KR20230174961A - 파우더용 원자층 증착 장치 및 방법 - Google Patents

파우더용 원자층 증착 장치 및 방법 Download PDF

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KR20230174961A
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박형상
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(주)아이작리서치
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Abstract

본 발명의 파우더용 원자층 증착 장치는, 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터; 상기 리액터 내부로 가스를 공급하며 상기 리액터에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 상기 리액터의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체; 상기 리액터 내부로 공급되는 상기 가스를 외부로 배기하고, 상기 분말이 상기 리액터 외부로 누출되지 않도록 상기 리액터의 상부 또는 중간부에 형성되는 상부 메쉬 구조체; 상기 상부 메쉬 구조체의 중심부에 결합되어 상기 리액터의 중심축을 기준으로 회전가능하도록 형성되는 구동축부; 및 상기 상부 메쉬 구조체에 유착된 분말이 상기 상부 메쉬 구조체에서 분리될 수 있도록 상기 분말 수용 공간의 외부에 형성되어 상기 상부 메쉬 구조체에 진동을 인가하는 진동장치;를 포함할 수 있다.

Description

파우더용 원자층 증착 장치 및 방법 {Atomic layer deposition apparatus and method for powder}
본 발명은 파우더용 원자층 증착 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 메쉬에 파우더 유착을 방지할 수 있는 파우더용 원자층 증착 장치 및 방법에 관한 것이다.
분말 촉매를 비롯한 이차 전지의 전극, MLCC, Power Inductor, 연료전지 등 파우더 코팅 시장의 급격한 발전과 더불어 기존 코팅 대비 고품질의 파우더 코팅을 요구하는 분야가 점차 증가하고 있다. 이러한 수요에 따라 기존 습식 공정 대비 고품질의 박막 제조가 가능한 원자층 증착 공정(Atomic layer deposition, ALD)을 이용한 파우더 코팅이 각광받고 있다. 특히, 원자층 증착을 이용한 파우더 코팅 ALD 공정은 기존 습식공정 대비 고품질의 박막 제조가 가능하며 폐수 발생이 없으며 불순물 오염이 적어 수요가 증가하고 있다.
파우더 코팅 원자층 증착 공정은 원자층 단위로 증착하는 진공 공정으로 단차 피복 특성이 매우 우수하며 수 nm 단위의 두께 조절이 가능하여 사이즈가 작은 파우더 표면을 코팅하는데 매우 유리한 방법이다.
그러나, 분말 특성으로 인해 메쉬에 유착되는 특정 파우더의 경우 상부의 필터로 작용하는 메쉬를 막아 기체 유동을 저해하는 문제점이 있다.
또한, 상부 필터를 막아 상부 메쉬를 통하여 배기부로 배기되는 퍼지 공정이 진행되지 못하게 되어 결국, 코팅이 진행되지 못하게 되고, 결국 공정뿐만 아니라 설비에 오염을 야기시켜 설비 가동율을 저하시키는 문제점들이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 상부 메쉬에 파우더 유착을 방지하기 위해 분말 특성에 의해 유착되는 파우더를 진동을 통하여 분리시키고, 리액터 내에 불규칙한 플라즈마 형성 및 아크 발생을 방지할 수 있는 파우더용 원자층 증착 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는, 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터; 상기 리액터 내부로 가스를 공급하며 상기 리액터에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 상기 리액터의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체; 상기 리액터 내부로 공급되는 상기 가스를 외부로 배기하고, 상기 분말이 상기 리액터 외부로 누출되지 않도록 상기 리액터의 상부 또는 중간부에 형성되는 상부 메쉬 구조체; 상기 상부 메쉬 구조체의 중심부에 결합되어 상기 리액터의 중심축을 기준으로 회전가능하도록 형성되는 구동축부; 및 상기 상부 메쉬 구조체에 유착된 분말이 상기 상부 메쉬 구조체에서 분리될 수 있도록 상기 분말 수용 공간의 외부에 형성되어 상기 상부 메쉬 구조체에 진동을 인가하는 진동장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 분말 수용 공간을 밀폐할 수 있도록 상기 상부 메쉬 구조체의 상부를 덮는 형상으로 형성되고, 상기 구동축부의 적어도 일부분이 내부에 형성되는 덮개부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동장치는, 압전체 상하부에 형성된 전극에 교류전류가 인가되어 상기 압전체의 팽창과 수축을 통하여 진동을 발생시키는 초음파 진동기;를 포함하고, 상기 초음파 진동기는, 상기 압전체 및 상기 전극이 상기 덮개부의 외측에 형성되도록 결합될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동장치에서 발생되는 진동을 상기 상부 메쉬 구조체까지 전달할 수 있도록, 상기 진동장치에서 상기 상부 메쉬 구조체까지 연장되도록 형성되는 진동 전달체;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동장치에 결합되어 상기 진동 전달체의 단부를 상기 상부 메쉬 구조체와 접촉시키거나 또는 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 상기 진동 전달체를 상하로 승하강 구동하는 실린더부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 구동축부가 회전될 수 있도록 회전동력을 인가하는 구동부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 구동부의 중심축은 상기 구동축부의 중심축과 일정거리 이격되어 형성되고, 상기 구동부의 회전동력을 상기 구동축부에 전달할 수 있도록 상기 구동부 및 상기 구동축부에 결합되는 스프로킷 및 체인으로 형성되는 구동 