KR20240009082A - 픽업 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 용기형 몸체와 커버를 갖되, 상기 용기형 몸체의 상부면에 형성되어 외부의 구동부와의 연결을 위한 연결용 홀을 구비하는 케이싱과, 상기 용기형 몸체의 외부로 돌출된 픽업헤드에 연결되고, 상기 용기형 몸체 내부에 형성된 석션중공샤프트를 갖는 소자 픽업부와, 상기 석션중공샤프트 및 상기 픽업헤드의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체의 내부에 배치된 이동모듈과, 상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 상기 용기형 몸체의 내부에 상기 이동모듈과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부와, 상기 케이싱의 내부에 설치되고 상기 연결용 홀을 통해 상기 구동부와 연결되어 상기 석션중공샤프트 내부의 흡입통로를 통해 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하되, 상기 석션중공샤프트가 회전 가능하고, 상기 석션중공샤프트의 상하강 시 일체로 상하강되도록 상기 석션중공샤프트에 결합되는 석션블록을 포함하는 픽업 장치를 제공할 수 있다.
Description
본 발명은 소자를 픽업할 수 있는 픽업 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 칩과 같은 소자(이하, "소자"라고 칭함)의 제조 및 조립 공정을 수행하기 위해서는, 공급되는 소자를 픽업(Pick-up)하여 원하는 위치로 이동시켜 위치시키는 픽앤플레이스(Pick and place) 공정이 필수적이다.
이러한 픽앤플레이스 공정을 수행하기 위해서는 소자를 파지하여 픽업하는 픽업 툴과, 픽업 툴을 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동부를 포함하는 픽업 장치를 사용한다.
일반적으로, 픽업 장치는 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 소자를 파지하여 픽업하는 픽업 툴은 크게 진공압에 의해 소자의 표면을 픽업하는 진공 흡착 방식과, 한쌍의 그리퍼(Gripper)에 의해 소자의 양측면을 파지하여 픽업하는 그리퍼 방식으로 구분되나, 최근 기술의 발전에 따라 소자가 집적화되어 소형화되므로, 소자에 대한 손상을 최소화하기 위해 진공압에 의한 진공 흡착 방식이 주로 사용되고 있다.
또한, 진공 흡착 방식 또는 그리퍼 방식의 픽업 툴을 상하로 왕복 구동시키는 구동부는 서로 다른 경로로 유입되는 진공압에 의해 픽업 툴이 설치된 픽업 샤프트를 구동시키는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)와, 전기에 의해 픽업 샤프트를 구동시키는 전기 액츄에이터(Electric actuator)로 구분된다.
최근, 반도체 소자의 고집적화 및 생산성 향상을 위해 정밀하고, 내구성이 강한 픽업 장치의 개발이 절실히 요구되고 있다.
본 발명은 소자 픽업부를 회전하면서 수직 이동이 가능한 픽업 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 소자 픽업부의 회전 및 수직 이동에 대한 신뢰성을 확보할 수 있는 픽업 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 밀폐형 구조이면서 내부의 열을 효율적으로 방출할 수 있는 픽업 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 외부의 구동부와 연결되는 공압제공수단인 석션블록이 내장된 픽업 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 소자의 픽업을 위한 각 부품에서의 고장 발생 시 효율적인 수리가 가능한 픽업 장치를 제공한다.
