KR20240018342A - 연마 장치 - Google Patents

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KR20240018342A
KR20240018342A KR1020227039222A KR20227039222A KR20240018342A KR 20240018342 A KR20240018342 A KR 20240018342A KR 1020227039222 A KR1020227039222 A KR 1020227039222A KR 20227039222 A KR20227039222 A KR 20227039222A KR 20240018342 A KR20240018342 A KR 20240018342A
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polishing liquid
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polishing pad
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데츠야 데라다
히로시 소토자키
다쿠야 모리우라
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드를 연마 패드 상에서 이동시키면서 연마액을 공급하는 경우에, 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시킨다.
연마 장치(1)는, 연마 패드(100)를 지지하기 위한 연마 테이블과, 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드(30)와, 연마 패드(100)와 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치(40)를 포함한다. 연마액 공급 장치(40)는, 복수의 연마액 공급구(414)를 갖는 연마액 공급 헤드(41)와, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 연마면을 따라 이동시키도록 구성된 링크 기구(60)와, 링크 기구(60)를 구동하도록 구성된 구동 기구(90)를 포함한다. 구동 기구(90)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태(450)에 있어서 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되고, 연마액 공급 헤드(41)가 제1 상태(450)보다도 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태(460)에 있어서 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 링크 기구(60)를 구동하도록 구성된다.

Description

연마 장치
본원은, 연마 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서는, 반도체 디바이스 표면의 평탄화 기술이 점점 중요해지고 있다. 평탄화 기술로서는, 화학적 기계 연마(CMP(Chemical Mechanical Polishing))가 알려져 있다. 이 화학적 기계 연마는, 연마 장치를 사용하여, 실리카(SiO2) 및/또는 세리아(CeO2) 등의 지립을 포함한 연마액(슬러리)을 연마 패드에 공급하면서 반도체 웨이퍼 등의 기판을 연마 패드에 미끄럼 접촉시켜서 연마를 행하는 것이다.
CMP 프로세스를 행하는 연마 장치는, 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블과, 기판 등의 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와, 연마 패드와 기판 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치를 구비하고 있다. 이 연마 장치는, 연마액 공급 장치로부터 연마액을 연마 패드에 공급하고, 기판을 연마 패드의 표면(연마면)에 대하여 소정의 압력으로 가압하고, 연마 테이블과 연마 헤드를 회전시킴으로써 기판의 표면을 평탄하게 연마한다.
특허문헌 1에는, 연마 패드에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치가 개시되어 있다. 이 연마액 공급 장치는, 복수의 힌지 연결 조인트에 의해 연결된 복수의 암을 구비하고 있고, 암의 선단에 마련된 노즐을 통해 연마액을 공급하도록 구성되어 있다. 힌지 연결 조인트에 의해 연결된 복수의 암을 각각 원하는 자유도로 움직이게 할 수 있으므로, 이 연마액 공급 장치는 연마 패드 상의 원하는 영역에 연마액을 공급할 수 있다.
특허문헌 2에는, 연마 패드에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치가 개시되어 있다. 이 연마액 공급 장치는, 연마 패드의 반경 방향을 따라서 배열된 복수의 노즐을 갖는 디스펜서 암을 직선 구동함으로써, 연마 패드의 보다 큰 에어리어에 연마액을 공급할 수 있다.
일본 특허 공표 제2011-530422호 공보 일본 특허 공표 제2011-530422호 공보
그러나, 특허문헌 1 등의 종래 기술은, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드를 연마 패드 상에서 이동시키면서 연마액을 공급하는 경우에, 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시키는 것에 대해서는 고려되어 있지 않다.
즉, 일반적인 연마액 공급 장치는, 연마액 공급 헤드를 보유 지지하는 암을 연마 테이블 상에서 선회시킴으로써 연마액 공급 헤드를 연마 패드 상에서 이동시키면서 연마액을 공급한다. 이 경우, 예를 들어 연마 패드의 중앙측에서는 연마액 공급 헤드의 복수의 연마액 공급구가 연마 패드의 직경 방향으로 배열되어 있으므로 연마액의 공급 범위는 넓다. 이에 비해, 암을 선회시켜서 연마액 공급 헤드를 연마 패드의 외측 테두리측으로 이동시키면, 복수의 연마액 공급구의 배열 방향이 연마 패드의 직경 방향으로부터 둘레 방향으로 어긋나므로 연마액의 공급 범위가 좁아진다.
이 점, 특허문헌 1에 개시된 연마액 공급 장치는, 복수의 힌지 연결 조인트에 의해 연결된 복수의 암을 원하는 자유도로 움직이게 하는 것이지만, 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시키는 것에 대해서는 고려되어 있지 않다.
그래서, 본 발명의 목적으로 하는 하나는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드를 연마 패드 상에서 이동시키면서 연마액을 공급하는 경우에, 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시키는 것에 있다.
또한, 특허문헌 2 등의 종래 기술은, 연마 패드에 대한 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시키고, 또한, 연마 패드로부터 튀어 오르는 연마액에 기인하여 기판에 디펙트가 발생하는 것을 억제하는 것에 대하여 개선의 여지가 있다.
즉, 일반적인 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드를 암으로 보유 지지하고, 암을 연마 테이블 상에서 선회시킴으로써 연마액 공급 헤드를 연마 패드 상에서 이동시키면서 연마액을 공급한다. 이 경우, 예를 들어 연마 패드의 중앙측에서는 연마액 공급 헤드의 복수의 연마액 공급구가 연마 패드의 직경 방향으로 배열되어 있으므로 연마액의 공급 범위는 넓다. 이에 비해, 암을 선회시켜서 연마액 공급 헤드를 연마 패드의 외측 테두리측으로 이동시키면, 복수의 연마액 공급구의 배열 방향이 연마 패드의 직경 방향으로부터 둘레 방향으로 어긋나므로 연마액의 공급 범위가 좁아진다.
이 점, 특허문헌 2에 기재된 기술은, 연마액 공급 헤드를 연마 패드의 직경 방향으로 직선 구동하는 것이지만, 연마 패드로부터의 연마액의 튀어 오름에 대해서는 고려되어 있지 않다. 즉, 특허문헌 2에 기재된 기술은, 연마액 공급 헤드와 암이 동일한 높이에 배치되어 있으므로, 연마액 공급 헤드로부터 공급되어서 연마 패드의 연마면에 충돌하여 연마 패드 상에 비산한 연마액이 암에 부착되기 쉽다. 암에 연마액이 부착되면, 암에 부착된 연마액이 건조되어 분진이 된 후에 연마 패드 상에 낙하하는 경우가 있고, 그 결과, 기판에 스크래치 등의 디펙트를 발생시킬 우려가 있다.
그래서, 본 발명은, 연마 패드에 대한 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시키고, 또한, 연마 패드로부터 튀어 오르는 연마액에 기인하여 기판에 디펙트가 발생하는 것을 억제하는 것을 하나의 목적으로 한다.
일 실시 형태에 의하면, 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과, 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와, 상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치를 포함하고, 연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동 시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며, 상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 연마면을 따라 이동시키도록 구성된 링크 기구와, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성된 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 제1 상태보다도 상기 연마 패드의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성되는, 연마 장치가 개시된다.
일 실시 형태에 의하면, 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과, 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와, 상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치를 포함하고, 연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며, 상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드보다도 높은 위치에서 상기 연마 패드의 연마면을 따라 신장하고, 상기 연마액 공급 헤드를 보유 지지하도록 구성된 암과, 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드와 대향하여 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열된 상태에서 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 중앙측과 외측 테두리측 사이에서 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구를 포함하는, 연마 장치가 개시된다.
도 1은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는, 연마액 공급 헤드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이다.
도 4는, 비교예에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이다.