전달부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 리액터의 외부에 형성되어, 상기 리액터 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 상기 분말 수용 공간에 상기 비활성 가스를 주입하는 비활성 가스 인가부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 리액터는, 상기 비활성 가스 인가부에서 주입되는 상기 비활성 가스가 상기 리액터의 상부에서 주입되어, 상기 상부 메쉬 구조체의 상부에서 상기 분말이 수용된 상기 상부 메쉬 구조체의 하부로 상기 비활성 가스의 흐름이 발생되도록, 상기 리액터의 상부에 형성된 비활성 가스 유입부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 리액터 내부에서 상기 분말 수용 공간을 둘러싸도록 원통 형상으로 형성되고, 상기 상부 메쉬 구조체와 적어도 일부분이 물리적으로 연결되도록 형성되는 내벽체;를 더 포함하고, 상기 진동장치는, 상기 분말 수용 공간에서 상기 내벽체에 유착된 상기 분말이 상기 내벽체로부터 분리될 수 있도록, 상기 상부 메쉬 구조체를 통하여 상기 내벽체까지 전달되는 진동을 인가할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 파우더용 원자층 증착 방법은, 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터에 상기 분말을 수용하는 파우더 처리 준비 단계; 상기 리액터에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 상기 리액터의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체를 통하여 상기 리액터의 하부에서 상기 리액터 내부로 가스를 공급하여 상기 분말을 처리하는 공정 처리 단계; 상기 분말의 처리를 중지하는 공정 중지 단계; 상기 리액터 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 상기 리액터의 외부에 형성된 비활성 가스 인가부로 상기 분말 수용 공간에 상기 비활성 가스를 주입하는 리액터 압력 상승 단계; 및 상기 상부 메쉬 구조체에 유착된 분말이 상기 상부 메쉬 구조체에서 분리될 수 있도록 상기 분말 수용 공간의 외부에 형성된 진동장치와 상기 진동장치에서 상기 상부 메쉬 구조체까지 연장되도록 형성되는 진동 전달체를 통하여 상기 상부 메쉬 구조체에 진동을 인가하는 진동 인가 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동 인가 단계 이후에, 상기 공정 처리 단계를 반복할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동 인가 단계 이전에, 상기 진동 전달체의 단부가 상기 상부 메쉬 구조체와 접촉될 수 있도록 상기 진동장치에 결합된 실린더부로 상기 진동 전달체를 상기 상부 메쉬 구조체까지 하강 구동하는 진동 전달체 하강 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진동 인가 단계 이후에, 상기 진동 전달체의 단부를 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 상기 진동장치에 결합된 실린더부로 상기 진동 전달체를 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격되는 지점까지 승강 구동하는 진동 전달체 상승 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 기계적 특성으로 인하여 메쉬나 내벽에 유착된 파우더를 분리함으로써, 파우더가 메쉬에 유착되어 공정 중 퍼지를 방해하는 요소를 제거할 수 있으며, 파우더를 분리하기 위한 장치를 효과적으로 결합하여 보다 안정적인 설비 구동을 위한 구조를 가지고 있다.
또한, 내부의 밀폐된 공간에서의 발생될 수 있는 플라즈마 및 아크의 발생을 방지하고, 나아가, 플라즈마를 통하여 발생되는 파우더 물질의 산화 및 물리적 데미지를 통한 균열을 방지하며, 설비의 데미지를 방지하여, 공정이 원활하게 진행될 수 있으며, 공정뿐만 아니라 설비의 유지보수 간격을 증가시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치의 진동장치를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 장치의 덮개부 및 구동부를 나타내는 투시 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 여러 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 방법을 나타내는 순서도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이고, 도 2는 진동장치(500)를 나타내는 분해 사시도이고, 도 3은 덮개부(500) 및 구동부(800)를 나타내는 투시 사시도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는, 크게, 리액터(100), 하부 메쉬 구조체(200), 상부 메쉬 구조체(300), 구동축부(400), 진동장치(500) 및 덮개부(600)를 포함할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 리액터(100)는 내부에 분말이 충진될 수 있는 분말 수용 공간이 형성되고, 분말 수용 공간(A)에 적어도 원료 가스, 퍼지 가스, 반응 가스 중 어느 하나를 선택하여 이루어지는 처리 가스를 공급하는 일종의 밀폐가 가능한 통 형상의 구조체일 수 있다.
구체적으로, 리액터(100)의 내부에는 분말이 충진될 수 있고, 리액터(100)의 적어도 한면에서 상기 처리 가스가 주입되어 리액터(100) 내부로 이동하여 충진된 분말에 상기 처리 가스가 접촉되어 상기 분말을 코팅하는 원자층 증착이 수행될 수 있다.
리액터(100)는 원통에만 국한되지 않고 다각통 형상이나 타원통 형상 등 매우 다양한 형상으로 형성된 통형상의 구조체가 모두 적용될 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 하부 메쉬 구조체(200)는 리액터(100)의 하부를 덮을 수 있도록 형성되고, 리액터(100) 내부로 가스를 공급하며 리액터(100)에 수용된 상기 분말의 외부 누출을 방지하도록 리액터(100)의 하부에 결합될 수 있다.
이때, 상기 가스는 상기 처리 가스 및 퍼지 가스를 포함할 수 있다.