상기한 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위해서, 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치는 용기형 몸체와 커버를 갖되, 상기 용기형 몸체의 상부면에 형성되어 외부의 구동부와의 연결을 위한 연결용 홀을 구비하는 케이싱과, 상기 용기형 몸체의 외부로 돌출된 픽업헤드에 연결되고, 상기 용기형 몸체 내부에 형성된 석션중공샤프트를 갖는 소자 픽업부와, 상기 석션중공샤프트 및 상기 픽업헤드의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체의 내부에 배치된 이동모듈과, 상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 상기 용기형 몸체의 내부에 상기 이동모듈과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부와, 상기 케이싱의 내부에 설치되고 상기 연결용 홀을 통해 상기 구동부와 연결되어 상기 석션중공샤프트 내부의 흡입통로를 통해 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하되, 상기 석션중공샤프트가 회전 가능하고, 상기 석션중공샤프트의 상하강 시 일체로 상하강되도록 상기 석션중공샤프트에 결합되는 석션블록을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 피커 왕복 구동부는 한쌍의 고정자의 사이에 배치되고, 기판이 탑재된 이동자에 의해 직선 방향으로 추력을 발생시키는 자기 부상식 리니어 모터이며, 상기 픽업 장치는 상기 기판과 상기 이동모듈을 연결시키는 연결부재를 더 포함하며, 상기 이동모듈은 일측에 형성되어 상기 연결부재와 연결되는 기판 연결부와, 타측에 형성된 연장 프레임과, 상기 기판 연결부와 연장 프레임 사이 위치를 기준으로 상기 이동모듈 상에 설치되어 상기 이동모듈의 수직 방향으로 이동시키는 선형 가이드와, 상기 석션중공사프트 및 상기 픽업 헤드를 회전시키기 위한 구동 모터와 상기 구동 모터에 축 결합된 구동 기어가 배치되는 모터 공간부를 포함하며, 상기 구동 모터의 모터 하우징은 모터 브래킷의 일측부에 결합되며, 상기 모터 브래킷의 타측부는 상기 이동모듈의 브래킷 설치부에 결합되며, 상기 구동 기어에 따라 동작하는 피동기어는 상기 석션중공샤프트에 축 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 연장 프레임에는 상기 석션중공샤프트와 인접한 상기 용기형 몸체의 일 영역에 배치된 가이드부재의 일측이 삽입 결합되는 결합부를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 석션블럭은 상기 가이드부재의 타측과 결합되는 연결브라켓을 구비하는 상기 석션중공샤프트와 연결되어 일측이 상기 석션중공샤프트와 결합되어 상기 석션중공샤프트의 내부에 공압을 제공하는 석션부와, 일단이 상기 석션부와 결합되는 연결관로와, 일측이 상기 연결관로의 타단과 결합되고, 타측이 외부의 공압을 제공하기 위한 구동부와 연결되는 석션주입포트를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 석션부는 상기 가이드부재의 타측과 결합되는 연결브래킷을 구비할 수 있다.
전술한 본 발명의 실시예에 따르면, 알루미늄 재질을 이용하여 몸체를 형성하고, 몸체 내부에 픽업 장치의 동작에 필요한 부품을 실장함과 더불어 브래킷, 차폐 부재 등을 이용하여 내부로의 이물질의 유입 및 자성 발생을 차폐시킴으로써, 내부에서 발생되는 열을 효율적으로 처리할 수 있을 뿐만 이물질의 유입에 따라 제품의 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있다.
전술한 본 발명의 실시예에 따르면, 픽업 장치의 동작에 필요한 부품을 세부화시켜 배치함으로써, 고장 발생 시 수리의 효율성을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치의 전체 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치의 세부 구성을 설명하기 위한 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 이동모듈과 각 구성간의 연결 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 석션블록을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치의 세부 구성을 설명하기 위한 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 이동모듈과 각 구성간의 연결 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 석션블록을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 본 발명의 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이여서는 안 된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 픽업 장치와 그 동작 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치의 전체 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이며, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치의 세부 구성을 설명하기 위한 분해사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 이동모듈과 각 구성간의 연결 관계를 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치에서 석션블록을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 픽업 장치는 크게 밀폐형 케이싱(100), 피커 왕복 구동부(200), 이동모듈(300), 소자 픽업부(400), 석션블럭(500) 및 회로부(600) 등으로 구성된 메인부(1000) 및 메인부(1000)의 석션블럭(500)과 연결되어 공압을 소자의 픽업을 위한 공압을 제공하기 위한 구동부(1200) 등으로 구성될 수 있다. 여기에서, 구동부(1200)는 밀폐형 케이싱(100)의 상부면에 형성된 연결용 홀(115)을 통해 석션블럭(500)과 연결될 수 있다.
