31)를 개방하여, 처리실(1) 내 고온의 분위기를 배출하고, 나아가 도입 밸브(21)를 개방하여, 처리실(1) 내로 저온의 외기를 도입하므로, 처리실(1) 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(2) 도입 유로(2)에 급기 팬(22)이 설치되고, 배출 유로(3)에 배기 팬(32)이 설치되어 있으므로, 급기 팬(22), 배기 팬(32)에 의해, 처리실(1) 내의 분위기를 강제적으로 바꿀 수 있고, 처리실(1) 내의 온도를 더욱 급속하게 저하시킬 수 있다.
(3) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 압력계(11)에 의해 계측된 처리실(1) 내의 압력에 근거하여, 도입 밸브(21) 및/또는 배출 밸브(31)의 개도를 조정하므로, 처리실(1) 내 압력의 변동을 억제하면서, 처리실(1) 내의 분위기를 바꿔서, 처리실(1) 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(4) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 압력계(11)에 의해 계측된 처리실(1) 내의 압력에 근거하여, 급기 팬(22) 및/또는 배기 팬(32)의 유량을 조정하므로, 처리실(1) 내 압력의 변동을 억제하면서, 처리실(1) 내의 분위기를 바꿔서, 처리실(1) 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(5) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 온도계(12)에 의해 계측된 처리실(1) 내의 온도에 근거하여, 도입 밸브(21) 및/또는 배출 밸브(31)의 개도를 조정하므로, 처리실(1) 내의 온도를 목적의 온도로 빠르게 안정시킬 수 있다.
(6) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 온도계(12)에 의해 계측된 처리실(1) 내의 온도에 근거하여, 급기 팬(22) 및/또는 배기 팬(32)의 유량을 조정하므로, 처리실(1) 내의 온도를 목적의 온도로 빠르게 안정시킬 수 있다.
(7) 제어부(4)는, 처리실(1) 내의 온도를 급냉할 때는, 노점 온도계(13)에 의해 계측된 노점 온도에 근거하여, 처리실(1) 내에서 결로가 생기지 않도록, 도입되는 외기의 온도를 제어하므로, 도입되는 외기에 의해, 처리실(1) 내에서 결로가 생기는 것을 방지할 수 있다.
(8) 처리실(1) 내에서 배출되는 고온의 분위기에 의해, 처리실(1) 내에 도입되는 외기를 가열함으로써, 고온의 외기를 용이하게 얻을 수 있다. 또한, 열 교환기(23)에 의해 열 교환된 고온의 외기와 상온의 외기와의 혼합 비율을 변경함으로써, 도입되는 외기의 온도를 용이하게 제어할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 처리실(1) 내의 분위기를 순환 유닛(5)에 의해 순환시켜, 순환 유로(51)에 있어서의 온도, 즉, 처리실(1)로 도입하는 처리 가스의 온도를 처리실(1) 내의 온도로 계측하고 있으나, 처리실(1)에 온도계를 설치하여, 처리실(1) 내의 분위기를 직접 계측하고, 그 값을 처리실(1) 내의 온도로 해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 노점 온도계(13)는, 결로가 생기기 쉬운, 분위기의 저온부에 설치해 두는 것이 바람직하고, 배기 유로(3)에 있어서 배기 밸브(31)의 상류측에 배치되어 있는데, 배기 밸브(31)의 하류측에 배치되어도 되며, 또한, 배기 팬(32)의 하류측에 배치되어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 유량계(33)는, 배기 유로(3)에 있어서 배기 팬(32)의 하류측에 배치되어 있는데, 배기 팬(32)의 상류측에 배치되어도 되고, 배기 밸브(31)의 상류측에 배치되어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 온도계(26)는, 도입 유로(2)에 있어서 도입 밸브(21)의 상류측으로서 합류점(2c)의 하류측에 배치되어 있는데, 도입 밸브(21)의 하류측에 배치되어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 배출 유로(3)에 유량계(33)를 설치하여, 유량계(33)의 값에 근거하여 배기 팬(32)의 유량을 제어하고, 처리실(1)의 압력과 배출 유로(3)에 있어서의 배출량에 의해, 급기 팬(22)의 유량을 제어하고 있다. 그러나, 도입 유로(2)에 유량계를 설치하여, 그 유량계의 값에 근거하여 급기 팬(22)의 유량을 제어하고, 처리실(1) 내의 압력과 도입 유로(2)에 있어서의 도입량에 의해. 배기 팬(32)의 유량을 제어해도 된다. 이 경우, 도입 유로(2)에 설치되는 유량계는, 도입 밸브(21)의 하류측에 배치된다.