하부 메쉬 구조체(200)는 리액터(100) 내부에 형성되어 분말 수용 공간(A)에 수용된 상기 분말을 지지할 수 있다. 즉, 하부 메쉬 구조체(200)의 하방으로 상기 분말이 낙하되지 않도록 형성될 수 있다.
하부 메쉬 구조체(200)는 적어도 일부에 메쉬망이 형성될 수 있다. 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망은 상부에 상기 분말이 적재될 수 있으며, 하부 메쉬 구조체(200) 하부에서 공급되는 상기 처리 가스가 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망 사이로 유동되어 상부에 적재된 상기 분말에 공급되도록 형성될 수 있다.
하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망은 미세홀(Micro-hole)을 포함할 수 있다. 따라서, 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망을 통해, 분말 수용 공간(A)에 공급되는 상기 처리 가스가 리액터(100)의 내부로 이동할 수 있다.
하부 메쉬 구조체(200)는 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망 하부에 상기 처리 가스를 공급하는 샤워헤드를 포함할 수 있다.
상기 샤워헤드는 하부 메쉬 구조체(200)의 하방에 배치되되, 원료 가스, 퍼지 가스 및 반응 가스 중 어느 하나 이상을 하방에서 상방으로 공급하도록 리액터(100) 하부에 겹합될 수 있다.
구체적으로, 상기 샤워헤드는 가스 공급 라인을 통해 공급된 상기 처리 가스가 골고루 분배될 수 있도록 리액터(100)의 하부에 설치될 수 있으며, 상기 샤워헤드는 다수의 노즐 또는 분사홀을 포함할 수 있다. 이때, 상기 가스 공급 라인을 통해 공급된 상기 처리 가스는 상기 샤워헤드를 통과하고, 상기 샤워헤드를 통과한 상기 처리 가스가 상승되면서 상기 분말의 입자 표면에 원자층을 증착시킬 수 있다
상기 가스 공급 라인은 상기 샤워헤드에 연결되고, 상기 처리 가스를 분말 수용 공간(A)에 수용된 상기 분말에 순차적으로 공급할 수 있는 가스 공급 유로를 형성하는 가스 공급관 등의 파이프나 튜브 라인일 수 있다. 이때, 상기 처리 가스는 원료 가스, 퍼지 가스, 반응 가스를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 샤워헤드 및 상기 가스 공급 라인를 이용하여 기본적으로 원료 가스, 퍼지 가스, 반응 가스, 퍼지 가스 등의 순차적인 가스 공급 사이클을 반복하면서 상기 분말 입자에 원자층을 시분할적으로 증착시킬 수 있다.
하부 메쉬 구조체(200)는 리액터(100)의 하부에 결합될 수 있으며, 이때, 하부 메쉬 구조체(200)는 및 리액터(100) 사이에는 실링부가 형성되어, 상기 분말 또는 상기 처리 가스의 누출을 방지할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상부 메쉬 구조체(300)는 리액터(100) 내부로 공급되는 상기 가스를 외부로 배기하고, 상기 분말이 리액터(100) 외부로 누출되지 않도록 리액터(100)의 상부에 형성될 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)는 분말 수용 공간(A)에 수용된 상기 분말이 처리 가스를 통하여 처리 공정이 이루어진 후에 상기 처리 가스를 배기하는 배기부와 연결될 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)는 상기 처리 가스는 배기되고 상기 분말은 배기되지 않도록 적어도 일부분이 메쉬망으로 형성되고 상기 메쉬를 둘러싸고 지지하는 메쉬 틀부를 포함할 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)의 상기 메쉬망은 미세홀을 포함할 수 있다. 따라서, 공정 처리가 수행된 가스나 미반응 가스는 상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망을 통하여 외부로 배기될 수 있다.
상기 미세홀의 크기는, 공급되는 가스에 포함되는 입자보다 클 수 있고, 리액터(100)의 내부에 충진되는 분말보다 작을 수 있다. 이에 따라, 펌핑 수행이나 공정 처리가 수행된 가스, 미반응 가스 배출 시, 나노 크기 또는 마이크로 크기의 분말이 부유함으로써 발생되는 분말의 소실을 방지할 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)는 바람직하게는 리액터(100)의 상부에 형성될 수 있으나, 상기 분말이 배기되지 않도록 리액터(100)의 중심부에 결합되어 형성될 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)는 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부에 겹합된 구동축부(400)와의 사이로 상기 분말이 배기되지 않도록 분말 유입 방지부를 포함할 수 있다.
상기 분말 유입 방지부는 원통형상으로 형성되어 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부 하부에 결합되고, 내부에는 밀폐형 베어링이 결합된 구동축부(400)가 삽입될 수 있다. 따라서, 상부 메쉬 구조체(300) 및 상부 메쉬 구조체(300)에 결합된 상기 분말 유입 방지부는 고정되어 있으며, 상기 분말 유입 방지부에 결합된 구동축부(400)는 회전구동 될 수 있다.
따라서, 구동축부(400)를 따라 리액터(100) 외부로 상기 분말이 누출되는 것을 방지할 수 있다.