구체적으로서, 본 발명의 실시예에서 픽업 장치는 용기형 몸체(110)와 커버(120)를 갖는 밀폐형 케이싱(100), 용기형 몸체(100)의 외부에 배치, 즉 외부로 돌출되어 소자(반도체 소자)를 픽업하기 위한 픽업헤드(420)에 공간상 연결된 석션중공샤프트(410)를 갖는 소자 픽업부(400), 석션중공샤프트(410) 및 픽업헤드(420)의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 용기형 몸체(110)의 내부에 배치된 이동모듈(300), 이동모듈(300)에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 용기형 몸체(110)의 내부를 기준으로 이동모듈(300)과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부(200), 석션중공샤프트(410)에 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하도록 밀폐형 케이싱(100)의 내부에 설치된 석션블럭(500) 및 석션중공샤트(410)에 연결되어 석션중공샤프트(410)의 회전을 센싱하는 엔코더(430) 등을 포함할 수 있다.
또한, 픽업 장치는 상부에 결합되어 용기형 몸체(110) 내부에 실장된 회로부(600)와 외부기기(미도시됨)를 연결시키는 커넥터(610)를 구비할 수 있다.
특히, 본 발명의 실시예에 따른 석션블럭(500)은 밀폐형 케이싱(100)의 내부에 설치되어 셕션중공샤프트(410)와 연결되어 석션중공샤프트(410)에 공압을 제공할 수 있다.
이를 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 밀폐형 케이싱(100)은 용기형 몸체(110)와 커버(120)를 가질 수 있다. 또한, 용기형 몸체(110)는 배면에 형성된 단자홀의 테두리부(미도시됨)와 탑재단부(미도시됨)를 구비하며, 용기형 몸체(110)의 상부면에 형성되어 외부의 구동부(1200)와의 연결을 위한 연결용 홀(115)이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 픽업 장치의 밀폐형 케이싱(100)은 전체적으로 얇은 직육면체 형상을 가지고 열 전도성이 높은 알루미늄 재질로 이루어질 수 있으며, 용기형 몸체(110)와 커버(120)가 결합되고 석션중공샤프트(410)의 양단에 인접하도록 용기형 몸체(110)에 설치된 방진부재(10)에 의해 밀폐형 구조를 가질 수 있다. 여기에서, 방진부재(10)는 석션중공샤프트(410)의 양단에 해당하는 위치에 형성된 용기형 몸체(110)의 결합 홈(12)에 설치될 수 있으며, 석션중공샤프트(410)에 삽입되어 결합될 수 있다.
용기형 몸체(110) 및 커버(120)의 일부 영역, 즉 피커 왕복 구동부(200)가 실장된 공간에 대응되는 영역이 오픈된 정면 및 배면 단차홀(135, 145)을 구비할 수 있다. 이러한 정면 및 배면 단차홀(135, 145)에는 정면 및 배면 차폐판(130, 140)이 삽입되어 결합될 수 있다. 여기에서, 본 발명의 실시예에서 단차홀의 깊이는 정면 및 배면 차폐판(130, 140)의 두께에 대응될 수 있다.
정면 차폐판(130)은 피커 왕복 구동부(200)의 정면을 향하는 커버(120)의 정면 단차홀(135)에 배치될 수 있다.
배면 차폐판(140)은 피커 왕복 구동부(200)의 배면을 향하는 용기형 몸체(110)의 배면 단차홀(145)에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 정면 차폐판(130) 및 배면 차폐판(140)은 피커 왕복 구동부(200)로부터 발생되는 자기장을 차폐하여 복수개의 픽업 장치간 전자기 결합 현상을 방지할 수 있다.