본 발명은, 상기 실시 형태의 열 처리로에 한정되지 않고, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로 전반에 적용 가능하다.
본 발명 및 실시 형태를 요약하면, 다음과 같다.
(1) 본 발명의 일 실시 형태는, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로로서,
피처리물을 처리하는 처리실과,
상기 처리실 내로 외기를 도입하는 도입 유로와,
상기 처리실 내의 분위기를 배출하는 배출 유로와,
상기 도입 유로를 개폐하는 도입 밸브와,
상기 배출 유로를 개폐하는 배출 밸브와,
상기 열 처리로를 제어하는 제어부를 구비하고 있으며,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 배출 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내의 분위기를 배출하고, 이와 동시에, 상기 도입 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내로 외기를 도입한다.
상기 구성 (1)에 따르면, 처리실 내 고온의 분위기를 배출하고, 저온의 외기를 처리실 내로 도입하기 때문에, 처리실 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(2) 상기 구성 (1)에 있어서, 상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 팬이 설치되어 있다.
상기 구성 (2)에 따르면, 팬에 의해, 처리실 내의 분위기를 강제적으로 바꿀 수 있기 때문에, 처리실 내의 온도를 더욱 급속하게 저하시킬 수 있다.
(3) 상기 구성 (1) 또는 (2)에 있어서, 상기 처리실에는 상기 처리실 내의 압력을 계측하는 압력계가 설치되고.
상기 도입 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
상기 배출 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 압력계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 압력에 근거하여, 상기 도입 밸브 및/또는 상기 배출 밸브의 개도를 조정한다.
상기 구성 (3)에 따르면, 압력계에 의해 계측된 처리실 내의 압력에 근거하여, 도입 밸브 및/또는 배출 밸브의 개도를 조정함으로써, 처리실 내 압력의 변동을 억제하면서, 처리실 내의 분위기를 바꿔서, 처리실 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(4) 상기 구성 (2)에 있어서, 상기 처리실에는 상기 처리실 내의 압력을 계측하는 압력계가 설치되고,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 압력계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 압력에 근거하여, 상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 있어서의 상기 팬의 유량을 제어한다.
상기 구성 (4)에 따르면, 압력계에 의해 계측된 처리실 내의 압력에 근거하여, 팬의 유량을 조정함으로써, 처리실 내 압력의 변동을 억제하면서, 처리실 내 의 분위기를 바꿔서, 처리실 내의 온도를 급속하게 저하시킬 수 있다.
(5) 상기 구성 (1) ~ (4) 중 어느 하나에 있어서, 상기 처리실에는 상기 처리실 내의 온도를 계측하는 온도계가 설치되고,
상기 도입 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
상기 배출 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 온도계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 온도에 근거하여, 상기 도입 밸브 및/또는 상기 배출 밸브의 개도를 조정한다.
상기 구성 (5)에 따르면, 도입 밸브 및/또는 배출 밸브의 개도를 조정함으로써, 처리실 내의 온도를 목적의 온도로 빠르게 안정시킬 수 있다.
(6) 상기 구성 (2)에 있어서, 상기 처리실에는 상기 처리실 내의 온도를 계측하는 온도계가 설치되고,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 온도계에 의해 계측된 처리실 내의 온도에 근거하여, 상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 있어서의 상기 팬의 유량을 제어한다.
상기 구성 (6)에 따르면, 팬의 유량을 조정함으로써, 처리실 내의 온도를 목적의 온도로 빠르게 안정시킬 수 있다.
(7) 상기 구성 (1) ~ (6) 중 어느 하나에 있어서, 상기 처리실에는 상기 처리실 내의 노점 온도를 계측하는 노점 온도계가 설치되고,
상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 노점 온도계에 의해 계측된 노점 온도에 근거하여, 상기 처리실 내에서 결로가 생기지 않도록, 도입되는 외기의 온도를 제어한다.
상기 구성 (7)에 따르면, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 도입되는 외기에 의해, 처리실 내에서 결로가 생기는 것을 방지할 수 있다.
(8) 상기 구성 (7)에 있어서, 상기 처리실 내에서 배출되는 분위기와 상기 처리실 내로 도입되는 외기와의 사이에서 열 교환을 실시하는 열 교환기를 구비하고 있으며,
상기 제어부는, 상기 열 교환기를 통과하는 외기의 유량과 상기 열 교환기를 통과하지 않는 외기의 유량과의 혼합 비율을 변경함으로써, 도입되는 외기의 온도를 제어한다.