도 5a는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 세정 유체를 공급할 때의 아토마이저의 상태를 나타내고 있다.
도 5b는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 세정 유체를 공급하지 않을 때의 아토마이저의 상태를 나타내고 있다.
도 6a는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 저면도이다.
도 6b는, 도 6a의 아토마이저의 B-B선에 있어서의 단면도이다.
도 7a는, 변형예에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 단면도이다.
도 7b는, 변형예에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 단면도이다.
도 8은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 9a는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이고, 암을 신장한 상태를 나타내고 있다.
도 9b는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 암을 신장한 상태를 나타내고 있다.
도 9c는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이고, 암을 수축한 상태를 나타내고 있다.
도 9d는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 암을 수축한 상태를 나타내고 있다.
도 10a는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 패드의 중앙측에 배치된 상태를 나타내고 있다.
도 10b는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 패드의 외측 테두리측에 배치된 상태를 나타내고 있다.
도 10c는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 테이블의 외측에 배치된 상태를 나타내고 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 첨부 도면에 있어서, 동일하거나 또는 유사한 요소에는 동일하거나 또는 유사한 참조 부호를 붙이고, 각 실시 형태의 설명에 있어서 동일하거나 또는 유사한 요소에 관한 중복되는 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 각 실시 형태에서 나타나는 특징은, 서로 모순되지 않는 한 다른 실시 형태에도 적용 가능하다.
본 명세서에 있어서 「기판」에는, 반도체 기판, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 회로 기판뿐만 아니라, 자기 기록 매체, 자기 기록 센서, 미러, 광학 소자, 미소 기계 소자, 혹은 부분적으로 제작된 집적 회로, 그 밖의 임의의 피처리 대상물을 포함한다. 기판은, 다각형, 원형을 포함하는 임의의 형상의 것을 포함한다. 또한, 본 명세서에 있어서 「전방면」, 「후방면」, 「전방」, 「후방」, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」, 「연직」, 「수평」 등의 표현을 사용하는 경우가 있지만, 이들은 설명의 사정상, 예시의 도면의 지면 상에 있어서의 위치, 방향을 나타내는 것이고, 장치 사용 시 등의 실제의 배치에서는 다른 경우가 있다.
(연마 장치의 개략 구성)
도 1은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 본 실시 형태의 연마 장치(1)는, 연마면(102)을 갖는 연마 패드(100)를 사용하여, 연마 대상물로서의 반도체 웨이퍼 등의 원판 형상의 기판 WF의 연마를 행할 수 있도록 구성되어 있다. 도시하는 바와 같이, 연마 장치(1)는, 원판 형상의 연마 패드(100)를 지지하기 위한 연마 테이블(20)과, 기판 WF를 보유 지지하여 연마 패드(100)의 연마면(102)에 누르기 위한 연마 헤드(30)를 구비하고 있다. 또한, 연마 장치(1)는, 연마 패드(100)와 기판 WF 사이에 연마액(슬러리)을 공급하기 위한 연마액 공급 장치(40)와, 연마 패드(100)의 외부로 선회된 연마액 공급 장치(40)에 대하여 세정액을 공급하기 위한 세정 기구(300)와, 연마면(102)에 세정 유체(순수 등의 액체 및/또는 질소 등의 가스)를 분사하여, 사용 완료의 연마액, 연마 잔사 등을 씻어내기 위한 아토마이저(50)를 구비하고 있다. 연마액 공급 장치(40)는, 기판 WF에 대하여 연마 패드(100)의 회전 상류측에 배치되어 있다. 또한, 도 1의 실시 형태에서는 세정 기구(300)가 연마액 공급 장치(40)의 상부에 배치되는 예를 나타냈지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들어 연마액 공급 장치(40)의 상부 및 하부에 세정 기구(300)를 각각 배치하여, 연마액 공급 장치(40)를 상하 방향으로 세정하도록 구성할 수도 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 상류 및 하류는, 도 1에 있어서 연마 테이블(20)(연마 패드(100))을 위로부터 보았을 때에 연마 테이블(20)(연마 패드(100))이 시계 방향으로 회전하는 경우의 상류 및 하류를 나타내는 것으로 한다.
(연마 테이블)
연마 테이블(20)은, 원반상으로 형성되어 있고, 그 중심축을 회전 축선으로 하여 회전 가능하게 구성된다. 연마 테이블(20)에는, 첩부 등에 의해 연마 패드(100)가 설치된다. 연마 패드(100)의 표면은, 연마면(102)을 형성한다. 연마 패드(100)는, 도시하지 않은 모터에 의해 연마 테이블(20)이 회전함으로써, 연마 테이블(20)과 일체로 회전한다.
(연마 헤드)
연마 헤드(30)는, 그 하면에 있어서, 기판 WF를 진공 흡착 등에 의해 보유 지지한다. 연마 헤드(30)는, 도시하지 않은 모터로부터의 동력에 의해 기판과 함께 회전 가능하게 구성되어 있다. 연마 헤드(30)의 상부는, 샤프트(31)를 통해 지지 암(34)에 접속되어 있다. 연마 헤드(30)는, 도시하지 않은 에어 실린더나 볼 나사를 통한 모터 구동에 의해 상하 방향으로 이동 가능하고, 연마 테이블(20)과의 거리를 조정 가능하다. 이에 의해, 연마 헤드(30)는, 보유 지지한 기판 WF를 연마면(102)에 누를 수 있다. 또한, 연마 헤드(30)는 도시하지 않지만, 그 내부에 복수의 영역으로 분할된 에어백을 갖고, 각 에어백 영역에 임의의 에어 등의 유체 압력을 공급함으로써, 기판 WF를 배면으로부터 가압한다. 또한, 지지 암(34)은, 도시하지 않은 모터에 의해 선회 가능하게 구성되어 있고, 연마 헤드(30)를 연마면(102)에 평행한 방향으로 이동시킨다. 본 실시 형태에서는, 연마 헤드(30)는, 도시하지 않은 기판의 수취 위치와, 연마 패드(100)의 상방 위치로 이동 가능하게 구성되어 있음과 함께, 연마 패드(100)에 대한 기판 WF의 누름 위치를 변경 가능하게 구성되어 있다.
(연마액 공급 장치)
연마액 공급 장치(40)는, 연마 패드(100)에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 헤드(41)를 포함한다. 도 2는, 연마액 공급 헤드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 연마액 공급 헤드(41)는, 공급 부재 본체(410)와, 패킹(440)을 통해 공급 부재 본체(410)와 연결되는 커버 부재(430)를 포함한다. 공급 부재 본체(410)는, 직사각형의 판상으로 형성되고, 중앙에 오목부를 갖는다. 공급 부재 본체(410)의 오목 부분에는 긴 변 방향을 따라서 배열된 복수의 연마액 공급구(414)가 형성되어 있다.
또한, 연마액 공급구(414)의 형상에 대해서는, 공급 부재 본체(410)에 대하여 구멍으로서 형성되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 공급 부재 본체(410)의 하면에 대하여 돌출되어 있는 노즐이어도 된다. 연마액 공급구(414)로서의 노즐은, 선단의 각도가 예각인 원추상인 것이 보다 바람직하다.