상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망, 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망은 사용하는 상기 분말의 입도에 따라 개구율을 다양하게 조절하여 사용할 수 있다. 또한, 상기 메쉬망들의 재질은 사용되는 상기 원료 가스의 특성에 맞게 스테인레스 스틸 재질에 AlOx, SiOx 등의 반응이 일어나기 어려운 물질로 코팅될 수 있다. 따라서, 상기 처리 가스의 종류에 따라 다양한 재질 및 다양한 코팅을 통하여 증착 방지막을 형성할 수 있다.
또한, 상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망, 보조 메쉬 구조체(500)의 메쉬망 및 하부 메쉬 구조체(200)의 메쉬망은 각각 서로 다른 개구율의 메쉬를 사용할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 구동축부(400)는 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부에 결합되어 리액터(100)의 중심축을 기준으로 회전가능하도록 형성될 수 있다. 예컨대, 구동축부(400)는 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부를 관통하여 결합될 수 있다.
구동축부(400)는 리액터(100) 내부에 교반부(B)를 회전시킬 수 있도록 형성된 샤프트이다. 구동축부(400)는 리액터(100)의 중심에 형성되어 리액터(100) 외부에 형성된 구동부(900)에서 발생되는 회전력을 교반부(B)에 전달할 수 있다.
구동축부(400)는 회전축(410) 및 연결축(420)을 포함할 수 있다.
회전축(410)은 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부에 결합되어 리액터(100)의 하부 메쉬 구조체(200)까지 연장되어 형성되는 샤프트 장치이다. 이때, 회전축(410)은 리액터(100) 외부에 형성된 구동부(800)의 구동력에 의하여 회전될 수 있다.
연결축(420)은 회전축(410)과 연결되어 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부에서 상방으로 연장되도록 형성될 수 있다. 예컨대, 연결축(420)은 덮개부(600) 외측에 형성된 구동부(800)의 구동력을 리액터(100) 내부에 결합된 회전축(410)까지 전달하는 샤프트 장치이다.
회전축(410) 및 연결축(420)은 상부 메쉬 구조체(300)를 기준으로 각각 상하부에서 결합되어 조립 및 유지보수가 용이하며, 덮개부(00) 외측에 형성된 구동부(800)의 회전동력을 리액터(100) 내부까지 전달할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 덮개부(600)는 분말 수용 공간(A)을 밀폐할 수 있도록 상부 메쉬 구조체(300)의 상부를 덮는 형상으로 형성되고, 구동축부(400)의 적어도 일부분이 내부에 형성될 수 있다.
구체적으로, 덮개부(600)는 리액터(100)의 상부에 결합되어 리액터(100)를 덮을 수 있고, 리액터(100)와 덮개부(600) 사이에 상부 메쉬 구조체(300)가 형성될 수 있다. 따라서, 상부 메쉬 구조체(300)를 기준으로 상부는 덮개부 공간, 하부는 분말 수용 공간(A)으로 구분될 수 있다.
상기 덮개부 공간에는 상술한 바와 같이 연결축(420)이 형성될 수 있으며, 진동장치(500)의 진동이 상부 메쉬 구조체(300)까지 연결될 수 있도록 연결되는 전달체가 형성될 수 있고, 내부의 진공을 배기하는 배기부 및 비활성 가스를 인가하는 비활성 가스 유입부가 더 형성될 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 파우더용 원자층 증착 장치는 진동을 발생시키는 진동장치(500)와 상기 진동을 전달하는 진동 전달체(530)를 포함할 수 있다.
진동장치(500)는 상부 메쉬 구조체(300)에 유착된 상기 분말이 상부 메쉬 구조체(300)에서 분리될 수 있도록 분말 수용 공간(A)의 외부에 형성되어 상기 메쉬 구조체(300)에 진동을 인가하는 장치를 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 진동장치(500)는 압전체(510) 상하부에 형성된 전극(520)에 교류전류가 인가되어 압전체(510)의 팽창과 수축을 통하여 진동을 발생시키는 장치로써 예컨대, 초음파 진동기를 포함할 수 있다.
구체적으로, 진동장치(500)는 전극(520)에 교류전류를 인가하여 분극 처리된 압전체(510)가 팽창 및 수축이 반복적으로 이루어짐에 따라 진동을 발생시킬 수 있다.
진동장치(500)는 압전체(510) 및 전극(520)이 복수개 적층되어 형성될 수 있다.
진동 전달체(530)는 진동장치(500)에서 발생되는 진동을 상부 메쉬 구조체(300)까지 전달할 수 있도록, 진동장치(500)에서 상부 메쉬 구조체(300)까지 연장되도록 형성될 수 있다.
구체적으로, 진동 전달체(530)는 진동장치(500)의 하부에 결합되고, 덮개부(600)를 통과하여 상부 메쉬 구조체(300)까지 연결될 수 있다. 즉, 진동 전달체(530)는 충분한 진동 전달을 위해 초음파 혼을 이용하여 덮개부(600) 내부로 연결되어 진동장치(500)의 진동을 상부 메쉬 구조체(300)로 전달할 수 있다.
상기 초음파 혼의 두께, 길이 및 형태는 파우더용 원자층 증착 장치의 구조에 따라 변경될 수 있다.
이때, 진동 전달체(530)는 덮개부(600)에 벨로우즈관으로 연결될 수 있다.