상기 구성 (8)에 따르면, 처리실 내에서 배출되는 고온의 분위기에 의해, 처리실 내로 도입되는 외기를 가열함으로써, 고온의 외기를 용이하게 얻을 수 있다. 또한, 열 교환기에 의해 열 교환된 고온의 외기와 상온의 외기와의 혼합 비율을 변경함으로써, 도입되는 외기의 온도를 용이하게 제어할 수 있다.
특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 정신 및 범위로부터 벗어나는 일 없이, 각종 변형 및 변경을 실시하는 것도 가능하다.
본 발명에서는, 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로에 있어서, 구조가 간단하면서도, 노 내 온도를 급속하게 저하시킬 수 있는 열 처리로를 제공할 수 있기 때문에, 산업상의 이용 가치가 크다.
1 --- 처리실　
2 --- 도입 유로　
3 --- 배출 유로　
4 --- 제어부　
5 --- 순환 유닛　
10 --- 열 처리로　
11 --- 압력계
12 --- 온도계
13 --- 노점 온도계 　
21 --- 도입 밸브
22 --- 급기 팬
23 --- 열 교환기
24 --- 혼합 밸브
25 --- 혼합 밸브　
26 --- 온도계　
2a --- 배관
2b --- 배관
2c --- 합류점　
31 --- 배출 밸브
32 --- 배기 팬
33 --- 유량계　
51 --- 순환 유로
52 --- 순환 팬
53 --- 히터　
S --- 피처리물

Claims (8)

  1. 대기 분위기의 강제 대류로 피처리물을 처리하는 열 처리로로서,
    피처리물을 처리하는 처리실과,
    상기 처리실 내로 외기를 도입하는 도입 유로와,
    상기 처리실 내의 분위기를 배출하는 배출 유로와,
    상기 도입 유로를 개폐하는 도입 밸브와,
    상기 배출 유로를 개폐하는 배출 밸브와,
    상기 열 처리로를 제어하는 제어부를 구비하고 있으며,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 배출 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내의 분위기를 배출하고, 이와 동시에, 상기 도입 밸브를 개방하여, 상기 처리실 내로 외기를 도입하는, 열 처리로.
  2. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 팬이 설치되어 있는, 열 처리로.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 처리실에는 상기 처리실 내의 압력을 계측하는 압력계가 설치되고,
    상기 도입 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
    상기 배출 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 압력계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 압력에 근거하여, 상기 도입 밸브 및/또는 상기 배출 밸브의 개도를 조정하는, 열 처리로.
  4. 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 처리실에는 상기 처리실 내의 압력을 계측하는 압력계가 설치되고,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 압력계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 압력에 근거하여, 상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 있어서의 상기 팬의 유량을 제어하는, 열 처리로.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 처리실에는 상기 처리실 내의 온도를 계측하는 온도계가 설치되고,
    상기 도입 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
    상기 배출 밸브는, 개도 조절 가능하게 되어 있고,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 온도계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 온도에 근거하여, 상기 도입 밸브 및/또는 상기 배출 밸브의 개도를 조정하는, 열 처리로.
  6. 청구항 2의 기재에 있어서,
    상기 처리실에는 상기 처리실 내의 온도를 계측하는 온도계가 설치되고,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 온도계에 의해 계측된 상기 처리실 내의 온도에 근거하여, 상기 도입 유로 및/또는 상기 배출 유로에 있어서의 상기 팬의 유량을 제어하는, 열 처리로.
  7. 청구항 1의 기재에 있어서,
    상기 처리실에는 상기 처리실 내의 노점 온도를 계측하는 노점 온도계가 설치되고,
    상기 제어부는, 상기 처리실 내의 온도를 급냉할 때는, 상기 노점 온도계에 의해 계측된 노점 온도에 근거하여, 상기 처리실 내에서 결로가 생기지 않도록, 도입되는 외기의 온도를 제어하는, 열 처리로.
  8. 청구항 7의 기재에 있어서,
    상기 처리실 내에서 배출되는 분위기와 상기 처리실 내에 도입되는 외기와 의 사이에서 열 교환을 실시하는 열 교환기를 구비하고 있으며,
    상기 제어부는, 상기 열 교환기를 통과하는 외기의 유량과 상기 열 교환기를 통과하지 않는 외기의 유량과의 혼합 비율을 변경함으로써, 도입되는 외기의 온도를 제어하는, 열 처리로.
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