커버 부재(430)에는, 연마액 공급 라인(120)이 접속되어 있다. 커버 부재(430)와 공급 부재 본체(410) 사이에는, 버퍼 공간(420)이 형성된다. 연마액 공급 라인(120)의 기단부에는, 연마액 공급 장치(40)로부터 공급하는 연마액의 유량을 조정하기 위한 유량 조정 기구(125)가 접속되어 있다. 연마액 공급 라인(120)의 선단부는, 버퍼 공간(420)에 접속되어 있다. 버퍼 공간(420)은, 연마액 공급 라인(120)으로부터 공급된 연마액을 일시적으로 축적함으로써, 복수의 연마액 공급구(414)에 공급하는 연마액의 배압을 균일화시키는 작용을 갖고 있다. 이에 의해, 연마액 공급 라인(120)으로부터 공급된 연마액은, 버퍼 공간(420)에 축적된 후, 복수의 연마액 공급구(414)로부터 연마 패드(100) 상에 적하된다. 연마 패드(100) 상에 적하된 연마액은, 연마 테이블(20)의 회전에 의해 기판 WF의 피연마면에 공급된다.
도 3은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이다. 도 1 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41)와, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 이동시키도록 구성된 링크 기구(60)와, 링크 기구(60)를 구동하도록 구성된 구동 기구(90)를 구비한다.
링크 기구(60)는, 연마액 공급 헤드(41)로부터 연직 방향으로 신장하는 접속 부재(61)를 통해 연마액 공급 헤드(41)를 보유 지지하도록 구성된 제1 암(60-1)과, 제1 암(60-1)에 연결된 제2 암(60-2)을 구비한다. 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)은 수평 방향으로 신장하고 있다. 또한, 연마액 공급 장치(40)는, 연마 테이블(20)에 인접하여 배치되어, 연직 방향으로 신장하는 샤프트(92)를 구비한다. 링크 기구(60)는, 제1 암(60-1)을 제2 암(60-2)에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제1 연결 부재(제1 조인트)(60-3)와, 제2 암(60-2)을 샤프트(92)에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제2 연결 부재(제2 조인트)(60-4)를 구비한다. 제1 연결 부재(60-3)와 제2 연결 부재(60-4)는 모두, 연마 테이블(20)의 외측에 배치된다. 연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41), 링크 기구(60) 및 구동 기구(90)를 통합하여 승강시키도록 구성된 승강 기구(80)를 구비한다. 승강 기구(80)는, 예를 들어 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 링크 기구(60)는 2개의 암 및 2개의 연결 부재를 구비하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 이동시킬 수 있는 각종 링크 기구를 사용할 수 있다.
구동 기구(90)는, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 선회시키도록, 제1 연결 부재(60-3) 둘레로 제1 암(60-1)을 회전시키기 위한 제1 회전 기구(90-1)를 포함한다. 또한, 구동 기구(90)는, 제1 암(60-1)을 선회시키도록, 제2 연결 부재(60-4) 둘레로 제2 암(60-2)을 회전시키기 위한 제2 회전 기구(90-2)를 포함한다. 제1 회전 기구(90-1) 및 제2 회전 기구(90-2)는, 예를 들어 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 제1 회전 기구(90-1) 및 제2 회전 기구(90-2)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 수평 방향으로 이동하도록, 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)을 회전시키도록 구성된다. 제1 회전 기구(90-1) 및 제2 회전 기구(90-2)는, 연마 처리를 행할 때에는 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100) 상에 배치하고, 연마 처리가 종료하면 연마액 공급 헤드(41)를 연마 테이블(20)의 외측에 퇴피시킨다.
본 실시 형태에서는, 제1 회전 기구(90-1) 및 제2 회전 기구(90-2)는, 연마 패드(100)에 연마액을 공급하고 있을 때에는 항상, 연마액 공급 헤드(41)의 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)을 회전시키도록 구성된다. 또한, 본 명세서에 있어서, 연마 패드(100)의 직경 방향이란, 엄밀하게 연마 패드(100)의 직경 방향만을 가리키는 것은 아니고, ±10°의 범위 내의 각도도, 직경 방향으로 간주하는 것으로 한다.
구체적으로는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 회전 기구(90-1) 및 제2 회전 기구(90-2)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태(450)와, 연마액 공급 헤드(41)가 제1 상태(450)보다도 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태(460)와, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 테이블(20)의 외측에 배치된 제3 상태(470) 사이에서 이동하도록, 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)을 회전시키도록 구성된다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 구동 기구(90)는, 제1 상태(450)에 있어서, 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)을 회전시키도록 구성된다. 또한, 구동 기구(90)는, 제2 상태(460)에 있어서도, 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 제1 암(60-1) 및 제2 암(60-2)을 회전시키도록 구성된다. 따라서, 본 실시 형태에 따르면, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100) 상에서 이동시키면서 연마액을 공급하는 경우에, 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시킬 수 있다. 이 점에 대하여 이하 설명한다.
도 4는, 비교예에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이다. 비교예의 연마 장치는, 본 실시 형태와 마찬가지의 연마액 공급 헤드(1041)와, 연마액 공급 헤드(1041)를 보유 지지하는 암(1060)과, 암(1060)을 회전 가능하게 보유 지지하는 샤프트(1092)와, 암(1060)을 샤프트(1092) 둘레로 회전시키기 위한 도시하고 있지 않은 회전 기구를 구비한다. 이 비교예의 연마 장치에서는, 연마액 공급 헤드(1041)가 연마 패드(1000)의 중앙측에 배치된 상태(1100)에 있어서, 복수의 연마액 공급구(1414)는 연마 패드(1000)의 직경 방향을 따라서 배치되어 있다. 따라서, 연마액의 공급 범위(1112)의 연마 패드의 직경 방향의 폭은 넓다. 한편, 암(1060)을 샤프트(1092) 둘레로 회전시켜서 연마액 공급 헤드(1041)가 연마 패드(1000)의 외측 테두리측에 배치된 상태(1200)에 있어서, 복수의 연마액 공급구(1414)의 배열 방향은 연마 패드(1000)의 직경 방향으로부터 둘레 방향으로 어긋나 있다. 따라서, 연마액의 공급 범위(1110)의 연마 패드의 직경 방향의 폭은, 공급 범위(1112)에 비교하여 좁아진다. 그 결과, 기판 WF의 소정의 반경 방향 폭에 대한 슬러리 공급량이 달라져 버려, 기판 WF에 대하여 연마액을 균일하게 공급하는 것이 어려워지므로, 기판 WF를 균일하게 효율적으로 연마하는 것이 어려워진다.
이에 비해 본 실시 형태의 연마 장치(1)에 의하면, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100) 상에 있는 제1 상태(450) 및 제2 상태(460)의 어느 상태에서도, 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열된다. 따라서, 제1 상태(450)에 있어서의 연마액의 공급 범위의 연마 패드의 직경 방향의 폭과 제2 상태(460)에 있어서의 연마액의 공급 범위의 연마 패드의 직경 방향의 폭이 거의 동등해지므로, 기판 WF에 대하여 연마액을 균일하게 공급할 수 있고, 그 결과, 기판 WF를 균일하게 효율적으로 연마할 수 있다.
또한, 도 3에 있어서 파선(480)으로 나타내는 바와 같이, 제1 상태(450)에서는, 복수의 연마액 공급구(414) 중 적어도 하나(즉 가장 내측의 연마액 공급구)의 슬러리 적하 위치가, 연마 패드 상의 기판 WF가 접촉하는 영역의 내측 테두리부에 일치하는 것이 바람직하다. 또한, 도 3에 있어서 파선(490)으로 나타내는 것처럼, 제2 상태(460)에서는 복수의 연마액 공급구(414) 중 적어도 하나(즉 가장 외측의 연마액 공급구)의 슬러리 적하 위치가, 연마 패드 상의 기판 WF가 접촉하는 영역의 외측 테두리부에 일치하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시 형태의 연마 장치(1)에 의하면, 연마액 공급 장치(40)에 기인하여 발생하는 분진에 의해 기판 WF의 피연마면이 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있다. 즉, 제1 연결 부재(60-3) 또는 제2 연결 부재(60-4)와 같이 다른 2개의 부재(제1 암(60-1)과 제2 암(60-2), 제2 암(60-2)과 샤프트(92))가 연결되어 있는 부분은, 부재끼리의 미끄럼 이동에 의해 마모분 등의 분진이 발생할 우려가 있다. 분진이 연마 패드(100) 상에 낙하하면, 분진은 연마 테이블(20)의 회전에 의해 기판 WF와 연마 패드(100) 사이에 파고 들어, 기판 WF의 피연마면에 흠집을 발생시킬 우려가 있다. 이에 비해, 본 실시 형태의 제1 연결 부재(60-3) 및 제2 연결 부재(60-4)는, 연마 테이블(20)의 외측에 배치된다. 따라서, 제1 연결 부재(60-3) 또는 제2 연결 부재(60-4)에 있어서 부재 사이의 미끄럼 이동에 의해 분진이 발생했다고 해도, 연마 패드(100)에 낙하하는 것을 억제할 수 있으므로, 그 결과, 기판 WF의 피연마면에 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있다.