진동 전달체(530)의 단부는 상부 메쉬 구조체(300)의 적어도 일부분의 접촉면에 접촉되어, 진동장치(500)에 진동이 인가될 경우, 상기 접촉면을 기준으로 상부 메쉬 구조체(300)에 진동을 인가하거나, 또는, 상기 접촉면에서 접촉과 비접촉이 반복되어 상부 메쉬 구조체(300)의 흔들림이나 떨림을 유도하여 상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망에 유착된 상기 분말을 물리적으로 분리시킬 수 있다.
진동장치(500)의 압전체(510) 및 전극(520)은 덮개부(600)의 외측에 형성되도록 결합될 수 있다.
구체적으로, 진동장치(500)는 압전체(510)의 양측에 결합된 전극(520)이 리액터(100) 내부의 분말 수용 공간(A) 또는 덮개부(600) 내부의 밀폐된 공간의 외측에 결합되도록 형성되어, 플라즈마 형성을 방지할 수 있다.
예컨대, 진동장치(500)가 분말 수용 공간(A) 또는 덮개부(600) 내부 공간에 형성될 경우, 진공상태의 밀폐된 공간에서 진동장치(500)의 전극(520)에 전류가 인가되어 전기장이 형성됨으로써 전극(520) 사이의 가스가 이온화되어 플라즈마가 발생될 수 있다. 이렇게 발생된 상기 플라즈마는 파우더 물질의 산화 및 물리적 데미지를 통하여 균열을 발생시킬 수 있다.
본 발명에 따른 파우더용 원자층 증착 장치의 압전체(510) 및 전극(520)은 덮개부(600)의 외측에 형성되도록 결합되어, 분말 수용 공간(A) 또는 덮개부(600) 내부의 밀폐된 공간에서의 불규칙한 플라즈마 형성과 아크의 발생을 방지하고, 나아가, 상기 플라즈마를 통하여 발생되는 파우더 물질의 산화 및 물리적 데미지를 통한 균열을 방지하며, 설비의 데미지를 방지할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는 실린더부(700)를 더 포함할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 실린더부(700)는 진동장치(500)에 결합되어 진동 전달체(530)의 단부를 상기 메쉬 구조체(300)와 접촉시키거나 또는 상부 메쉬 구조체(300)에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 진동 전달체(530)를 상하로 승하강 구동하는 장치를 포함할 수 있다.
구체적으로, 실린더부(700)는 덮개부(600) 및 진동장치(500)에 결합되어, 덮개부(600)의 상면을 기준으로 진동장치(500)를 승하강 시킬 수 있다.
예컨대, 진동장치(500)가 구동되지 않을 시, 실린더부(700)는 덮개부(600)의 상면으로부터 진동장치(500)를 상승시켜, 진동 전달체(530)의 단부를 상부 메쉬 구조체(300)에서 일정거리 이격시킬 수 있다.
또한, 실린더부(700)는 진동장치(500)가 구동될 시, 실린더부(700)는 덮개부(600)의 상면으로부터 진동장치(500)를 하강시켜, 진동 전달체(530)의 단부를 상기 메쉬 구조체(300)의 상기 접촉면에 접촉시킬 수 있다.
이에 따라, 리액터(100) 내부에 상기 분말을 수용시키고 덮개부(600)를 닫아 공정 진행 중간, 혹은, 진행 후에 상부 메쉬 구조체(300)에 유착된 상기 분말을 용이하게 분리시킬 수 있다. 또한, 리액터(100) 내부에 수용된 상기 분말을 배출하기 위하여 덮개부(600)를 오픈하기 전에 미리 진동 전달체(530)의 단부를 상부 메쉬 구조체(300)에서 이격시켜 내부 구조의 간섭 및 파손을 방지할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는 구동부(800) 및 구동 전달부(900)를 더 포함할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 구동부(800)는 구동축부(400)가 회전될 수 있도록 회전동력을 인가하는 장치이다.
구동부(800)는 구동축부(400)를 회전시킬 수 있는 모터 및 감속기일 수 있으며, 구동부(800)가 회전력을 상부 메쉬 구조체(300)의 중심부에 결합된 구동축부(400)에 전달하여 구동축부(400)를 회전시킬 수 있다.
구동부(800)의 중심축은 구동축부(400)의 중심축과 일정거리 이격되어 형성될 수 있다. 구체적으로, 리액터(100)의 수직 상방에는 진동장치(500)가 형성될 수 있으며, 이에 따라, 구동부(800)는 리액터(100)의 수직 상방에서 일측으로 소정 거리 이격되어 결합될 수 있다.
이때, 구동부(800)의 중심축과 구동축부(400)의 중심축이 서로 다르게 형성되어, 구동 전달부(900)는 구동부(800)의 회전동력을 구동축부(400)에 전달할 수 있도록 구동부(800) 및 구동축부(400)에 결합되는 스프로킷 및 체인으로 형성되는 장치를 포함할 수 있다.
구체적으로, 구동 전달부(900)는 구동부(800)의 회전축에 제 1 스프로킷이 결합되고, 구동축부(400)의 회전축에 제 2 스프로킷이 결합되어, 상기 제 1 스프로킷과 상기 제 2 스프로킷이 상기 체인으로 연결될 수 있다. 따라서, 구동 전달부(900)의 동력은 상기 모터, 상기 감속기, 상기 제 1 스프로킷, 상기 체인, 상기 제 2 스프로킷 및 구동축부(400)의 순서로 전달될 수 있다.