피커 왕복 구동부(200)는 복수개의 자석판으로 이루어진 한 쌍의 고정자(210, 220)의 사이 배치된 전자석 코일과 같은 이동자(230)를 포함할 수 있다. 여기에서, 한 쌍의 고정자(210, 220) 중 일측 고정자(210)는 용기형 몸체(110)의 배면 단차홀의 테두리부에 설치되며, 타측 고정자(220)는 용기형 몸체(110)의 탑재단부에 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 피커 왕복 구동부(200)는 회로부(600)로부터 인가되는 신호에 따라 한 쌍의 고정자(210, 220)와 이동자(230)에 의해 직선 방향으로 추력을 발생시키는 자기 부상식 리니어 모터일 수 있다.
또한, 이동자(230)는 기판(231)에 탑재될 수 있으며, 기판(231)은 연결부재(232)를 통해 이동모듈(300)의 일측에 형성된 기판 연결부(301)에 결합될 수 있다.
한편, 피커 왕복 구동부(200)는 회로부(600)와 연결되어 회로부(600)로부터 인가되는 신호에 따라 이동력을 발생시켜 이동자(230)와 연결된 이동모듈(300)을 수직 방향(Z축 방향)으로 상승 또는 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 이동모듈(300)에 연결된 구동 모터(350), 모터 브래킷(340), 구동 기어(360), 피동기어(370), 베어링(371) 및 소자 픽업부(400)를 상승 또는 하강시킬 수 있다.
피커 왕복 구동부(200)의 구동에 따라 이동모듈(300) 및 소자 픽업부(400)를 상승 또는 하강시키기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 이동모듈(300)은 그 일측에 피커 왕복 구동부(200)의 기판(231)에 연결되는 기판 연결부(301)를 형성하고 있으며, 타측에 연장 프레임(304)을 형성하고 있다.
또한, 이동모듈(300)은 기판 연결부(301)와 연장 프레임(304) 사이 위치를 기준으로 복수개의 선형 가이드(310, 320)가 장착될 수 있는 장착부(300a)를 포함할 수 있다.
이러한 선형 가이드(310, 320)는 수직 방향을 따라 각각 배치되고 서로 평행을 유지하도록 서로 이격 배치될 수 있다.
각 선형 가이드(310, 320)는 이동모듈(300)의 표면, 즉 장착부(300a)에 설치되는 가이드레일(311, 321)과, 가이드레일(311, 321) 각각을 따라 미끄럼 이동(수직방향의 이동) 가능하게 결합된 상태로서, 이동모듈(300)에 각각 연결된 대차블럭(312, 322)을 구비할 수 있다.
상술한 바와 같은 선형 가이드(310, 320)는 이동모듈(300)의 수직 방향 이동뿐만 아니라 이동모듈(300)의 하중 및 이동모듈(300)을 기반으로 탑재될 각종 부품, 예컨대 이동자, 기판, 엔코더, 베어링, 구동 모터, 소자 픽업부 등의 하중을 분산 지지함으로써, 승강 또는 하강에 따른 소자 픽업부(400)의 이동을 신뢰성 있게 가이드할 수 있다.
한편, 이동모듈(300)은 브래킷 설치부(306)와 모터 공간부(307)를 포함할 수 있다.
이러한 이동모듈(300)의 구조를 통해 구동 모터(350) 및 구동 모터(350)의 회전축에 축 결합된 구동 기어(360)는 모터 공간부(307)에 배치되며, 구동 모터(350)의 모터 하우징은 모터 브래킷(340)의 일측부에 결합될 수 있다.
모터 브래킷(340)의 타측부는 이동모듈(300)의 브래킷 설치부(306)에 결합될 수 있다.