(아토마이저)
이어서, 본 실시 형태의 연마 장치(1)의 아토마이저(50)에 대하여 설명한다. 도 5a는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 세정 유체를 공급할 때의 아토마이저 상태를 나타내고 있다. 도 5b는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 세정 유체를 공급하지 않을 때의 아토마이저 상태를 나타내고 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시하는 바와 같이, 아토마이저(50)는, 연마 패드(100)에 대하여 세정 유체를 공급하도록 구성된 아토마이저 본체(52)를 구비한다. 세정 유체는, 예를 들어 순수와 기체(예를 들어 N2)의 혼합 유체이다. 아토마이저 본체(52)는, 연마 패드(100)와 대향하여 배치된 직사각형의 판상의 부재이다. 아토마이저 본체(52)에는, 아토마이저 본체(52)의 기단(52-2)으로부터 선단(52-1)의 근방까지 신장하는 유로(52d)가 형성되어 있다. 아토마이저(50)는, 세정 유체를 아토마이저 본체(52)에 공급하기 위한 유체원(55)을 구비한다. 유체원(55)은 유로(52d)에 접속되어 있다. 아토마이저 본체(52)에는, 아토마이저 본체(52)의 저면(52a)과 유로(52d)를 연통하는 복수의 구멍(52b)이 형성되어 있다. 복수의 구멍(52b)은, 아토마이저 본체(52)의 긴 변 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 형성되어 있다. 아토마이저 본체(52)는, 유로(52d) 및 복수의 구멍(52b)을 통해 연마 패드(100)에 세정 유체를 공급하도록 구성되어 있다.
아토마이저(50)는, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)이 기단(52-2)보다도 높아지도록 아토마이저 본체(52)를 기울이기 위한 경사 기구(59)를 구비한다. 경사 기구(59)는, 아토마이저 본체(52)에 접속된 링크 기구(51)와, 링크 기구(51)를 구동함으로써 아토마이저 본체(52)를 기울이기 위한 구동 기구(53)를 구비한다.
구체적으로는, 링크 기구(51)는, 제1 링크 부재(54-1)와, 제1 링크 부재(54-1)에 연결된 제2 링크 부재(54-2)와, 제2 링크 부재(54-2)에 연결된 제3 링크 부재(54-3)를 구비한다. 제1 링크 부재(54-1)는, 굴곡부를 갖는 막대 형상의 부재이다. 제1 링크 부재(54-1)는, 아토마이저 본체(52)의 긴 변 방향과 수평하게 직교하는 방향으로 신장하는 제1 회전축(56-1)에 의해 굴곡부가 지지되어 있다. 제1 회전축(56-1)은 도시하고 있지 않은 베어링에 의해 지지되어 있고 위치가 고정되어 있다. 이에 의해, 제1 링크 부재(54-1)는, 제1 회전축(56-1)의 둘레로 회동 가능하게 되어 있다. 제1 링크 부재(54-1)의 제1 단부는 아토마이저 본체(52)의 기단(52-2)에 연결되어 있고, 제1 회전축(56-1)을 사이에 두고 반대측의 제2 단부는 제2 회전축(56-2)을 통해 제2 링크 부재(54-2)에 연결되어 있다.
제2 링크 부재(54-2)는, 제1 단부가 제2 회전축(56-2)을 통해 제1 링크 부재(54-1)에 연결되어 있고, 제2 단부가 제3 회전축(56-3)을 통해 제3 링크 부재(54-3)에 연결되어 있다. 제3 링크 부재(54-3)는 연직 방향의 신장하는 막대 형상의 부재이고, 제1 단부가 제3 회전축(56-3)을 통해 제2 링크 부재(54-2)에 연결되어 있고, 제2 단부가 구동 기구(53)에 연결되어 있다.
구동 기구(53)는, 제3 링크 부재(54-3)를 승강시키도록 구성되어 있다. 구동 기구(53)는, 예를 들어 모터 또는 실린더 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 도 5a에 도시하는 바와 같이, 세정 유체를 연마 패드(100)에 공급할 때에는, 아토마이저 본체(52)는, 수평 방향으로 신장하고 있다. 바꿔 말하면, 세정 유체를 연마 패드(100)에 공급할 때에는, 아토마이저 본체(52)는, 선단(52-1)과 기단(52-2)이 거의 동일한 높이로 되어 있다. 여기서, 아토마이저(50)가 도 5a에 도시하는 상태에 있어서, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100) 상으로 이동시키면, 아토마이저 본체(52)와 연마액 공급 헤드(41)가 접촉하는 경우가 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 아토마이저(50)는, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 세정 유체를 연마 패드(100)에 공급하지 않을 때에는, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)이 기단(52-2)보다도 높아지도록 선단(52-1)을 들어 올려서 아토마이저 본체(52)를 기울이게 되어 있다.
즉, 구동 기구(53)는, 세정 유체의 공급이 종료되면, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 제3 링크 부재(54-3)를 하강시킨다. 이에 따라 제2 링크 부재(54-2)가 하강하므로, 제1 링크 부재(54-1)의 제2 단부가 눌려 내려간다. 그 결과, 제1 링크 부재(54-1)는 제1 회전축(56-1) 둘레로 회전하여, 제1 링크 부재(54-1)의 제1 단부가 상승하므로, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)을 들어 올릴 수 있다. 이에 의해, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)의 하방에 연마액 공급 헤드(41)를 배치하기 위한 스페이스가 생기므로, 아토마이저 본체(52)와 연마액 공급 헤드(41)가 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
세정 유체를 사용한 세정 처리를 행하지 않을 때에 도 5b에 도시하는 바와 같이 아토마이저 본체(52)를 연마 패드(100) 상에 배치하는 경우, 후속의 연마 처리 중에 세정 유체가 아토마이저 본체(52)로부터 연마 패드(100)로 낙하하여 연마액에 혼입되면 바람직하지 않다. 이 때문에, 본 실시 형태의 아토마이저(50)는, 아토마이저 본체(52)의 유로(52d) 및 복수의 구멍(52b)에 기체(예를 들어 N2)를 분사하여 퍼지하기 위한 기체 공급원(57)을 구비한다. 기체 공급원(57)은, 세정 유체를 사용한 세정 처리가 종료한 후, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)을 들어 올리기 전에, 유로(52d) 및 복수의 구멍(52b)에 기체를 분사하여 퍼지하도록 구성된다. 이에 의해, 연마 처리 중에 세정 유체가 연마 패드(100)에 낙하하여 연마액에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
이것에 추가하여, 본 실시 형태의 아토마이저(50)는, 아토마이저 본체(52)로부터 세정 유체가 낙하하기 어려운 구조를 채용하고 있다. 도 6a는, 일 실시 형태에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 저면도이다. 도 6b는, 도 6a의 아토마이저의 B-B선에 있어서의 단면도이다. 도 6a 및 도 6b에 도시하는 바와 같이, 아토마이저 본체(52)의 저면(52a)에는, 복수의 구멍(52b)끼리를 연통함과 함께 아토마이저 본체(52)의 기단(52-2)에 연통하는 홈(52c)이 형성되어 있다.