상기 제 1 스프로킷 및 상기 제 2 스프로킷은 중심이 축에 결합되는 톱니바퀴 형상으로 형성되었으며, 이에 한정되지 않고, 상기 체인과 결합하여 상기 구동력을 전달할 수 있도록 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는 비활성 가스 유입부(610) 및 비활성 가스 인가부(620)를 더 포함할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 비활성 가스 인가부(620)는 리액터(100)의 외부에 형성되어, 리액터(100) 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 상기 분말 수용 공간(A)에 상기 비활성 가스를 주입하는 장치를 포함할 수 있다.
비활성 가스 유입부(610)는 비활성 가스 인가부(620)에서 주입되는 상기 비활성 가스가 리액터(100)의 상부에서 주입되어, 상부 메쉬 구조체(300)의 상부에서 상기 분말이 수용된 상부 메쉬 구조체(300)의 하부로 상기 비활성 가스의 흐름이 발생되도록 리액터(100)의 상부에 형성될 수 있다.
구체적으로, 비활성 가스 인가부(620)는 덮개부(620)의 적어도 일부분에 형성된 비활성 가스 유입부(610)에 연결되어 덮개부(600) 내부의 공간 및 상부 메쉬 구조체(300) 하부의 분말 수용 공간(A)에 상기 비활성 가스를 공급하여, 덮개부(600) 내부의 공간 및 분말 수용 공간(A)의 압력을 높일 수 있다.
즉, 덮개부(600) 내부의 공간 및 분말 수용 공간(A)의 내부 압력을 조절하여 진공을 해제하고 진동장치(500)에서 발생되는 초음파의 공진 현상을 극대화할 수 있다. 이때, 상기 비활성 가스는 비활성 기체인 Ar, N2 등을 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 파우더용 원자층 증착 장치는 내벽체(110)를 더 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 내벽체(110)는 리액터(100) 내부에 수용된 상기 분말이 내벽체(110)의 내부에서 처리될 수 있도록 분말 수용 공간(A)을 둘러싸도록 리액터(100) 내부에 원통 형상으로 형성될 수 있다.
내벽체(110)는 진동장치(500)에서 인가되는 진동이 상부 메쉬 구조체(300)를 통하여 내벽체(110)까지 전달되도록, 상부 메쉬 구조체(300)와 적어도 일부분이 물리적으로 연결되도록 형성될 수 있다.
구체적으로, 내벽체(110)는 리액터(100) 내부에서 상부 메쉬 구조체(300)의 하부에 결합되고, 내벽체(110)까지 전달된 진동으로 분말 수용 공간(A)에서 내벽체(110)에 유착된 상기 분말이 내벽체(110)로부터 분리될 수 있다.
내벽체(110)는 원통에만 국한되지 않고 리액터(100)에 대응되는 형상으로 다양한 형상의 구조체가 모두 적용될 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 여러 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 방법을 나타내는 순서도들이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 여러 실시예에 따른 파우더용 원자층 증착 방법은 파우더 처리 준비 단계(S100), 공정 처리 단계(S200), 공정 중지 단계(S300), 리액터 압력 상승 단계(S400) 및 진동 인가 단계(S500)를 포함할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 파우더 처리 준비 단계(S100)는 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간(A)이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터(100)에 상기 분말을 수용하는 단계이고, 공정 처리 단계(S200)는 리액터(100)에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 리액터(100)의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체(200)를 통하여 리액터(100)의 하부에서 리액터(100) 내부로 가스를 공급하여 상기 분말을 처리하는 단계이다.
구체적으로, 공정 처리 단계(S200)는 리액터(100)의 하부에서 상기 처리 가스가 주입되어 리액터(100) 내부로 이동하여 충진된 분말에 상기 처리 가스가 접촉되어 상기 분말을 코팅하는 원자층 증착이 수행되는 단계이다.
공정 중지 단계(S300)는 상기 분말의 처리를 중지하는 단계이다. 예컨대, 상기 분말의 코팅이 완료되거나, 분말 처리 공간(A) 내의 상기 분말을 교반시키기 위하여 잠시 정지하거나, 리액터(100)를 유지보수 하기 위하여 상기 처리 가스의 주입을 멈추어 상기 분말의 코팅을 중지하는 단계이다.
리액터 압력 상승 단계(S400)는 리액터(100) 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 리액터(100)의 외부에 형성된 비활성 가스 인가부(620)로 분말 수용 공간(A)에 상기 비활성 가스를 주입하는 단계이다.
구체적으로, 리액터 압력 상승 단계(S400)는 덮개부(600) 내부의 공간 및 상부 메쉬 구조체(300) 하부의 분말 수용 공간(A)에 상기 비활성 가스를 공급하여, 덮개부(600) 내부의 공간 및 분말 수용 공간(A)의 압력을 높일 수 있도록 조절할 수 있다. 이에 따라, 분말 수용 공간(A)의 진공을 해제하고 진동장치(500)에서 발생되는 초음파의 공진 현상을 극대화할 수 있다.
예컨대, 리액터 압력 상승 단계(S400)는 덮개부(600) 내부의 공간 및 상부 메쉬 구조체(300) 하부의 분말 수용 공간(A)의 내부 압력을 10 mTorr이상 상승시킬 수 있다.