또한, 이동모듈(300)의 브래킷 설치부(306)에는 리니어 스케일 센서(800)가 결합되는 안착대(810)의 브래킷과 연결될 수 있으며, 리니어 스케일 센서(800)는 중간부재(815)를 통해 안착대(810)에 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에서 안착대(810)에 결합된 리니어 스케일 센서(800)는 구동 모터(350)의 측면에 형성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 구동 모터(350) 및 구동 기어(360)는 이동모듈(300)의 모터 공간부(307)에 배치하고 이동모듈(300)의 브래킷 설치부(306)와 모터 브래킷(340)의 타측부를 결합시킴으로써, 피커 왕복 구동부(200)에 의해 상승 또는 하강하는 이동모듈(300)과 함께 구동 모터(350) 및 구동 기어(360)가 상승 또는 하강할 수 있다.
구동 모터(350)의 회전축은 구동 기어(360)에 축 결합되고, 구동 기어(360)는 피동기어(370)에 치합될 수 있다.
또한, 구동 기어(360)에 따라 동작하는 피동기어(370)는 소자 픽업부(400)의 석션중공샤프트(410)에 축 결합될 수 있다.
셕션중공샤프트(410)에는 피동기어(370)의 아래쪽 위치를 기준으로 복수개의 베어링(371)이 설치될 수 있다.
복수개의 베어링(371)의 외륜은 이동모듈(300)의 베어링블럭(302)에 결합되며, 각 베어링(371)의 내륜은 석션중공샤프트(410)의 외주면에 결합되어 석션중공샤프트(410)의 회전을 지지할 수 있다.
따라서, 석션중공샤프트(410)와 피동기어(370)가 이동모듈(300)의 베어링블럭(302)에 결합된 베어링(371)에 의해 회전가능한 상태로 이동모듈(300)에 탑재되어 있으므로, 석션중공샤프트(410), 픽업헤드(420), 엔코더(430)를 포함한 픽업모듈(400) 및 피동기어(370)도 이동모듈(300)과 함께 상승 또는 하강 가능한 상태가 될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에서 석션중공샤프트(410)는 전체적으로 길게 형성된 원통 형상을 가지고, 용기형 몸체(110)의 내부에 왕복 이동 가능하 도록 배치될 수 있다. 또한, 석션중공샤프트(410)는 소자를 픽업할 수 있도록 일단이 용기형 몸체(110)로부터 노출되며, 외부로 노출된 일단에 소자에 직접 접촉하여 소자를 픽업하는 픽업헤드(420)가 배치될 수 있다.
설명의 편의상, 본 발명의 실시예에서는 진공압에 의해 소자를 흡착하는 진공 흡착 방식의 픽업 장치를 예로 들어 설명하면, 석션중공샤프트(410)의 내부에 길이 방향을 따라 흡입 통로(미도시됨)가 형성되고, 석션중공샤프트(410)의 타단에 결합된 피팅(미도시됨)과 흡입 통로를 통해 제공되는 진공압에 의해 석션중공샤프트(410)의 일단에 결합된 픽업헤드(420)의 흡착 패드(미도시됨)가 소자를 흡착할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 석션중공샤프트(410)의 일단에 그리퍼(Gripper) 방식의 픽업 툴이 결합될 수도 있다.
리니어 스케일 센서(800)는 이동모듈(300)의 승강 또는 하강에 따른 이동량을 계측할 수 있도록, 밀폐형 케이싱(100)의 용기형 몸체(110)에 설치되어 있다. 예컨대, 리니어 스케일 센서(800)는 가이드레일(311, 321) 중 길이가 짧은 가이드레일(321)의 상부를 기준으로 용기형 몸체(110)에 설치되어 이동모듈(300)의 이동 거리를 측정하고, 측정한 이동 거리값을 회로부(600)에 제공할 수 있다.
이동모듈(300)은 베어링블럭(302)의 좌측의 위치, 즉 베어링블럭(302)의 주변 위치를 기준으로 이동모듈(300)의 저면에 형성된 스프링 접촉부(303)를 더 구비할 수 있다.
이동모듈(300)의 스프링 접촉부(303)에는 스프링(700)이 접촉될 수 있다.