홈(52c)은, 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)을 들어 올린 상태에 있어서, 복수의 구멍(52b)에 잔존하는 세정 유체를 아토마이저 본체(52)의 기단(52-2)으로 안내하여 연마 테이블(20)의 외측에 낙하시킬 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 아토마이저(50)에 의하면, 연마 처리 중에 세정 유체가 연마 패드(100)에 낙하하여 연마액에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기의 실시 형태에서는, 복수의 구멍(52b)이 저면(52a)에 대하여 수직으로 형성되어 있는 아토마이저 본체(52)를 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 도 7a는, 변형예에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 단면도이다. 도 7b는, 변형예에 관한 아토마이저의 개략 구성을 도시하는 단면도이다. 도 7a 및 도 7b는, 도 6b와 동일한 단면을 도시하고 있다. 도 7a 및 도 7b에 도시하는 바와 같이, 복수의 구멍(52b)은, 아토마이저 본체(52)의 저면(52a)과 아토마이저 본체(52)의 내부에 형성된 유로(52d)를 연통하도록 형성되어 있다. 여기서, 복수의 구멍(52b)은, 저면(52a)에 대한 개구(52b-1)보다도 유로(52d)에 대한 개구(52b-2)의 쪽이 기단(52-2)측에 위치하도록 기울어져 형성되어 있다. 또한, 복수의 구멍(52b)은, 저면(52a)의 개구(52b-1)와 유로(52d)의 개구(52b-2)를 직선적으로 연결하도록 형성되어 있다.
본 변형예의 아토마이저(50)에 의하면, 도 7b에 도시하는 바와 같이 아토마이저 본체(52)의 선단(52-1)을 들어 올린 상태에 있어서, 복수의 구멍(52b)은, 거의 수평 방향으로 신장하고 있다. 따라서, 복수의 구멍(52b)에 잔존하는 세정 유체가 낙하하기 어려워지므로, 연마 처리 중에 세정 유체가 연마 패드(100)에 낙하하여 연마액에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태에서는, 링크 기구(60)가 2개의 암 및 2개의 연결 부재를 구비하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 링크 기구(60)는, 3개 이상의 암 및 3개 이상의 연결 부재를 구비하고 있어도 된다. 이에 의해, 연마액 공급 헤드(41)의 위치 및 각도를 미세 조정할 수 있다. 또한, 상술한 실시 형태에서는, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 평면적으로 이동시키는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 링크 기구(60)는, 연마액 공급 헤드(41)를 3차원적으로 이동시키도록 구성되어 있어도 된다. 이에 의해, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 장치(1)의 다른 부품과 간섭하는 것을 회피하거나, 연마 장치(1)의 다른 부품과의 간섭을 피하여 돌려 넣어서 원하는 위치에 연마액을 공급하거나 할 수 있다.
(연마 장치의 개략 구성)
이어서, 연마 장치의 다른 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 8은, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 본 실시 형태의 연마 장치(1)는, 연마면(102)을 갖는 연마 패드(100)를 사용하여, 연마 대상물로서의 반도체 웨이퍼 등의 원판 형상의 기판 WF의 연마를 행할 수 있도록 구성되어 있다. 도시하는 바와 같이, 연마 장치(1)는, 원판 형상의 연마 패드(100)를 지지하기 위한 연마 테이블(20)과, 기판 WF를 보유 지지하여 연마 패드(100)의 연마면(102)에 누르기 위한 연마 헤드(30)를 구비하고 있다. 또한, 연마 장치(1)는, 연마 패드(100)와 기판 WF 사이에 연마액(슬러리)을 공급하기 위한 연마액 공급 장치(40)와, 연마 패드(100)의 외부로 선회된 연마액 공급 장치(40)에 대하여 세정액을 공급하기 위한 세정 기구(300)와, 연마면(102)에 세정 유체(순수 등의 액체 및/또는 질소 등의 가스)를 분사하여, 사용 완료의 연마액, 연마 잔사 등을 씻어내기 위한 아토마이저(50)를 구비하고 있다. 연마액 공급 장치(40)는, 기판 WF에 대하여 연마 패드(100)의 회전 상류측에 배치되어 있다. 또한, 도 8의 실시 형태에서는 세정 기구(300)가 연마액 공급 장치(40)의 상부에 배치되는 예를 나타냈지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들어 연마액 공급 장치(40)의 상부 및 하부에 세정 기구(300)를 각각 배치하여, 연마액 공급 장치(40)를 상하 방향으로부터 세정하도록 구성할 수도 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 상류 및 하류는, 도 8에 있어서 연마 테이블(20)(연마 패드(100))을 위에서 보았을 때에 연마 테이블(20)(연마 패드(100))이 시계 방향으로 회전하는 경우의 상류 및 하류를 나타내는 것으로 한다.
본 실시 형태의 연마 장치(1)에 있어서의 연마 테이블(20), 연마 헤드(30) 및 아토마이저(50)는, 도 1 내지 도 7을 사용하여 설명한 상술한 실시 형태와 마찬가지이므로, 중복 설명을 생략한다.
(연마액 공급 장치)
연마액 공급 장치(40)는, 연마 패드(100)에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 헤드(41)를 포함한다. 본 실시 형태의 연마 장치(1)에 있어서의 연마액 공급 헤드(41)는, 도 2를 사용하여 설명한 상술한 실시 형태와 마찬가지이므로, 중복 설명을 생략한다.
도 9a는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이고, 암을 신장한 상태를 나타내고 있다. 도 9b는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도이고, 암을 수축한 상태를 나타내고 있다. 도 9c는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이고, 암을 수축한 상태를 나타내고 있다. 도 9d는, 일 실시 형태에 관한 연마액 공급 장치의 개략 구성을 도시하는 측면도이며, 암을 수축한 상태를 나타내고 있다.
도 9a 내지 도 9d에 도시하는 바와 같이, 연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41)를 보유 지지하도록 구성된 암(160)을 구비한다. 암(160)은, 연마 테이블(20)에 인접하여 배치되어 연직 방향으로 신장하는 샤프트(192)의 둘레로 회전할 수 있도록 샤프트(192)에 지지되어 있다. 암(160)은, 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 신장하도록 구성된 암 본체(161)와, 연마액 공급 헤드(41)의 상면과 암 본체(161)를 접속하도록 구성된 접속 부재(163)를 포함한다. 암 본체(161)는, 연마액 공급 헤드(41)보다도 높은 위치에서 연마 패드(100)의 연마면(102)을 따라 신장하고 있다. 구체적으로는, 암 본체(161)의 저면은, 연마액 공급 헤드(41)의 저면보다도 높은 위치에 배치되어 있다.
연마액 공급 장치(40)는, 샤프트(192)의 둘레로 암(160)을 회전시키도록 구성된 회전 기구(190)를 구비한다. 회전 기구(190)는, 예를 들어 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다. 또한, 연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41), 암(160), 회전 기구(190) 및 후술하는 직동 구동 기구(70)를 통합하여 승강시키도록 구성된 승강 기구(180)를 구비한다. 승강 기구(180)는, 예를 들어 실린더 또는 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.
