KR20230175000A - 작업대 - Google Patents

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장준혁
강현재
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 작업대는 플레이트 형상을 가지는 작업 플레이트와, 상기 작업 플레이트를 지지하여 상기 작업 플레이트가 지상으로부터 이격 배치되도록 하는 지지대와, 상기 작업 플레이트의 가장자리 중 적어도 두개의 가장자리에 배치되는 난간과, 상기 작업 플레이트의 하면에 제1 방향으로 배치되는 레일과, 상기 레일을 따라 이동되는 이동부재 및 상기 이동부재에 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동되도록 설치되는 반송 크레인을 구비하는 단위 작업대를 포함하며, 상기 단위 작업대는 복수개가 적어도 일 방향으로 연결될 수 있다.

Description

작업대{Work platform}
본 발명은 작업대에 관한 것이다.
반도체 장비가 설치되는 제조 설비 라인의 상부에는 천장에 레일을 설치하여 웨이퍼 등의 물류를 이동하기 위한 반송 장치가 레일을 따라 이동되도록 설치된다. 한편, 오랜 시간 동안 사용된 반송 장치는 노후화되고, 이러한 경우 레일의 교체 또는 반송 장치의 교체 등 유지, 보수 작업이 필요하다.
그런데, 이와 같이 레일의 교체 또는 반송 장치의 교체 등의 유지, 보수 작업이 수행되는 동안 물류의 자동 반송이 이루어지지 않아 작업자가 직접 물류를 반송해야 하는 문제가 있다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 웨이퍼 등의 물류의 자동 반송이 가능한 작업대를 제공하는 것이다.
예시적인 실시예에 따른 작업대는 플레이트 형상을 가지는 작업 플레이트와, 상기 작업 플레이트를 지지하여 상기 작업 플레이트가 지상으로부터 이격 배치되도록 하는 지지대와, 상기 작업 플레이트의 가장자리 중 적어도 두개의 가장자리에 배치되는 난간과, 상기 작업 플레이트의 하면에 제1 방향으로 배치되는 레일과, 상기 레일을 따라 이동되는 이동부재 및 상기 이동부재에 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동되도록 설치되는 반송 크레인을 구비하는 단위 작업대를 포함하며, 상기 단위 작업대는 복수개가 적어도 일 방향으로 연결될 수 있다.
웨이퍼 등의 물류의 자동 반송이 가능한 작업대를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 사시도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 측면도이다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 정면도이다.
도 4는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 하부에서 바라본 분해 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 사시도이고, 도 2는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 측면도이고, 도 3은 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 정면도이고, 도 4는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 나타내는 분해 사시도이고, 도 5는 예시적인 실시예에 따른 작업대를 하부에서 바라본 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 예시적인 실시예에 따른 작업대(10)는 작업 플레이트(110), 지지대(120), 난간(130), 레일(140), 이동부재(150) 및 반송 크레인(160)을 구비하는 단위 작업대(100)를 포함한다.
단위 작업대(100)는 복수개가 연결되어 하나의 작업대(10)를 형성하며, 작업대(10)의 적어도 일측에는 반도체 설비(1)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 단위 작업대(100)는 도 1의 X축 방향으로 복수개가 연결될 수 있다. 도면에는 4개의 단위 작업대(100)가 하나의 작업대(10)를 구성하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 단위 작업대(100)의 갯수는 다양하게 변경 가능할 것이다.
이하에서 단위 작업대(100)에 대하여 살펴보면, 작업 플레이트(110)는 대략 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 작업 플레이트(110)는 작업자가 이동하면서 작업을 수행하는 공간을 형성하며 지상으로부터 소정 거리 이격 배치될 수 있다.
지지대(120)는 작업 플레이트(110)의 하면으로부터 하부측으로 연장 형성된다. 일예로서, 지지대(120)는 작업 플레이트(110)를 지지하여 작업 플레이트(110)가 지상으로부터 이격 배치되도록 하는 역할을 수행한다. 한편, 지지대(120)는 예를 들어, 작업 플레이트(110)의 하면 모서리 측에 2개가 하나의 쌍을 이루도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 작업 플레이트(110)의 하부에 공간이 형성될 수 있다.
난간(130)은 작업 플레이트(110)의 가장자리 중 적어도 두 개의 가장자리에 배치될 수 있다. 일예로서, 도 1의 Y축 방향에 수직으로 배치되는 두 개의 가장자리에 난간(130)이 배치될 수 있다. 한편, 단위 작업대(100) 중 도 1의 X축 방향으로 끝단에 배치되는 단위 작업대(100)에는 X축 방향에 대하여 수직으로 배치되는 가장자리 중 최외측에 배치되는 가장자리에 난간(130)이 배치될 수 있다. 난간(130)은 작업자가 작업 플레이트(110)에서 작업 중 낙하를 방지하기 위한 역할을 수행한다.
레일(140)은 작업 플레이트(110)의 하면에 제1 방향으로 배치될 수 있다. 일예로서, 레일(140)은 도 1의 X축과 나란히 배치되도록 작업 플레이트(110)의 하면에 설치될 수 있다. 또한, 레일(140)은 후술할 이동부재(150)의 보다 원활한 이동을 위하여 복수개의 열을 가지도록 배치될 수 있다. 일예로서, 레일(140)은 작업 플레이트(110)의 하면에 3개의 열을 이루도록 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 레일(140)은 2개의 열, 4개 이상의 열을 이루도록 배치될 수 있다.
이동부재(150)는 레일(140)을 따라 이동된다. 일예로서, 이동부재(150)는 도 1의 X축 방향인 제1 방향으로 이동될 수 있다. 한편, 이동부재(150)는 레일(140)을 따라 이동될 수 있도록 주행구동부(미도시)를 구비할 수 있다. 주행구동부는 이동부재(150)가 레일(140)을 따라 이동될 수 있도록 주행바퀴(미도시) 등을 구비할 수 있다.
반송 크레인(160)은 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동되도록 이동부재(150)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 반송 크레인(160)은 도 1의 Y축 방향으로 이동부재(150)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 한편, 반송 크레인(160)은 이동부재(150)를 따라 이동되는 구동부(162)와, 구동부(162)에 설치되어 승강되는 파지부(164)를 구비할 수 있다. 파지부(164)는 웨이퍼 등의 물류를 파지하도록 승강될 수 있다. 예를 들어, 파지부(164)는 도 1의 Z축을 따라 승강이 이루어질 수 있다.
한편, 복수개의 단위 작업대(100) 중 끝단에 배치되는 단위 작업대(100)의 적어도 하나에는 작업자의 승강을 위한 사다리(170)가 배치될 수 있다. 그리고, 사다리(170)의 상단부를 감싸도록 보호구(180)가 설치될 수 있다. 보호구(180)는 작업자가 사다리(170)를 이용하여 이동할 때 작업자의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다.
또한, 복수개의 단위 작업대(100) 중 어느 하나에는 제어판넬(190)이 구비될 수 있다. 제어판넬(190)은 반송 크레인(160)의 이동을 제어하는 역할을 수행할 수 있다.
상기한 바와 같이, 반송 크레인(160)이 작업 플레이트(110)의 하부에 배치되는 공간에서 이동되면서 웨이퍼 등의 물류를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 반도체 설비(1)의 상부에 배치되도록 천정에 설치되는 레일 등의 유지, 보수 작업 시 웨이퍼 등의 물류의 이동이 가능할 수 있다. 나아가, 반도체 설비(1)의 상부에 배치되도록 천정에 설치되는 레일 등의 유지, 보수 작업 시 필요한 자재 등의 이동을 반송 크레인(160)을 통해 수행할 수 있다.
따라서, 레일 등의 유지, 보수 작업이 기간이 단축될 수 있다. 또한, 웨이퍼 등의 이동을 반송 크레인(160)을 통해 수행할 수 있으므로 생산성이 향상될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
10 : 작업대
100 : 단위 작업대
110 : 작업 플레이트
120 : 지지대
130 : 난간
140 : 레일
150 : 이동부재
160 : 반송 크레인