스프링(700)은 밀폐형 케이싱(100)의 용기형 몸체(110)의 저부와 연결된 스프링 가이드(710)에 끼워져서, 스프링 접촉부(303)를 통해 이동모듈(300)을 탄성 지지할 수 있다.
또한, 스프링(700)은 스프링 가이드(710)를 통해 용기형 몸체(110)의 저부에 연결되어 석션중공샤프트(410)의 수직 방향의 상하 운동 시 석션중공샤프트(410)에 의해 발생되는 정전기를 용기형 몸체(110)에 전달하여 외부로 방출시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에서 스프링 가이드(710)는 스프링(700)의 압축 또는 인장을 가이드하도록 용기형 몸체(110)의 저부에 설치될 수 있다.
또한, 이동모듈(300)의 연장 프레임(304)에는 석션중공샤프트(410)와 인접한 용기형 몸체(110)의 일 영역에 배치되는 가이드부재(440)의 일측이 삽입되어 결합되는 결합부(305)를 구비할 수 있다.
이때, 가이드부재(440)는 그 일측이 결합부(305)에 삽입되어 결합되고, 타측이 석션블럭(500)의 석션부(510)의 연결브라켓(512)에 결합될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 석션블록(500)은 소자 픽업부(400)에 흡입력(또는 진공압)을 제공함으로써, 소자 픽업부(400)에 제공되는 흡입력에 의해 소자의 픽업이 이루어지도록 한다. 또한, 석션 블럭(500)은 밀폐형 케이싱(100)의 내부에 수용되도록 구성됨으로써, 밀폐형 케이싱(100)의 콤팩트화가 이루어지도록 함과 함께, 내구성을 향상시키도록 한다.
본 발명의 실시예에 따른 석션 블록(500)은 그 측면에 연결브라켓(512)이 돌출되어 형성된 석션부(510), 연결관로(520) 및 석션주입포트(530)를 포함한다.
석션부(510)는 그 일측이 소자 픽업부(400)의 일단에 결합되고, 타측이 연결관로(520)의 일단에 결합되도록 구성된다. 이때, 석션부(510)는 밀폐형 케이싱(100)의 커버(120)와 소정 간격만큼 이격된 상태로 설치될 수 있다.
연결관로(520)는 일단이 석션부(510)의 일측에 결합되고, 타단이 석션주입포트(530)의 일단에 결합되어, 석션주입포트(530)를 통해 작용하는 흡입력이 석션부(510)에 미치도록 관로를 형성할 수 있다. 이 경우, 연결관로(520)는 석션부(510)과 석션주입포트(530) 사이가 직관으로 형태로 흡입력이 작용하지 않고'U'형태로 완충구간을 형성함으로써, 과도한 흡입력에 의해 소자의 파손 등을 방지하도록 한다.
석션주입포트(530)는 밀폐형 케이싱(100)의 커버(120)와 소정 간격만큼 이격된 상태로 설치될 수 있다.
또한, 석션주입포트(530)는 일측이 연결관로(520)의 일단에 결합되고, 타측이 외부의 흡입관, 즉 구동부(1200)와 연결된 외부의 흡입관이 결합되어, 흡입관을 통해 제공되는 흡입력이 연결관로(520)를 통해 석션부(510)에 제공될 수 있도록 한다.