연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구(70)를 구비한다. 구체적으로는, 암 본체(161)의 측면에는, 암 본체(161)의 연신 방향을 따라서 홈(162)이 형성되어 있고, 접속 부재(163)는 홈(162)을 따라 이동 가능하게 암 본체(161)에 보유 지지되어 있다. 직동 구동 기구(70)는, 접속 부재(163)를 암 본체(161)의 홈(162)을 따라 이동시킴으로써 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성되어 있다. 직동 구동 기구(70)는, 예를 들어 실린더 또는 모터 등의 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 직동 구동 기구(70)는, 연마 패드(100)에 연마액을 공급하고 있을 때에는 항상, 연마액 공급 헤드(41)의 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 연마액 공급 헤드(41)를 직동시키도록 구성된다. 바꾸어 말하면, 직동 구동 기구(70)는, 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)와 대향하여 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열된 상태에서 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 중앙측과 외측 테두리측 사이에서 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 직동시킨다. 또한, 본 명세서에 있어서, 연마 패드(100)의 직경 방향이란, 엄밀하게 연마 패드(100)의 직경 방향만을 가리키는 것은 아니고, ±10°의 범위 내의 각도도, 직경 방향으로 간주하는 것으로 한다.
도 10a는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 패드의 중앙측에 배치된 상태를 나타내고 있다. 도 10b는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 패드의 외측 테두리측에 배치된 상태를 나타내고 있다. 도 10c는, 일 실시 형태에 관한 연마 장치의 개략 구성을 도시하는 상면도이고, 연마액 공급 헤드가 연마 테이블의 외측에 배치된 상태를 나타내고 있다.
도 10a 및 도 10b에 도시하는 바와 같이, 직동 구동 기구(70)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태(450)와, 연마액 공급 헤드(41)가 제1 상태(450)보다도 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태(460) 사이에서 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 직동시킨다. 제1 상태(450)에 있어서 복수의 연마액 공급구(414)는 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열되고, 제2 상태(460)에 있어서도 복수의 연마액 공급구(414)는 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열된다. 따라서, 본 실시 형태에 따르면, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 패드(100) 상에서 이동시키면서 연마액을 공급하는 경우에, 연마 패드(100)에 대한 연마액의 공급 범위의 균일성을 향상시킬 수 있다. 이 점에 대하여 이하 설명한다.
상술한 도 4에 도시하는 비교예의 연마 장치에서는, 연마액 공급 헤드(1041)가 연마 패드(1000)의 중앙측에 배치된 상태(1100)에 있어서, 복수의 연마액 공급구(1414)는 연마 패드(1000)의 직경 방향을 따라서 배치되어 있다. 따라서, 연마액의 공급 범위(1112)의 연마 패드의 직경 방향의 폭은 넓다. 한편, 암(1060)을 샤프트(1092) 둘레로 회전시켜서 연마액 공급 헤드(1041)가 연마 패드(1000)의 외측 테두리측에 배치된 상태(1200)에 있어서, 복수의 연마액 공급구(1414)의 배열 방향은 연마 패드(1000)의 직경 방향으로부터 둘레 방향으로 어긋나 있다. 따라서, 연마액의 공급 범위(1110)의 연마 패드의 직경 방향의 폭은, 공급 범위(1112)에 비교하여 좁아진다. 그 결과, 기판 WF의 소정의 반경 방향 폭에 대한 슬러리 공급량이 달라져 버려, 기판 WF에 대하여 연마액을 균일하게 공급하는 것이 어려워지므로, 기판 WF를 균일하게 효율적으로 연마하는 것이 어려워진다.
이에 비해 본 실시 형태의 연마 장치(1)에 의하면, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100) 상에 있는 제1 상태(450) 및 제2 상태(460)의 어느 상태에서도, 복수의 연마액 공급구(414)가 연마 패드(100)의 직경 방향을 따라서 배열된다. 따라서, 제1 상태(450)에 있어서의 연마액의 공급 범위의 연마 패드의 직경 방향의 폭과 제2 상태(460)에 있어서의 연마액의 공급 범위의 연마 패드의 직경 방향의 폭이 거의 동등해지므로, 기판 WF에 대하여 연마액을 균일하게 공급할 수 있고, 그 결과, 기판 WF를 균일하게 효율적으로 연마할 수 있다.
또한, 도 10a에 있어서 파선(480)으로 나타내는 바와 같이, 제1 상태(450)에서는, 복수의 연마액 공급구(414) 중 적어도 하나(즉 가장 내측의 연마액 공급구)의 슬러리 적하 위치가, 연마 패드 상의 기판 WF가 접촉하는 영역의 내측 테두리부에 일치하는 것이 바람직하다. 또한, 도 10b에 있어서 파선(490)으로 나타내는 바와 같이, 제2 상태(460)에서는 복수의 연마액 공급구(414) 중 적어도 하나(즉 가장 외측의 연마액 공급구)의 슬러리 적하 위치가, 연마 패드 상의 기판 WF가 접촉하는 영역의 외측 테두리부에 일치하는 것이 바람직하다.
또한, 도 10a에 도시하는 바와 같이, 직동 구동 기구(70)는, 제1 상태(450)에 있어서 연마액 공급 헤드(41)의 선단이 암 본체(161)의 선단보다도 샤프트(192)로부터 먼 위치에 배치되도록 연마액 공급 헤드(41)를 직동시킨다. 따라서, 암 본체(161)의 길이가 짧아도 연마 패드(100)의 중앙에 연마액을 공급할 수 있다. 이것에 추가하여, 도 10c에 도시하는 바와 같이, 회전 기구(190)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 배치된 제2 상태(460)에서 암(160)을 회전시킴으로써, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 테이블(20)의 외측에 퇴피시킨다. 연마액 공급 헤드(41)가 샤프트(192)에 가까운 위치로 이동한 상태에서 암(160)을 회전시킴으로써, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 테이블(20)의 외측에 퇴피시킬 때에, 연마액 공급 헤드(41)가 아토마이저(50) 등 연마 테이블 상 혹은 연마 테이블 둘레의 구조물에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 도 10a 내지 도 10c에 도시하는 바와 같이, 암 본체(161)는 굴곡부를 가지므로, 작은 회전 반경으로 암(160) 및 연마액 공급 헤드(41)를 회전시킬 수 있고, 그 결과, 암(160) 및 연마액 공급 헤드(41)가 아토마이저(50) 등의 주변 부품과 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 암 본체(161)는, 연마액 공급 헤드(41)보다도 높은 위치에 배치되어 있다. 따라서, 연마액 공급 헤드(41)로부터 연마 패드(100)에 공급된 연마액이 연마면(102)에 충돌하여 연마 패드(100) 상에 비산했다고 해도, 암 본체(161)에 부착되기 어렵다. 가령 암 본체(161)에 연마액이 부착되면, 암 본체(161)로부터 연마 패드(100) 상의 의도하지 않는 위치에 연마액이 낙하하거나, 암 본체(161)에 부착된 연마액이 건조되어 분진이 된 후에 연마 패드(100) 상에 낙하하거나 하는 경우가 있고, 그 결과, 기판 WF의 연마 프로파일의 불균일이나 디펙트 요인을 초래할 수 있다. 이에 비해, 본 실시 형태에 따르면, 연마 패드(100)로부터 튀어 오른 연마액이 암 본체(161)에 부착되는 것을 억제할 수 있으므로, 연마 패드(100)로부터 튀어 오르는 연마액에 기인하여 기판 WF의 연마 프로파일이 불균일해지거나 기판 WF에 디펙트가 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 도 9a 내지 도 9d에 도시하는 바와 같이, 연마액 공급 장치(40)는, 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)를 덮기 위한 커버 부재(42)를 구비한다. 커버 부재(42)는, 연마액 공급 헤드(41)의 선단에서 위로 신장하는 전방벽(42a)과, 연마액 공급 헤드(41)의 양측부에서 위로 신장하는 측벽(42b)과, 전방벽(42a) 및 측벽(42b)의 정상부를 접속하는 상벽(42c)을 포함하고 있다. 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)는, 전방벽(42a), 측벽(42b) 및 상벽(42c)에 의해 덮여 있다.