Claims (7)

  1. 플레이트 형상을 가지는 작업 플레이트;
    상기 작업 플레이트를 지지하여 상기 작업 플레이트가 지상으로부터 이격 배치되도록 하는 지지대;
    상기 작업 플레이트의 가장자리 중 적어도 두개의 가장자리에 배치되는 난간;
    상기 작업 플레이트의 하면에 제1 방향으로 배치되는 레일;
    상기 레일을 따라 이동되는 이동부재;
    상기 이동부재에 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동되도록 설치되는 반송 크레인;
    을 구비하는 단위 작업대를 포함하며,
    상기 단위 작업대는 복수개가 적어도 일 방향으로 연결되는 작업대.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레일은 상기 작업 플레이트의 하면에 복수개의 열을 가지도록 배치되는 작업대.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 반송 크레인은 상기 이동부재를 따라 이동되는 구동부와, 상기 구동부에 설치되어 승강되는 파지부를 구비하는 작업대.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 단위 작업대 중 끝단에 배치되는 상기 단위 작업대 중 어느 하나에는 제어판넬이 구비되는 작업대.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 단위 작업대 중 끝단에 배치되는 상기 단위 작업대의 적어도 하나에는 작업자의 승강을 위한 사다리가 배치되는 작업대.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 사다리의 상단부에는 상기 사다리를 감싸도록 배치되는 보호구가 구비되는 작업대.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 복수개의 단위 작업대 중 끝단에 배치되는 상기 단위 작업대에는 사다리가 배치되는 측에 난간이 배치되어 4 모서리 중 3 모서리 측에 상기 난간이 배치되는 작업대.
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