진동 인가 단계(S500)는 상부 메쉬 구조체(300)에 유착된 분말이 상부 메쉬 구조체(300)에서 분리될 수 있도록 분말 수용 공간(A)의 외부에 형성된 진동장치(500)와 진동장치(500)에서 상부 메쉬 구조체(300)까지 연장되도록 형성되는 진동 전달체(530)를 통하여 상부 메쉬 구조체(300)에 진동을 인가하는 단계이다.
구체적으로, 진동 인가 단계(S500)는 진동 전달체(530)의 단부가 상부 메쉬 구조체(300)의 적어도 일부분의 접촉면에 접촉되어, 진동장치(500)에 진동이 인가될 경우, 상기 접촉면을 기준으로 상부 메쉬 구조체(300)에 진동을 인가하거나, 또는, 상기 접촉면에서 접촉과 비접촉이 반복되어 상부 메쉬 구조체(300)의 흔들림이나 떨림을 유도하여 상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망에 유착된 상기 분말을 물리적으로 분리시키는 단계이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 진동 인가 단계(S500) 이후에 공정 처리 단계(S200)를 반복할 수 있다.
구체적으로, 진동 인가 단계(S500)에서 상부 메쉬 구조체(300)의 메쉬망에 유착된 상기 분말을 분리한 후에, 코팅이 완료된 상기 분말을 배기하고 다른 분말을 수용하여 공정 처리 단계(S200)를 반복할 수 있다.
또한, 분말 처리 공간(A) 내의 상기 분말을 교반시키거나, 리액터(100)를 유지/보수하기 위하여 중지된 상기 처리 가스의 공급을 다시 재개하는 공정 처리 단계(S200)를 반복하여 상기 분말의 코팅을 재개할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 진동 인가 단계(S500) 이전에 진동 전달체 하강 단계(S600)를 더 포함할 수 있다.
진동 전달체 하강 단계(S600)는 진동 전달체(530)의 단부가 상부 메쉬 구조체(300)와 접촉될 수 있도록 진동장치(500)에 결합된 실린더부(700)로 진동 전달체(530)를 상부 메쉬 구조체(300)까지 하강 구동하는 단계이다.
구체적으로, 진동 전달체 하강 단계(S600)는 실린더부(700)는 진동장치(500)가 구동될 시, 실린더부(700)는 덮개부(600)의 상면으로부터 진동장치(500)를 하강시켜, 진동 전달체(530)의 단부를 상기 메쉬 구조체(300)의 상기 접촉면에 접촉시키는 단계이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 진동 인가 단계(S500) 이후에 진동 전달체 상승 단계(S700)를 더 포함할 수 있다.
진동 전달체 상승 단계(S700)는 진동 전달체(530)의 단부를 상부 메쉬 구조체(300)에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 진동장치(500)에 결합된 실린더부(700)로 진동 전달체(530)를 상부 메쉬 구조체(300)에서 일정거리 이격되는 지점까지 승강 구동하는 단계이다.
진동 전달체 상승 단계(S700)는 진동장치(500)가 구동되지 않을 시, 실린더부(700)는 덮개부(600)의 상면으로부터 진동장치(500)를 상승시켜, 진동 전달체(530)의 단부를 상부 메쉬 구조체(300)에서 일정거리 이격시키는 단계이다.
이에 따라, 리액터(100) 내부에 수용된 상기 분말을 배출하기 위하여 덮개부(600)를 오픈하기 전에 미리 진동 전달체(530)의 단부를 상부 메쉬 구조체(300)에서 이격시켜 내부 구조의 간섭 및 파손을 방지할 수 있다.
교반부(B)는 상기 분말을 교반시킬 수 있도록 리액터(100)의 중심축을 기준으로 회전가능하도록 형성되는 구동축부(400)에 형성될 수 있다.
교반부(B)는 리액터(100) 내부의 분말 수용 공간(A)에 형성되어, 분말 수용 공간(A)에 충진되는 분말들을 교반시킬 수 있다.
교반부(B)는 구동축부(400)의 회전과 연동되어 회전하므로, 하부 메쉬 구조체(200)의 상부에 적재된 상기 분말들이 회전되며 균일한 혼합이 이루어질 수 있다.
교반부(B)는 적어도 헬리컬형, 리본형, 리본헬리컬형, 앵커형, 터빈형, 프로펠러형 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
그러나, 이러한 교반부(B)는 도면이나 언급된 형태 이외에도 상기 분말을 혼합할 수 있도록 구동축부(400)에 설치되는 모든 형태의 날개차들이 모두 적용될 수 있다.