커버 부재(42)는, 연마액 공급 헤드(41)에 설치되어 있다. 따라서, 커버 부재(42)는, 연마액 공급 헤드(41)의 직동에 따라 암 본체(161)를 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 도 9a 및 도 9b에 도시하는 바와 같이, 커버 부재(42)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 중앙측에 배치되었을 때에, 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)의 선단을 포함하는 제1 부분(161-1)을 덮는다. 한편, 도 9c 및 도 9d에 도시하는 바와 같이, 커버 부재(42)는, 연마액 공급 헤드(41)가 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 배치되었을 때에, 연마액 공급 헤드(41)의 상면, 암 본체(161)의 제1 부분(161-1) 및 암 본체(161)의 제1 부분(161-1)보다 기단측의 제2 부분(161-2)을 덮도록 구성되어 있다.
따라서, 본 실시 형태의 연마 장치(1)에 의하면, 복수의 연마액 공급구(414)의 바로 위에 있고 연마액의 비산이 발생하기 쉬운 영역의 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)가 커버 부재(42)에 의해 덮이므로, 연마 패드(100)로부터 튀어 오른 연마액이 부착되는 것을 억제할 수 있다. 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)에 연마액이 부착되면, 부착된 연마액이 건조하여 분진이 된 상태에서 연마 패드(100) 상에 낙하하여 기판 WF의 연마 프로파일이 불균일이나 디펙트 요인이 될 우려가 있으므로 바람직하지 않다. 이 점, 연마액 공급 헤드(41)의 상면 및 암 본체(161)에 연마액이 부착된 경우, 도 10c에 도시하는 바와 같이 연마액 공급 헤드(41)를 연마 테이블(20)의 외측에 퇴피시킨 상태에서, 세정 기구(300)를 사용하여 연마액 공급 헤드(41) 및 암 본체(161)를 세정하는 것이 생각된다. 그러나, 연마액 공급 헤드(41) 및 암 본체(161)는, 오목부를 갖는 것과 같은 형상의 부품이 배치되어 있고, 또한 복수의 부품의 접속 부분에 간극이 생기므로, 오목부 또는 간극에 들어간 연마액을 충분히 세정할 수 없을 우려가 있다. 이에 비해, 커버 부재(42)의 표면은 평탄하여 매끄러워져 있으므로, 커버 부재(42)에 연마액이 부착된 경우에는, 연마액 공급 헤드(41)를 연마 테이블(20)의 외측에 퇴피시킨 상태에서 세정 처리를 행함으로써, 커버 부재(42)에 부착된 연마액을 씻어낼 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 10을 사용하여 설명한 연마 장치(1)에서는, 연마액 공급 헤드(41)를 파선(480)과 파선(490) 사이의 고정 범위에서 이동시키고, 기판 Wf의 전체면에 연마액을 공급하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 연마 장치(1)는, 연마액 공급 헤드(41)를 임의의 범위에서 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 연마 장치(1)는, 연마 패드(100)의 중앙 근방의 기판 Wf의 소정의 영역에 중점적으로 연마액을 공급하고 싶은 경우에는, 연마액 공급 헤드(41)을 파선(480)의 근방 범위에서 이동시킬 수 있다. 이와 같이, 연마 장치(1)는, 기판 Wf 및 연마액의 종류 등에 따라 원하는 분포로 연마액을 공급할 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 10을 사용하여 설명한 연마 장치(1)에서는, 연마액 공급 헤드(41)를 일정한 속도로 이동시키는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 연마 장치(1)는, 연마액 공급 헤드(41)의 이동 범위를 복수의 에어리어의 구분으로 하고, 에리어마다의 연마액 공급 헤드(41)의 이동 속도를 다르게 할 수 있다. 연마 장치(1)는, 예를 들어 연마 패드(100)의 중앙측에 있어서의 연마액 공급 헤드(41)의 이동 속도를 높여서 연마액의 공급량을 저감시키고, 연마 패드(100)의 외측 테두리측에 있어서의 연마액 공급 헤드(41)의 이동 속도를 낮추어서 연마액의 공급량을 증가시키는 등, 원하는 분포로 연마액을 공급할 수 있다.
이상, 몇 가지의 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.
본원은, 일 실시 형태로서, 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과, 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와, 상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치를 포함하고, 연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며, 상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 연마면을 따라 이동시키도록 구성된 링크 기구와, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성된 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 제1 상태보다도 상기 연마 패드의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 링크 기구는, 상기 연마액 공급 헤드를 보유 지지하도록 구성된 제1 암과, 상기 제1 암에 연결된 제2 암을 포함하고, 상기 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 연마면을 따라 선회시키도록 상기 제1 암을 회전시키기 위한 제1 회전 기구와, 상기 제1 암을 선회시키도록 상기 제2 암을 회전시키기 위한 제2 회전 기구를 포함하고, 상기 제1 회전 기구 및 상기 제2 회전 기구는, 상기 제1 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되고, 상기 제2 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 상기 제1 암 및 상기 제2 암을 회전시키도록 구성되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 테이블에 인접하여 배치되어 연직 방향으로 신장하는 샤프트를 더 포함하고, 상기 링크 기구는, 상기 제1 암을 상기 제2 암에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제2 암을 상기 샤프트에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제2 연결 부재를 더 포함하고, 상기 제1 연결 부재 및 상기 제2 연결 부재는, 상기 테이블의 외측에 배치되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 구동 기구는, 상기 제1 상태와, 상기 제2 상태와, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 테이블의 외측에 배치된 제3 상태 사이에서 상기 연마액 공급 헤드가 이동하도록, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과, 대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와, 상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치를 포함하고, 연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며, 상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드보다도 높은 위치에서 상기 연마 패드의 연마면을 따라 신장하고, 상기 연마액 공급 헤드를 보유 지지하도록 구성된 암과, 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드와 대향하여 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열된 상태에서 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 중앙측과 외측 테두리측 사이에서 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구를 포함하는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 암은, 상기 연마 패드의 연마면을 따라 신장하는 암 본체와, 상기 연마액 공급 헤드의 상면과 상기 암 본체를 접속하도록 구성된 접속 부재를 포함하고, 상기 직동 구동 기구는, 상기 접속 부재를 상기 암 본체를 따라 이동시킴으로써 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성되고, 상기 암 본체의 저면은, 상기 연마액 공급 헤드의 저면보다도 높은 위치에 배치되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 연마액 공급 장치는, 상기 테이블에 인접하여 배치되어, 연직 방향으로 신장하는 샤프트와, 상기 샤프트의 둘레로 상기 암을 회전시키도록 구성된 회전 기구를 더 포함하고, 상기 직동 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 배치되었을 때에 상기 연마액 공급 헤드의 선단이 상기 암의 선단보다도 상기 샤프트로부터 먼 위치에 배치되도록 상기 연마액 공급 헤드를 직동시키는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 연마액 공급 장치는, 상기 연마액 공급 헤드의 상면 및 상기 암 본체를 덮기 위한 커버 부재를 더 포함하고, 상기 커버 부재는, 상기 연마액 공급 헤드에 설치되어 있고 상기 연마액 공급 헤드의 직동에 따라 상기 암 본체를 따라 이동 가능하게 구성되고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 배치되었을 때에, 상기 연마액 공급 헤드의 상면 및 상기 암 본체의 선단을 포함하는 제1 부분을 덮고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 외측 테두리측에 배치되었을 때에, 상기 연마액 공급 헤드의 상면, 상기 암 본체의 상기 제1 부분 및 상기 암 본체의 상기 제1 부분보다 기단측의 제2 부분을 덮도록 구성되는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 연마 패드에 대하여 세정 유체를 공급하도록 구성된 아토마이저를 더 포함하고, 상기 아토마이저는, 상기 연마 패드와 대향하여 배치되는 아토마이저 본체와, 상기 아토마이저 본체의 선단이 기단보다도 높아지도록 상기 아토마이저 본체를 기울이기 위한 경사 기구를 포함하는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 경사 기구는, 상기 아토마이저 본체에 접속된 링크 기구와, 상기 링크 기구를 구동함으로써 상기 아토마이저 본체를 기울이기 위한 구동 기구를 포함하는, 연마 장치를 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 아토마이저 본체에는, 상기 아토마이저 본체의 기단으로부터 선단의 근방까지 신장하는 유로와, 상기 아토마이저 본체의 저면과 상기 유로를 연통하는 복수의 구멍이 형성되고, 상기 아토마이저 본체의 저면에는, 상기 복수의 구멍끼리를 연통함과 함께 상기 아토마이저 본체의 기단에 연통하는 홈이 형성되어 있는, 연마 장치를 개시한다.