엔코더(430)는 엔코더 센서(미도시됨)에 의해 센싱될 수 있는 위치를 기준으로 석션중공샤프트(410)에 결합되어 션중공샤프트(410) 및 픽업헤드(420)의 회전각을 측정할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 본질적 특성을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명에 표현된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것이 아니라, 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하고, 그와 동등하거나, 균등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 밀폐형 케이싱
200 : 피커 왕복 구동부
300 : 이동모듈
400 : 소자 픽업부
500 : 석션블럭
600 : 회로부
200 : 피커 왕복 구동부
300 : 이동모듈
400 : 소자 픽업부
500 : 석션블럭
600 : 회로부
Claims (4)
- 용기형 몸체와 커버를 갖되, 상기 용기형 몸체의 상부면에 형성되어 외부의 구동부와의 연결을 위한 연결용 홀을 구비하는 케이싱과,
상기 용기형 몸체의 외부로 돌출된 픽업헤드에 연결되고, 상기 용기형 몸체 내부에 형성된 석션중공샤프트를 갖는 소자 픽업부와,
상기 석션중공샤프트 및 상기 픽업헤드의 회전, 상승 또는 하강을 위해서 상기 용기형 몸체의 내부에 배치된 이동모듈과,
상기 이동모듈에 상승력 또는 하강력을 제공하도록 상기 용기형 몸체의 내부에 상기 이동모듈과 연결되어 배치된 피커 왕복 구동부와,
상기 케이싱의 내부에 설치되고 상기 연결용 홀을 통해 상기 구동부와 연결되어 상기 석션중공샤프트 내부의 흡입통로를 통해 공압(여기서, 공압은 기체의 양압 또는 음압을 포함함)을 제공하되, 상기 석션중공샤프트가 회전 가능하고, 상기 석션중공샤프트의 상하강 시 일체로 상하강되도록 상기 석션중공샤프트에 결합되는 석션블록을 포함하는 픽업 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 피커 왕복 구동부는 한쌍의 고정자의 사이에 배치되고, 기판이 탑재된 이동자에 의해 직선 방향으로 추력을 발생시키는 자기 부상식 리니어 모터이며,
상기 픽업 장치는 상기 기판과 상기 이동모듈을 연결시키는 연결부재를 더 포함하며,
상기 이동모듈은,
일측에 형성되어 상기 연결부재와 연결되는 기판 연결부와, 타측에 형성된 연장 프레임과, 상기 기판 연결부와 연장 프레임 사이 위치를 기준으로 상기 이동모듈 상에 설치되어 상기 이동모듈의 수직 방향으로 이동시키는 선형 가이드와, 상기 석션중공사프트 및 상기 픽업 헤드를 회전시키기 위한 구동 모터와 상기 구동 모터에 축 결합된 구동 기어가 배치되는 모터 공간부를 포함하며,
상기 구동 모터의 모터 하우징은 모터 브래킷의 일측부에 결합되며,
상기 모터 브래킷의 타측부는 상기 이동모듈의 브래킷 설치부에 결합되며,
상기 구동 기어에 따라 동작하는 피동기어는 상기 석션중공샤프트에 축 결합되는 픽업 장치.
- 제2항에 있어서,
상기 연장 프레임에는 상기 석션중공샤프트와 인접한 상기 용기형 몸체의 일 영역에 배치된 가이드부재의 일측이 삽입 결합되는 결합부를 구비하는 픽업 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 석션블럭은,
상기 가이드부재의 타측과 결합되는 연결브라켓을 구비하는 상기 석션중공샤프트와 연결되어 일측이 상기 석션중공샤프트와 결합되어 상기 석션중공샤프트의 내부에 공압을 제공하는 석션부와,
일단이 상기 석션부와 결합되는 연결관로와,
일측이 상기 연결관로의 타단과 결합되고, 타측이 외부의 공압을 제공하기 위한 구동부와 연결되는 석션주입포트를 포함하는 픽업 장치.
Priority Applications (1)
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| KR1020220086153A KR20240009082A (ko) | 2022-07-13 | 2022-07-13 | 픽업 장치 |
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| KR20240009082A true KR20240009082A (ko) | 2024-01-22 |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100976505B1 (ko) | 2008-06-20 | 2010-08-17 | 주식회사 엠피스엑스선 | 픽업지그 및 이를 이용하는 액정디스플레이용 게터의픽업장치 |
-
2022
- 2022-07-13 KR KR1020220086153A patent/KR20240009082A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
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