본 발명을 통해 기존의 상부에 형성된 메쉬에 유착 현상으로 인해 배기 및 공정이 어려웠던 파우더의 공정을 원활하게 하여 본 설비와 같은 ALD 뿐만 아니라 CVD나 파우더 혼합 공정에 적용이 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
A: 분말 수용 공간
B: 교반부
100: 리액터
110: 내벽체
200: 하부 메쉬 구조체
300: 상부 메쉬 구조체
400: 구동축부
410: 회전축
420: 연결축
500: 진동장치
510: 압전체
520: 전극
530: 진동 전달체
600: 덮개부
610: 비활성 가스 유입부
620: 비활성 가스 인가부
700: 실린더부
800: 구동부
900: 구동 전달부

Claims (14)

  1. 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터;
    상기 리액터 내부로 가스를 공급하며 상기 리액터에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 상기 리액터의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체;
    상기 리액터 내부로 공급되는 상기 가스를 외부로 배기하고, 상기 분말이 상기 리액터 외부로 누출되지 않도록 상기 리액터의 상부 또는 중간부에 형성되는 상부 메쉬 구조체;
    상기 상부 메쉬 구조체의 중심부에 결합되어 상기 리액터의 중심축을 기준으로 회전가능하도록 형성되는 구동축부; 및
    상기 상부 메쉬 구조체에 유착된 분말이 상기 상부 메쉬 구조체에서 분리될 수 있도록 상기 분말 수용 공간의 외부에 형성되어 상기 상부 메쉬 구조체에 진동을 인가하는 진동장치;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말 수용 공간을 밀폐할 수 있도록 상기 상부 메쉬 구조체의 상부를 덮는 형상으로 형성되고, 상기 구동축부의 적어도 일부분이 내부에 형성되는 덮개부;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 진동장치는,
    압전체 상하부에 형성된 전극에 교류전류가 인가되어 상기 압전체의 팽창과 수축을 통하여 진동을 발생시키는 초음파 진동기;
    를 포함하고,
    상기 초음파 진동기는,
    상기 압전체 및 상기 전극이 상기 덮개부의 외측에 형성되도록 결합되는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동장치에서 발생되는 진동을 상기 상부 메쉬 구조체까지 전달할 수 있도록, 상기 진동장치에서 상기 상부 메쉬 구조체까지 연장되도록 형성되는 진동 전달체;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 진동장치에 결합되어 상기 진동 전달체의 단부를 상기 상부 메쉬 구조체와 접촉시키거나 또는 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 상기 진동 전달체를 상하로 승하강 구동하는 실린더부;
    를 더 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동축부가 회전될 수 있도록 회전동력을 인가하는 구동부;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부의 중심축은 상기 구동축부의 중심축과 일정거리 이격되어 형성되고,
    상기 구동부의 회전동력을 상기 구동축부에 전달할 수 있도록 상기 구동부 및 상기 구동축부에 결합되는 스프로킷 및 체인으로 형성되는 구동 전달부;
    를 더 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 리액터의 외부에 형성되어, 상기 리액터 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 상기 분말 수용 공간에 상기 비활성 가스를 주입하는 비활성 가스 인가부;
    를 더 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 리액터는,
    상기 비활성 가스 인가부에서 주입되는 상기 비활성 가스가 상기 리액터의 상부에서 주입되어, 상기 상부 메쉬 구조체의 상부에서 상기 분말이 수용된 상기 상부 메쉬 구조체의 하부로 상기 비활성 가스의 흐름이 발생되도록, 상기 리액터의 상부에 형성된 비활성 가스 유입부;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 리액터 내부에서 상기 분말 수용 공간을 둘러싸도록 원통 형상으로 형성되고, 상기 상부 메쉬 구조체와 적어도 일부분이 물리적으로 연결되도록 형성되는 내벽체;
    를 더 포함하고,
    상기 진동장치는,
    상기 분말 수용 공간에서 상기 내벽체에 유착된 상기 분말이 상기 내벽체로부터 분리될 수 있도록, 상기 상부 메쉬 구조체를 통하여 상기 내벽체까지 전달되는 진동을 인가하는, 파우더용 원자층 증착 장치.
  11. 분말을 수용할 수 있는 분말 수용 공간이 내부에 형성되는 원통형상의 리액터에 상기 분말을 수용하는 파우더 처리 준비 단계;
    상기 리액터에 수용된 분말의 외부 누출을 방지하도록 상기 리액터의 하부에 결합되는 하부 메쉬 구조체를 통하여 상기 리액터의 하부에서 상기 리액터 내부로 가스를 공급하여 상기 분말을 처리하는 공정 처리 단계;
    상기 분말의 처리를 중지하는 공정 중지 단계;
    상기 리액터 내부의 압력을 상승시킬 수 있도록 상기 리액터의 외부에 형성된 비활성 가스 인가부로 상기 분말 수용 공간에 상기 비활성 가스를 주입하는 리액터 압력 상승 단계; 및
    상기 상부 메쉬 구조체에 유착된 분말이 상기 상부 메쉬 구조체에서 분리될 수 있도록 상기 분말 수용 공간의 외부에 형성된 진동장치와 상기 진동장치에서 상기 상부 메쉬 구조체까지 연장되도록 형성되는 진동 전달체를 통하여 상기 상부 메쉬 구조체에 진동을 인가하는 진동 인가 단계;
    를 포함하는, 파우더용 원자층 증착 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 진동 인가 단계 이후에, 상기 공정 처리 단계를 반복하는, 파우더용 원자층 증착 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 진동 인가 단계 이전에,
    상기 진동 전달체의 단부가 상기 상부 메쉬 구조체와 접촉될 수 있도록 상기 진동장치에 결합된 실린더부로 상기 진동 전달체를 상기 상부 메쉬 구조체까지 하강 구동하는 진동 전달체 하강 단계;
    를 더 포함하는, 파우더용 원자층 증착 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 진동 인가 단계 이후에,
    상기 진동 전달체의 단부를 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격시킬 수 있도록 상기 진동장치에 결합된 실린더부로 상기 진동 전달체를 상기 상부 메쉬 구조체에서 일정거리 이격되는 지점까지 승강 구동하는 진동 전달체 상승 단계;
    를 더 포함하는, 파우더용 원자층 증착 방법.
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