1: 연마 장치
20: 연마 테이블
30: 연마 헤드
40: 연마액 공급 장치
41: 연마액 공급 헤드
42: 커버 부재
51: 링크 기구
52: 아토마이저 본체
52-1: 선단
52-2: 기단
52a: 저면
52b: 구멍
52c: 홈
52d: 유로
53: 구동 기구
59: 경사 기구
60: 링크 기구
60-1: 제1 암
60-2: 제2 암
60-3: 제1 연결 부재
60-4: 제2 연결 부재
61: 접속 부재
80: 승강 기구
90: 구동 기구
90-1: 제1 회전 기구
90-2: 제2 회전 기구
92: 샤프트
100: 연마 패드
160: 암
161: 암 본체
161-1: 제1 부분
161-2: 제2 부분
162: 홈
163: 접속 부재
410: 공급 부재 본체
414: 연마액 공급구
450: 제1 상태
460: 제2 상태
470: 제3 상태
WF: 기판

Claims (11)

  1. 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과,
    대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와,
    상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치
    를 포함하고,
    연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며,
    상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 연마면을 따라 이동시키도록 구성된 링크 기구와, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성된 구동 기구를 포함하고,
    상기 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 대향하여 배치된 제1 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 제1 상태보다도 상기 연마 패드의 외측 테두리측에 대향하여 배치된 제2 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성되는,
    연마 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 링크 기구는, 상기 연마액 공급 헤드를 보유 지지하도록 구성된 제1 암과, 상기 제1 암에 연결된 제2 암을 포함하고,
    상기 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 연마면을 따라 선회시키도록 상기 제1 암을 회전시키기 위한 제1 회전 기구와, 상기 제1 암을 선회시키도록 상기 제2 암을 회전시키기 위한 제2 회전 기구를 포함하고,
    상기 제1 회전 기구 및 상기 제2 회전 기구는, 상기 제1 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되고, 상기 제2 상태에 있어서 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열되도록, 상기 제1 암 및 상기 제2 암을 회전시키도록 구성되는,
    연마 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 테이블에 인접하여 배치되어 연직 방향으로 신장하는 샤프트를 더 포함하고,
    상기 링크 기구는, 상기 제1 암을 상기 제2 암에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제2 암을 상기 샤프트에 대하여 회전 가능하게 연결하는 제2 연결 부재를 더 포함하고,
    상기 제1 연결 부재 및 상기 제2 연결 부재는, 상기 테이블의 외측에 배치되는,
    연마 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 구동 기구는, 상기 제1 상태와, 상기 제2 상태와, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 테이블의 외측에 배치된 제3 상태 사이에서 상기 연마액 공급 헤드가 이동하도록, 상기 링크 기구를 구동하도록 구성되는,
    연마 장치.
  5. 연마 패드를 지지하기 위한 테이블과,
    대상물을 보유 지지하기 위한 연마 헤드와,
    상기 연마 패드와 상기 대상물 사이에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 장치
    를 포함하고,
    연마액의 존재 하에서 상기 연마 패드와 상기 대상물을 접촉시켜서 서로 회전 운동시킴으로써 상기 대상물의 연마를 행하는 연마 장치이며,
    상기 연마액 공급 장치는, 복수의 연마액 공급구를 갖는 연마액 공급 헤드와, 상기 연마액 공급 헤드보다도 높은 위치에서 상기 연마 패드의 연마면을 따라 신장하고, 상기 연마액 공급 헤드를 보유 지지하도록 구성된 암과, 상기 복수의 연마액 공급구가 상기 연마 패드와 대향하여 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 배열된 상태에서 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 중앙측과 외측 테두리측 사이에서 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성된 직동 구동 기구를 포함하는,
    연마 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 암은, 상기 연마 패드의 연마면을 따라 신장하는 암 본체와, 상기 연마액 공급 헤드의 상면과 상기 암 본체를 접속하도록 구성된 접속 부재를 포함하고,
    상기 직동 구동 기구는, 상기 접속 부재를 상기 암 본체를 따라 이동시킴으로써 상기 연마액 공급 헤드를 상기 연마 패드의 직경 방향을 따라서 직동시키도록 구성되고,
    상기 암 본체의 저면은, 상기 연마액 공급 헤드의 저면보다도 높은 위치에 배치되는,
    연마 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 연마액 공급 장치는, 상기 테이블에 인접하여 배치되어, 연직 방향으로 신장하는 샤프트와,
    상기 샤프트의 둘레로 상기 암을 회전시키도록 구성된 회전 기구
    를 더 포함하고,
    상기 직동 구동 기구는, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 배치되었을 때에 상기 연마액 공급 헤드의 선단이 상기 암의 선단보다도 상기 샤프트로부터 먼 위치에 배치되도록 상기 연마액 공급 헤드를 직동시키는,
    연마 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 연마액 공급 장치는, 상기 연마액 공급 헤드의 상면 및 상기 암 본체를 덮기 위한 커버 부재를 더 포함하고,
    상기 커버 부재는, 상기 연마액 공급 헤드에 설치되어 있고 상기 연마액 공급 헤드의 직동에 따라 상기 암 본체를 따라 이동 가능하게 구성되고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 중앙측에 배치되었을 때에, 상기 연마액 공급 헤드의 상면 및 상기 암 본체의 선단을 포함하는 제1 부분을 덮고, 상기 연마액 공급 헤드가 상기 연마 패드의 외측 테두리측에 배치되었을 때에, 상기 연마액 공급 헤드의 상면, 상기 암 본체의 상기 제1 부분 및 상기 암 본체의 상기 제1 부분보다 기단측의 제2 부분을 덮도록 구성되는,
    연마 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연마 패드에 대하여 세정 유체를 공급하도록 구성된 아토마이저를 더 포함하고,
    상기 아토마이저는, 상기 연마 패드와 대향하여 배치되는 아토마이저 본체와, 상기 아토마이저 본체의 선단이 기단보다도 높아지도록 상기 아토마이저 본체를 기울이기 위한 경사 기구를 포함하는,
    연마 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 경사 기구는, 상기 아토마이저 본체에 접속된 링크 기구와, 상기 링크 기구를 구동함으로써 상기 아토마이저 본체를 기울이기 위한 구동 기구를 포함하는,
    연마 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 아토마이저 본체에는, 상기 아토마이저 본체의 기단으로부터 선단의 근방까지 신장하는 유로와, 상기 아토마이저 본체의 저면과 상기 유로를 연통하는 복수의 구멍이 형성되고,
    상기 아토마이저 본체의 저면에는, 상기 복수의 구멍끼리를 연통함과 함께 상기 아토마이저 본체의 기단에 연통하는 홈이 형성되어 있는,
    연마 장치.
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